靶材的比較大厚度為30mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為8°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鈦;所述背板的材質包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.8mm;所述靶材表面的硬度為22hv;其中,所述靶材的比較大厚度為28mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結構;所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質包括鉭;所述背板的材質包括銅。通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。常州Gd2O3靶材定制
真空鍍膜機在塑膠行業(yè)的應用 真空鍍膜機應該普遍,在塑料行業(yè)的應該也很普遍。而塑膠在生活,工業(yè),電器,航空等領域都有涉及。塑膠具有易成型,價格便宜,質量輕,防腐蝕等優(yōu)點,但塑膠的缺點也比較突出,其缺點也制約了塑膠的應用范圍,如不美觀、易老化、機械性能差、易碎易變型、耐熱差等。通過真空鍍膜機的應用,使塑膠表面鍍上特定膜層,東莞匯成真空自主研發(fā)生產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設備將鍍膜機材料和塑膠產(chǎn)呂完美結合,提高了塑膠制品的物理、化學性能。 一、改善表面硬度,原塑膠表面比金屬軟而易受損害,通過真空鍍膜,硬度及耐磨性增加; 二、使塑料表面有導電性; 三、容易清洗,不吸塵; 四、改善塑膠外觀,表面光滑,金屬感強,色澤光鮮,裝飾性提高。
南京ZrCu靶材功能靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。
磁控濺射鍍膜中出現(xiàn)膜層不良的表現(xiàn)有哪些,如何改善? 1.脫膜主要表現(xiàn):點狀/片狀膜層脫落 原因分析:雜質附著,清洗殘留,真空室臟,臟污、油斑、灰點、口水點, 膜層局部附著不良等。 改善:加強清洗,加強烘烤,環(huán)境管控(清潔干燥),對于多層膜系,底層須與基材匹配(吸附力、硬度、熱膨脹)。 2.裂紋/暴膜主要表現(xiàn): 網(wǎng)狀裂痕/龜裂/起泡脫膜,出爐外觀OK,放置一段時間后爆裂/起泡脫膜。 原因分析:鍍膜過程基材加熱不充分,成膜后及出爐后降溫過快,膜層應力累積, 膜層與基材不匹配,多層膜之間參數(shù)不匹配。 改善: 基材充分預熱加熱;增加離子輔助,減小應力;鍍膜緩慢降溫;底層須與基材匹配;多層膜之間參數(shù)不突變。 3,色差主要表現(xiàn):同爐產(chǎn)品顏色不一致 原因分析及改善:靶材分布;布氣;磁場;遮擋。
真空離子鍍耐高溫性能: 航空零件,特別是許多發(fā)動機零件往往需要在高溫下工作。例如渦輪葉片及導向葉片工作溫度通常在攝氏一千度左右,有的甚至達攝氏一千四百度。神話小說《西游記》里孫悟空被太上老君放在爐內燒煉時,恐怕也達不到這么高的溫度吧?,F(xiàn)代航空發(fā)動機零件在這樣高的溫度下工作,依賴零件基體材料本身的性能是很難滿足要求的。那么,發(fā)動機零件怎樣才能不怕高溫燒蝕呢?目前除在零件結構上采取措施(如采用空心冷卻葉片、發(fā)散冷卻葉片等)以外,大都需用耐熱鍍層進行保護。離子鍍對于沉積耐熱膜有相當多的優(yōu)點,能鍍各種高熔點材料,如氧化鋁、氧化硅、氧化鈹、鉿合金等。合金鍍層的成份也比較容易控制,適合于鍍成分較復雜的耐熱合金,如鐵鉻鋁釔,鈷鉻鋁釔或鎳鉻鋁釔合金等。 目前渦輪葉片是試圖采用離子鍍耐熱鍍層的主要對象。據(jù)悉,有一種葉片用此法鍍復一種鎳鉻鋁釔合金后,其高溫工作壽命比鍍鋁提高了三倍。適于采用離子鍍耐熱鍍層的發(fā)動機零件還有渦輪盤、氣缸活塞零件等。有些零件經(jīng)過這種先進工藝處理后,可在高溫下工作上千小時。因為用處不一樣,所以不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。
真空離子鍍厚功能鍍膜代替現(xiàn)行電鍍 真空離子鍍厚特性: (1)不用酸堿鹽、不用物、不產(chǎn)生六價鉻,沒有三廢排放,對環(huán)境沒有污染,對人體旡害。 (2)鍍膜附著性好不易脫落,有過渡層。 (3)可鍍制厚功能鍍膜有耐磨、耐蝕、耐熱及特殊性能等鍍膜。 (4)鍍膜硬度可達Hv2000左右, 可據(jù)要求而定。 (5)鍍膜厚度可達40微米以上,可據(jù)要求而定。 (6)工件基材鋼鐵為主,有色金屬及其合金也可據(jù)要求采用。 應用領域:活塞環(huán)、軸承軸瓦、葉片、搬手、篩具、壓鑄模具、 量具、絞刀、絲錐、 板牙、五金工具、機床頂針、一般耐磨件、鉗子口、零件修復等等。真空鍍膜中靶材中毒會出現(xiàn)哪些想象,如何解決?常州Gd2O3靶材定制
許多用戶在采購靶材時沒有從專業(yè)的角度去考慮,下面為大家指出購買靶材時需要注意的事項。常州Gd2O3靶材定制
磁控濺射制備非晶硅薄膜 本實驗采用石英玻璃為襯底,實驗前先將玻璃襯底浸泡在溶液中,放到JHN- 4F(200 W)超聲波清洗機清洗30 min;然后用分析乙醇同樣在超聲波清洗機中清洗30 min; 放入裝有去離子水的燒杯中在超聲波清洗器中清洗約30 min 后晾干。然后以高純硅為靶材在JGP500型超高真空磁控濺射設備上,分別采用直流和射頻方式制備了兩塊樣品。在濺射前,預濺射5 min以除去靶材表面氧化物。1# 樣品采用直流磁控濺射方式, 濺射功率為100 W, 本底真空度6×10- 4 Pa , 濺射時間20 min,濺射氣壓0.5 Pa,襯底溫度為室溫。2#樣品采用射頻磁控濺射方式,濺射功率150 W,本底真空度6×10- 4 Pa,濺射時間120 min,濺射氣壓2.0 Pa,襯底溫度為室溫。樣品1# 和2# 均切為3 小塊,其中各保留一小塊不做退火處理,其他的小塊樣品處理情況為1#750℃、1#850℃,2#750℃、2#850℃在馬弗爐中退火1h。將1# 和2#未處理樣品用拉曼激光誘導方法,研究非晶硅薄膜的晶化過程。
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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術,并通過與國內外**研發(fā)機構合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結,真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領域。同時也為國內外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結爐一臺,真空熔煉設備兩臺,等靜壓設備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設備七臺,檢驗設備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導向,客戶的所有需求一次做好?!钡陌l(fā)展理念。