南京碲靶材圖片

來源: 發(fā)布時(shí)間:2021-09-19

涂布技術(shù)在真空鍍鋁膜中的應(yīng)用 將涂布技術(shù)與真空鍍鋁技術(shù)結(jié)合起來,通過在基材薄膜或鍍鋁薄膜上涂布功能層,以達(dá)到提高鍍鋁層的附著牢度、耐水煮性能、阻隔性能、裝飾性能等,滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域的要求。 一.經(jīng)過等離子預(yù)處理的真空鍍鋁薄膜雖然鍍鋁層牢度有了明顯提高,但對于一些對鍍鋁層附著牢度要求更高,或者需要用于水煮殺 菌條件時(shí)仍然不能滿足要求。為了滿足上述要求,通過在基材薄膜表面涂布一層丙烯酸類的化學(xué)涂層,該涂層不對鍍鋁層有優(yōu)異的粘附性能,同時(shí)可以滿足后續(xù)的水煮殺 菌條件。涂布后的包裝可以滿足巴氏殺 菌的要求,其鍍鋁層不會因?yàn)樗蠖l(fā)生氧化。  二.為進(jìn)一步提高鍍鋁膜的阻隔性能,同時(shí)保護(hù)鍍鋁層在后續(xù)的印刷、復(fù)合等加工過程中不被破壞,可以通過在鍍鋁層上涂布一層高阻隔的納米涂層或聚合物涂層來實(shí)現(xiàn)。 三.為提高鍍鋁膜的裝飾性能,在基材薄膜鍍鋁前或鍍鋁后進(jìn)行各種顏色的涂布,或模壓后再進(jìn)行鍍鋁,使得鍍鋁膜具有多彩的顏色或具有鐳射效果。此類產(chǎn)品可分為三種:包裝用膜、裝飾用膜、標(biāo)示用膜。主要應(yīng)用于禮品、禮盒的裝飾或防偽包裝用途,如食品、藥品、玩具等的外包裝以及酒等的防偽包裝。當(dāng)濺射靶被化合物全部覆蓋的時(shí)候,靶完全中毒,在靶面上沉積一層化合金屬膜。南京碲靶材圖片

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述靶材的比較大厚度為28-30mm,例如可以是28mm、28.1mm、28.2mm、28.3mm、28.4mm、28.5mm、28.6mm、28.7mm、28.8mm、28.9mm、29mm、29.1mm、29.2mm、29.3mm、29.4mm、29.5mm、29.6mm、29.7mm、29.8mm、29.9mm或30mm等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。

推薦地,所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

作為本發(fā)明推薦的技術(shù)方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。

推薦地,所述平面為圓形。

推薦地,所述第二平面為環(huán)形。 常州磷酸鋰靶材價(jià)格在直流脈沖、中頻濺射過程中,離子撞擊的能量不足以破壞氧化皮。

磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?磁控濺射過程中,等離子體的離子撞擊靶材,濺射出靶材的原子、原子團(tuán)、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團(tuán)沉積到基材上形成薄膜。

濺射發(fā)生在靶材表面,靶材表面物理狀態(tài)不均勻也沒有關(guān)系,濺射的時(shí)候會先濺射凸起,濺射時(shí)間長了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。

濺射過程不影響靶材合金、混合材質(zhì)的比例和性質(zhì),所以如果是表面容易變質(zhì)的靶材,如果不拋光去除表面變質(zhì)部分,沉積到基材上的膜層性質(zhì)就是表面變質(zhì)的雜質(zhì)。

靶中毒現(xiàn)象:

正離子堆積:靶中毒時(shí),靶面形成一層絕緣膜,正離子到達(dá)陰極靶面時(shí)由于絕緣層的阻擋,不能直接進(jìn)入陰極靶面,而是堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場致弧光放電---打弧,使陰極濺射無法進(jìn)行下去。(2)陽極消失:靶中毒時(shí),接地的真空室壁上也沉積了絕緣膜,到達(dá)陽極的電子無法進(jìn)入陽極,形成陽極消失現(xiàn)象。

