靶材600呈長方體狀,其頂部表面為靶材濺射面610,底部表面為靶材焊接面620,所述靶材焊接面620貼合于背板表面上,所述靶材600通過所述靶材焊接面620與背板焊接固定。所述靶材600具有四個側壁表面630。靶材600具有十二條側棱601,各條側棱601均經過圓角處理。在圓角處理前,所述靶材600的側棱601位置較為銳利。如果使用側棱未經圓角處理的靶材600進行濺射鍍膜,在濺射鍍膜工藝過程中,所述靶材600的側棱601位置容易發(fā)生前列放電的現(xiàn)象,導致鍍膜的均勻性差,影響鍍膜質量。圓角處理使得靶材側棱601鈍化,有助于防止前列放電現(xiàn)象的發(fā)生。濺射過程不影響靶材合金、混合材質的比例和性質。山東ZrTi靶材
作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材呈凹形結構。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材包括用于濺射的濺射面。 地,所述濺射面包括***平、第二平面和斜面。作為本發(fā)明 的技術方案,所述斜面與水平面的夾角≤10°,例如可以是10°、9°、8°、7°、6°、5°、4°、3°、2°或1°等,但不限于所列舉的數(shù)值,該范圍內其他未列舉的數(shù)值同樣適用。作為本發(fā)明 的技術方案,所述斜面位于所述***平面和第二平面之間。 地,所述***平面為圓形。 地,所述第二平面為環(huán)形。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材的材質包括鋁、鉭、鈦或銅中的一種。作為本發(fā)明 的技術方案,所述背板的材質包括銅和/或鋁。作為本發(fā)明 的技術方案,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為;所述靶材表面的硬度為20-30hv。上海Ba靶材型號濺射的時候會先濺射凸起,濺射時間長了,靶材自己就平了。所以物理不均勻的狀態(tài)不需要拋光。
拋光片部分310的厚度均勻。所述拋光片第三部分330的厚度均勻。位于所述固定板200彎折處的所述拋光片300的厚度不均,即所述拋光片第二部分320的厚度不均。拋光片部分310的厚度與所述拋光片第三部分330的厚度相等,均為2mm~3mm。拋光片部分310、拋光片第二部分320及拋光片第三部分330為分體的。在其他實施例中,所述拋光片部分、拋光片第二部分及拋光片第三部分還可以為一體成型。靶材拋光裝置100還包括:防護層400,所述防護層400位于所述固定板200與所述拋光片300之間。所述防護層400為彈性材料,能夠在所述固定板200及靶材間提供緩沖,避免所述固定板200觸撞靶材導致靶材受損。本實施例中,所述防護層400的厚度為30mm~35mm。若所述防護層400的厚度過小,所述防護層400起到的緩沖效果差,難以有效的保護靶材。若所述防護層400的厚度過大,使得所述防護層400的體積過大,進而造成所述靶材拋光裝置100的體積過大,對操作者使用所述靶材拋光裝置100帶來不必要的困難。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。九.什么是靶材綁定主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。一.靶材綁定的定義靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導電膠。1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;
許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。
玫瑰金靶材有哪些? PVD玫瑰金是靠濺射玫瑰金靶形成的,不同的玫瑰金靶配方顏色上有一些區(qū)別,大概分為以下幾種: 1、皇冠金(crown gold),黃金含量在22K(91.667%),由英國亨利八世(1526年)將此比例的黃金用于金幣的鑄造 2、常見的也是典型的18K玫瑰金,黃金含量也在18K(75%),但其它另含有約4%的銀和21%的銅,呈現(xiàn)美麗的淡粉玫瑰色 3、14K紅金,黃金含量在14K(58.33%),其它添加金屬為銅(41.67%)。 有的PVD鍍膜廠玫瑰金靶也有添加一些其它的稀有元素,用來達到不同的色調或用來改變鍍層的性能,這也是市面上每一家PVD廠鍍出的色調都有一些差異的原因之一。
濺射靶材廣泛應用于裝飾、工模具、玻璃、電子器件、半導體、磁記錄、平面顯示、太陽能電池等眾多領域。上海碲靶材貼合
靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。山東ZrTi靶材
真空離子鍍厚功能鍍膜代替現(xiàn)行電鍍 真空離子鍍厚特性: (1)不用酸堿鹽、不用物、不產生六價鉻,沒有三廢排放,對環(huán)境沒有污染,對人體旡害。 (2)鍍膜附著性好不易脫落,有過渡層。 (3)可鍍制厚功能鍍膜有耐磨、耐蝕、耐熱及特殊性能等鍍膜。 (4)鍍膜硬度可達Hv2000左右, 可據(jù)要求而定。 (5)鍍膜厚度可達40微米以上,可據(jù)要求而定。 (6)工件基材鋼鐵為主,有色金屬及其合金也可據(jù)要求采用。 應用領域:活塞環(huán)、軸承軸瓦、葉片、搬手、篩具、壓鑄模具、 量具、絞刀、絲錐、 板牙、五金工具、機床頂針、一般耐磨件、鉗子口、零件修復等等。山東ZrTi靶材
江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產出多系列***濺射靶材產品。 公司目前主要生產金屬,合金,陶瓷三大類靶材產品。經過幾年的發(fā)展和技術積累,已經擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。