晶粒尺寸及晶粒尺寸分布。通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。九.什么是靶材綁定主要從靶材綁定的定義,適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。一.靶材綁定的定義靶材綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要由三種方式:壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。1.壓接:采用壓條,一般為了提高接觸的良好性,會增加石墨紙、Pb或In皮;
對于所有的金屬來說,純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,靶材的純度對后期產(chǎn)品薄膜的性能影響很大。四川氧化鈮靶材
所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例4本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.9mm;所述靶材表面的硬度為25hv;其中,所述靶材的比較大厚度為24mm;所述靶材組件還包括用于固定靶材的背板;所述靶材呈凹形結(jié)構(gòu);所述靶材包括用于濺射的濺射面;所述濺射面包括***平面、第二平面和斜面;所述斜面與水平面的夾角為3°;所述斜面位于所述***平面和第二平面之間;所述***平面為圓形;所述第二平面為環(huán)形;所述靶材的材質(zhì)包括鋁;所述背板的材質(zhì)包括銅。所得靶材組件濺射強度好,使得濺射過程中薄膜厚度均勻,使用壽命增加。實施例5本實施例提供一種長壽命靶材組件,所述靶材表面的比較高點和比較低點的垂直距離為5.82mm;所述靶材表面的硬度為21hv;四川氧化鈮靶材適用范圍和背靶的選擇三個方面來為大家介紹一下靶材綁定。
電致變色的工作原理: 電致變色材料在外加電場作用下發(fā)生電化學(xué)氧化還原反應(yīng),得失電子,使材料的顏色發(fā)生變化電致變色器件的典型結(jié)構(gòu)器件結(jié)構(gòu)從上到下分別為:玻璃或透明基底材料、透明導(dǎo)電層(如:ITO)、電致變色層、電解質(zhì)層、離子存儲層、透明導(dǎo)電層(如:ITO)、玻璃或透明基底材料。器件工作時,在兩個透明導(dǎo)電層之間加上一定的電壓,電致變色層材料在電壓作用下發(fā)生氧化還原反應(yīng),顏色發(fā)生變化;而電解質(zhì)層則由特殊的導(dǎo)電材料組成,如包含有高氯酸鋰、高氯酸納等的溶液或固體電解質(zhì)材料;離子存儲層在電致變色材料發(fā)生氧化還原反應(yīng)時起到儲存相應(yīng)的反離子,保持整個體系電荷平衡的作用,離子存儲層也可以為一種與前面一層電致變色材料變色性能相反的電致變色材料,這樣可以起到顏色疊加或互補的作用。如:電致變色層材料采用的是陽極氧化變色材料,則離子存儲層可采用陰極還原變色材料。
磁控濺射鍍膜生產(chǎn)ZnO∶Al(AZO)薄膜的工藝探討 目前主要的薄膜太陽能電池有:碲化鎘(CdTe)系薄膜太陽能電池、硒銦銅(CIS)系薄膜太陽能電池、非晶硅系薄膜太陽能電池、晶硅系薄膜太陽能電池。研究人員研制出了價格低廉、原材料豐富且性能穩(wěn)定的絨面ZnO∶Al陷光結(jié)構(gòu)來作為薄膜太陽能電池的前電極。具有彈坑狀絨面結(jié)構(gòu)的AZO透明導(dǎo)電薄膜可以增強太陽光的散射作用,改善陷光效果,增加電池對太陽能的吸收量,提高薄膜太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。磁控濺射鍍膜工藝在玻璃襯底上制作AZO透明導(dǎo)電薄膜具有成膜速度快、膜層均勻、成膜面積大等優(yōu)點,是較為合適的生產(chǎn)AZO薄膜的工藝方法。 目前由磁控濺射工藝生產(chǎn)透明導(dǎo)電薄膜AZO時所用靶材有兩種類型:①陶瓷AZO靶材;②合金鋅鋁靶材。應(yīng)根據(jù)實際情況,選擇適合本企業(yè)的靶材產(chǎn)品。 作為一種新的TCO材料,AZO相對于ITO和FTO有很大優(yōu)勢,要大規(guī)模產(chǎn)業(yè)化還必須在如何降低設(shè)備及工藝成本上進一步研發(fā)。從根本上說,AZO薄膜的結(jié)構(gòu)性能的好壞決定了其光電性能的優(yōu)劣,必須在工藝參數(shù)上多做研究,實現(xiàn)高質(zhì)量和低成本的雙贏。靶材綁定的定義。濺射靶材的分類有哪些?
