磁控濺射一定要求靶材表面要拋光嗎?磁控濺射過程中,等離子體的離子撞擊靶材,濺射出靶材的原子、原子團、離子、電子、光子等,原子、離子、原子團沉積到基材上形成薄膜。
濺射發(fā)生在靶材表面,靶材表面物理狀態(tài)不均勻也沒有關系,濺射的時候會先濺射凸起,濺射時間長了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。
濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質,所以如果是表面容易變質的靶材,如果不拋光去除表面變質部分,沉積到基材上的膜層性質就是表面變質的雜質。 正離子到達陰極靶面時由于絕緣層的阻擋,堆積在靶面上,容易產(chǎn)生冷場致弧光放電,使陰極濺射無法進行下去。無錫硼化鐵靶材工廠
PVD顏色膜之玫瑰金 玫瑰金,單從她那浪漫的名字,就能引起人們無數(shù)美妙的聯(lián)想。在閃閃發(fā)光的黃金飾品與經(jīng)典高雅的鉑金飾品之后,色調(diào)柔和迷人的玫瑰金飾品漸成為時尚人士的“新寵”,以她特有的風格與文化,演繹出貴金屬飾品的又一片嶄新天地。通常玫瑰金由75%的黃金與其它合金組成(俗稱三色金)。 硬度較純金高,與傳統(tǒng)的黃金和鉑金相比,粉紅色的玫瑰金不但能使有色寶石的色彩更加濃重,還體現(xiàn)了金屬材質的精致、細膩。其粉紅、玫瑰等暖色調(diào)給人們帶來溫暖與愉快;在款式上也是千姿百態(tài),有心形、欖尖形、橢圓形、梨形、祖母綠形。各種風格迥異的飾品,可謂璀璨耀眼,女性無論是著職業(yè)裝,還是晚禮服及吊帶裙,與之相配都顯出高雅的氣質。 玫瑰金顏色近幾年在手表行業(yè)非常流行,很多品牌都采用PVD在不銹鋼表殼和表帶上沉積玫瑰金涂層的方式進行,行業(yè)內(nèi)叫IP玫瑰金,其工藝已經(jīng)非常成熟。玫瑰金鍍層一般有仿金層和玫瑰金層構成,底層的仿金層一般為TiCN,主要是增加玫瑰金的硬度和耐磨度。無錫硼化鐵靶材工廠在靶材的技術工藝中為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。九.什么是靶材綁定
主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。
一.靶材綁定的定義
靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導電膠。
1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;
一種靶材拋光裝置100,包括:固定板200,所述固定板200包括頂板210和位于所述頂板210一側的側板220;拋光片300,位于所述固定板200內(nèi)側面上,其中位于固定板200彎折處的拋光片300呈弧狀。
所述固定板200能夠起到支架的作用,以固定支撐所述拋光片300,便于操作人員使用所述靶材拋光裝置100。
頂板210呈矩形狀,所述側板220也呈矩形狀。
述固定板200內(nèi)側面彎折處形成夾角。具體的,所述側板220表面垂直于所述頂板210表面,即所述夾角為90°。在其他實施例中,所述夾角還可以大于90°且小于180°。
頂板210與所述側板220為一體成型。在其他實施例中,所述頂板與所述側板還可以采用焊接、螺接或緊密配合方式固定連接。
固定板200的材料為合金,具體的,所述固定板200的材料為不銹鋼。在其他實施例中,所述固定板的材料還可以為金屬。 不拋光去除表面變質部分,沉積到基材上的膜層性質就是表面變質的雜質。
拋光片300包括拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330。所述拋光片部分310設置于所述頂板210的底部。所述拋光片第二部分320設置于所述頂板210與所述側板220的拐角處,且在所述拋光片部分310及拋光片第三部分330間平滑的過渡。所述拋光片第三部分330設置于所述側板220的內(nèi)側面上,所述拋光片第三部分330表面與拋光片部分310表面垂直。拋光片第二部分320呈弧狀,與經(jīng)圓角處理的靶材側棱相匹配,可對靶材側棱進行拋光。所述拋光片第三部分330表面為平整的平面,能夠對靶材側壁表面進行拋光。因此所述靶材拋光裝置100能夠同時對靶材側壁表面及經(jīng)圓角處理的側棱進行拋光,有助于提高拋光作業(yè)效率。 厚度適中:3mm左右,太厚,消耗部分磁強;太薄,容易變形。無錫硼化鐵靶材工廠
晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快。無錫硼化鐵靶材工廠
所述靶材的比較大厚度為24mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鋁;所述背板的材質包括銅。
所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。
實施例5
本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.82mm;所述靶材表面的硬度為21hv;
其中,所述靶材的比較大厚度為23mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為1°;所述斜面位于所述平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鋁;所述背板的材質包括銅和鋁。
所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。 無錫硼化鐵靶材工廠
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。