客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測(cè)量設(shè)備來檢查對(duì)齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對(duì)齊檢查,耗時(shí)太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測(cè)試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間。現(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中。為了避免由于移動(dòng)機(jī)器人的振動(dòng)引起的任何測(cè)量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨(dú)的框架和支架上,盡管仍然靠近要測(cè)量的部件。該機(jī)器現(xiàn)已經(jīng)通過測(cè)試和驗(yàn)證。光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級(jí)別。線光譜共焦制作廠家
光譜共焦技術(shù)主要包括成像和檢測(cè)。首先,通過顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行成像,然后將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。接著,利用算法對(duì)圖像進(jìn)行位置校準(zhǔn),以確定樣品的空間位置。通過分析樣品的光譜信息,實(shí)現(xiàn)對(duì)其成分的檢測(cè)。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測(cè)出點(diǎn)膠的位置和尺寸,確保點(diǎn)膠的質(zhì)量和精度。同時(shí),通過對(duì)點(diǎn)膠的光譜分析,還可以了解到點(diǎn)膠的成分和性質(zhì),從而優(yōu)化點(diǎn)膠工藝。三、光譜共焦在點(diǎn)膠行業(yè)中的應(yīng)用提高點(diǎn)膠質(zhì)量:光譜共焦技術(shù)可以檢測(cè)點(diǎn)膠的位置和尺寸,避免漏點(diǎn)或點(diǎn)膠過多的問題。同時(shí),由于其高精度的檢測(cè)能力,可以確保點(diǎn)膠的精確度和一致性。提高點(diǎn)膠效率:通過光譜共焦技術(shù)對(duì)點(diǎn)膠的迅速檢測(cè),可以減少后續(xù)處理的步驟和時(shí)間,從而提高生產(chǎn)效率。此外,該技術(shù)還可以避免因點(diǎn)膠不良而導(dǎo)致的返工和維修問題。優(yōu)化點(diǎn)膠工藝:通過對(duì)點(diǎn)膠的光譜分析,可以了解其成分和性質(zhì),從而針對(duì)不同的材料和需求優(yōu)化點(diǎn)膠工藝。例如,根據(jù)點(diǎn)膠的光譜特征選擇合適的膠水類型、粘合劑強(qiáng)度以及固化溫度等參數(shù)。線光譜共焦制作廠家光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過程進(jìn)行精確測(cè)量,對(duì)于研究材料的變形行為具有重要意義。
在硅片柵線的厚度測(cè)量過程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測(cè)量太陽(yáng)能光伏板硅片柵線厚度時(shí),使用單探頭在二維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行掃描測(cè)量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測(cè)量的硅片標(biāo)記三個(gè)區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測(cè)量來完成測(cè)量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對(duì)于測(cè)量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響。
采用對(duì)比測(cè)試方法,首先對(duì)基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度進(jìn)行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行了偏移。結(jié)果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測(cè)量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測(cè)量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量數(shù)據(jù)的功率譜曲線中可以看出,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),兩種方法的測(cè)量結(jié)果一致性較好,當(dāng)模數(shù)大于100時(shí),白光共焦光譜的測(cè)量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測(cè)量數(shù)據(jù),這也反應(yīng)了白光共焦光譜儀在高頻段測(cè)量數(shù)據(jù)信噪比相對(duì)較差的特點(diǎn)。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個(gè)量級(jí),同時(shí),受環(huán)境振動(dòng)、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,共焦光譜檢測(cè)數(shù)據(jù)高頻隨機(jī)噪聲可達(dá)100nm左右。光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用。
光譜共焦傳感器是專為需要高精度測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量以外,這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫反射材料、以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測(cè)量表面特征的變化時(shí)帶來更好的性能。光譜共焦技術(shù)可以對(duì)生物和材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。智能光譜共焦經(jīng)銷批發(fā)
光譜共焦技術(shù)可以在環(huán)境保護(hù)中發(fā)揮重要作用。線光譜共焦制作廠家
光譜共焦測(cè)量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個(gè)波長(zhǎng)都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。通過共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會(huì)被光譜儀檢測(cè)并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進(jìn)行測(cè)量。共焦測(cè)量提供納米級(jí)分辨率,并且?guī)缀跖c目標(biāo)材料分開運(yùn)行。傳感器的測(cè)量范圍內(nèi)有一個(gè)非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁的表面,以及測(cè)量窄孔、小間隙和空腔。線光譜共焦制作廠家