磁控濺射制備非晶硅薄膜 本實驗采用石英玻璃為襯底,實驗前先將玻璃襯底浸泡在溶液中,放到JHN- 4F(200 W)超聲波清洗機清洗30 min;然后用分析乙醇同樣在超聲波清洗機中清洗30 min; 放入裝有去離子水的燒杯中在超聲波清洗器中清洗約30 min 后晾干。然后以高純硅為靶材在JGP500型超高真空磁控濺射設(shè)備上,分別采用直流和射頻方式制備了兩塊樣品。在濺射前,預(yù)濺射5 min以除去靶材表面氧化物。1# 樣品采用直流磁控濺射方式, 濺射功率為100 W, 本底真空度6×10- 4 Pa , 濺射時間20 min,濺射氣壓0.5 Pa,襯底溫度為室溫。2#樣品采用射頻磁控濺射方式,濺射功率150 W,本底真空度6×10- 4 Pa,濺射時間120 min,濺射氣壓2.0 Pa,襯底溫度為室溫。樣品1# 和2# 均切為3 小塊,其中各保留一小塊不做退火處理,其他的小塊樣品處理情況為1#750℃、1#850℃,2#750℃、2#850℃在馬弗爐中退火1h。將1# 和2#未處理樣品用拉曼激光誘導(dǎo)方法,研究非晶硅薄膜的晶化過程。
此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。蘇州NiCr靶材工廠
金屬靶表面氧化或有不清潔物質(zhì),打磨清理干凈后即可。四川氧化鈮靶材
什么是DLC薄膜? 類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯Diamond Like Carbon的簡稱,它是一類性質(zhì)近似于金剛石,具有高硬度,高電阻率。良好光學(xué)性能等,同時又具有自身獨特摩擦學(xué)特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結(jié)合方式,從而使其終產(chǎn)生不同的物質(zhì):金剛石(diamond)—碳碳以 sp3鍵的形式結(jié)合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結(jié)合。 而類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結(jié)合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴(yán)格的定義,可以包括很寬性質(zhì)范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數(shù)量的C-H鍵。
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江陰典譽新材料科技有限公司地處江蘇省江陰市,是一家專業(yè)生產(chǎn)濺射靶材和蒸發(fā)材料的公司,濺射靶材充分借鑒國外的先進技術(shù),并通過與國內(nèi)外**研發(fā)機構(gòu)合作,整合各行業(yè)資源優(yōu)勢,生產(chǎn)出多系列***濺射靶材產(chǎn)品。 公司目前主要生產(chǎn)金屬,合金,陶瓷三大類靶材產(chǎn)品。經(jīng)過幾年的發(fā)展和技術(shù)積累,已經(jīng)擁有:真空熱壓,冷壓燒結(jié),真空熔煉,熱等靜壓,等離子噴涂等技術(shù)。另外也可根據(jù)客戶要求研發(fā)新型靶材并提供靶材金屬化、綁定和背板服務(wù)。 江陰典譽新材料科技有限公司已為以下行業(yè)提供***的靶材:平面顯示、裝飾與工具、太陽能光伏和光熱、電子和半導(dǎo)體、建筑與汽車玻璃大面積鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。同時也為國內(nèi)外各大院校和研究所提供了很多常規(guī)和新型的試驗用靶材。 江陰典譽目前擁有真空熱壓爐兩臺,冷壓燒結(jié)爐一臺,真空熔煉設(shè)備兩臺,等靜壓設(shè)備一臺,等離子噴涂兩套,綁定平臺兩套,各類機加工設(shè)備七臺,檢驗設(shè)備若干,確保出廠的每件產(chǎn)品都能達到甚至超過客戶的預(yù)期。 江陰典譽秉承:“一切以客戶的需求為導(dǎo)向,客戶的所有需求一次做好。”的發(fā)展理念。