拋光片第二部分320呈弧狀,與經圓角處理的靶材側棱相匹配,可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。由于操作人員同時對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱進行拋光,因此操作人員施加在靶材側壁表面及側棱上的力度差異小,拋光工藝結束后,靶材側壁表面及經圓角處理的側棱表面具有相近似甚至完全相同的平整度,使得拋光表面具有良好的均一性,有助于改善濺射鍍膜質量。若分步驟對靶材側壁表面及經圓角處理的側棱表面進行拋光,操作人員在兩個步驟中施加的力度容易差別較大,造成拋光處理后,靶材側壁表面與側棱表面粗糙度差異大,使得靶材側壁表面與側棱表面交接處具有臺階。在濺射鍍膜過程中,所述臺階容易導致前列放電,影響濺射鍍膜的均一性,造成鍍膜質量差。靶材磁控濺射的原理是什么?武漢MgZnGa靶材費用
為什么需在真空中鍍膜? 在常壓下蒸鍍膜料無法形成理想的薄膜,事實上,如在壓力不夠低 ( 或者說真空度不夠高 ) 的情況下同樣得不到好的結果, 比如在10 2托數量級下蒸鍍鋁,得到的膜層不但不光亮,甚至發(fā)灰、發(fā)黑,而且機械強度極差,用松鼠毛刷輕輕一刷即可將鋁層破壞。 蒸鍍必須在一定的真空條件下進行,這是因為: (1)較高的真空度可以保證汽化分子的平均自由程大于蒸發(fā)源到基底的距離。 由于氣體分子的熱運動,分子之間的碰撞也是極其頻繁的,所以盡管氣體分子運動的速度相當的高 ( 可達每秒幾百米 ) 。 (2)在較高的真空度下可以減少殘余氣體的污染在真空度不太高的情況下, 真空室內含有眾多的殘余氣體分子( 氧、氮、水及碳氫化合物等 ) ,它們能給薄膜的鍍制帶來極大的危害。它們與汽化的膜料分子碰撞使平均自由程變短;它們與正在成膜的表面碰撞并與之反應; 它們隱藏在已形成的薄膜中逐漸侵蝕薄膜;它們與蒸發(fā)源高溫化合減少其使用壽命;它們在已蒸發(fā)的膜料表面上形成氧化層使蒸鍍過程不能順利進行……。合肥 氧化錫銻靶材作用如果反應氣體量增加過度,化合物覆蓋面積增加。
什么是3D玻璃? 現在數碼產品使用的玻璃蓋板分為:2D玻璃,2.5D玻璃,還有3D玻璃。2D玻璃就是普通的純平面玻璃,沒有任何弧形設計;2.5D玻璃則為中間是平面的,但邊緣是弧形設計;而3D屏幕,無論是中間還是邊緣都采用弧形設計。 3D曲面玻璃的特色符合 3C 產品設計需求。3C 產品設計如智能手機、智能手表、平板計算機、可穿戴式智能產品、儀表板等陸續(xù)出現 3D 產品,已經明確引導3D曲面玻璃發(fā)展方向。3D曲面玻璃輕薄、透明潔凈、抗指紋、防眩光、堅硬、耐刮傷、耐候性佳等優(yōu)點,可型塑做出3D多形狀外觀具有產品特殊設計新穎性與質感佳,又可增加弧形邊緣觸控功能帶來出色的觸控手感、無線充電機能,并能解決天線布置空間不足及增強收訊功能,使產品更美觀出色,產品設計差異化使消費者更能青睞。
所述靶材的比較大厚度為23mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為1°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鋁;所述背板的材質包括銅和鋁。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例6本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.95mm;所述靶材表面的硬度為23hv;其中,所述靶材的比較大厚度為27mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鉭;所述背板的材質包括鋁。因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。
靶材材質對靶濺射電壓的影響 :
1. 在真空條件不變的條件下,不同材質與種類靶材對磁控靶的正常濺射電壓會產生一定的影響。
2. 常用的靶材(如銅Cu、鋁Al、鈦Ti?)的正常濺射電壓一般在400~600V的范圍內。
3. 有的難濺射的靶材(如錳Mn、鉻Cr等) 的濺射電壓比較高, 一般需>700V以上才能完成正常磁控濺射過程;而有的靶材(如氧化銦錫ITO) 的濺射電壓比較低,可以在200多伏電壓時實現正常的磁控濺射沉積鍍膜。
4. 實際鍍膜過程中,由于工作氣體壓力變化,或陰極與陽極間距偏小(使真空腔體內阻抗特性發(fā)生變化),或真空腔體與磁控靶的機械尺寸不匹配,同時選用了輸出特性較軟的靶電源等原因,導致磁控靶的濺射電壓(即靶電源輸出電壓)遠低于正常濺射示值,則可能會出現靶前存雖然呈現出很亮的光圈,就是不能見到靶材離子相應顏色的泛光,以至不能濺射成膜的狀況。 一般靶材拋光后,濺射速率、電壓等工藝參數比較穩(wěn)定,容易控制。鎮(zhèn)江VC靶材工廠
在一定功率的情況下,參與化合物生成的反應氣體量增加,化合物生成率增加。武漢MgZnGa靶材費用
靶材的比較大厚度為20-30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角≤10°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種;所述背板的材質包括銅和/或鋁。與現有技術方案相比,本發(fā)明具有以下有益效果:本發(fā)明中,通過調整靶材表面的高度差及硬度,利用二者之間的協(xié)同效果保證濺射強度,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。下面對本發(fā)明進一步詳細說明。但下述的實例 是本發(fā)明的簡易例子,并不**或限制本發(fā)明的權利保護范圍,本發(fā)明的保護范圍以權利要求書為準。具體實施方式為更好地說明本發(fā)明,便于理解本發(fā)明的技術方案,本發(fā)明的典型但非限制性的實施例如下:實施例1本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為23hv武漢MgZnGa靶材費用
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。