靶中毒的物理解釋:

一般情況下,金屬化合物的二次電子發(fā)射系數(shù)比金屬的高,靶中毒后,靶材表面都是金屬化合物,在受到離子轟擊之后,釋放的二次電子數(shù)量增加,提高了空間的導(dǎo)通能力,降低了等離子體阻抗,導(dǎo)致濺射電壓降低。從而降低了濺射速率。一般情況下磁控濺射的濺射電壓在400V-600V之間,當(dāng)發(fā)生靶中毒時(shí),濺射電壓會明顯降低。

金屬靶材與化合物靶材本來濺射速率就不一樣,一般情況下金屬的濺射系數(shù)要比化合物的濺射系數(shù)高,所以靶中毒后濺射速率低。(3)反應(yīng)濺射氣體的濺射效率本來就比惰性氣體的濺射效率低,所以反應(yīng)氣體比例增加后,綜合濺射速率降低。 壓靶蓋旋的過緊,沒有和靶材之間留下適當(dāng)?shù)木嚯x,調(diào)整距離即可。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本發(fā)明解決的問題是提供一種靶材拋光裝置,有助于提高作業(yè)效率。

為解決上述問題,本發(fā)明提供一種靶材拋光裝置,包括:固定板,所述固定板包括頂板和位于所述頂板一側(cè)的側(cè)板;拋光片,位于所述固定板內(nèi)側(cè)面上,其中位于固定板彎折處的拋光片呈弧狀。

可選的,所述拋光片表面與靶材側(cè)壁表面及經(jīng)圓角處理的側(cè)棱相匹配。

可選的,所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處形成夾角,位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度不均。

可選的,所述固定板內(nèi)側(cè)面彎折處呈弧狀,位于所述固定板彎折處的所述拋光片的厚度均勻。

可選的,所述固定板的材料為金屬或合金。

可選的,所述拋光片為砂紙。

可選的,所述靶材拋光裝置還包括:防護(hù)層,所述防護(hù)層位于所述固定板與所述拋光片之間。

可選的,所述防護(hù)層為彈性材料。

可選的,所述防護(hù)層的材料為***、橡膠或棉花。

可選的,所述靶材拋光裝置還包括:把手,所述把手設(shè)置于所述固定板的外表面上。

可選的,所述把手的數(shù)量為兩個(gè),其中一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的頂部,另一個(gè)所述把手設(shè)置于所述固定板的側(cè)壁上。 磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?南京碲靶材圖片

靶材密度越高,薄膜的性能越好。南京碲靶材圖片

所述靶材600具有十二條側(cè)棱601,各條側(cè)棱601均經(jīng)過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側(cè)棱601位置較為銳利。如果使用側(cè)棱未經(jīng)圓角處理的靶材600進(jìn)行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側(cè)棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導(dǎo)致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質(zhì)量。圓角處理使得靶材側(cè)棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。

利用所述靶材拋光裝置100對所述靶材600進(jìn)行拋光時(shí),將所述靶材拋光裝置100放置于所述靶材600上,使所述拋光片第二部分320表面與所述靶材600的側(cè)棱601表面相貼合,并使所述拋光片部分310表面與所述靶材濺射面610相貼合,且所述拋光片第三部分330表面與所述靶材600的側(cè)壁表面630相貼合。操作人員利用所述把手推動(dòng)所述靶材拋光裝置100,所述靶材拋光裝置100相對所述靶材600移動(dòng),移動(dòng)方向平行與被拋光的所述側(cè)棱601延伸方向。所述拋光片300表面的磨砂顆粒與靶材600表面相摩擦,以獲得光亮、平整的靶材600表面。 南京碲靶材圖片

江陰典譽(yù)新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進(jìn)技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機(jī)構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽(yù)新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時(shí)也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗(yàn)用靶材。 江陰典譽(yù)目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機(jī)加工設(shè)備七臺,檢驗(yàn)設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達(dá)到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽(yù)秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。

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