無油活塞式真空泵是高新科技產(chǎn)品。工作原理是：連桿通過軸承與偏心壓裝在一起，偏心輪鎖緊在電機軸上，由于轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)，帶動連桿往復(fù)運動，從而實現(xiàn)空氣的吸入、壓縮和排出過程。無油活塞式真空泵具有以下特點：--完全無油工作--高效節(jié)能--長壽命--靜音--低升溫--運行平穩(wěn)--高可靠性--體積小，重量輕--便攜式，可攜帶外出作業(yè)--結(jié)構(gòu)簡單，易維護--外形美觀。無油活塞式真空泵主要應(yīng)用在以下領(lǐng)域：醫(yī)療設(shè)備，科研設(shè)備，實驗室，干燥設(shè)備，半導(dǎo)體工業(yè)，汽車工業(yè)，印刷機械，包裝機械，食品保鮮，水產(chǎn)養(yǎng)殖，水凈化處理，分析儀器，廣告制作，設(shè)備維修，生物制藥，通訊電子，石油化工，環(huán)境監(jiān)測系統(tǒng)，高原地區(qū)制氧等領(lǐng)域。微型...

微型化真空泵技術(shù)及發(fā)展本節(jié)簡要介紹一些研究進展較為明顯，或當(dāng)前關(guān)注度較高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/擴散泵、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級膜片泵通常由一個腔體、一個泵膜、兩個閥門和一個致動器組成，它利用泵膜的往復(fù)運動營造腔體容積的周期性變化，利用單向閥門控制氣體流向，實現(xiàn)氣流的定向引入、輸出。膜片泵的原理、結(jié)構(gòu)相對簡單，膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物，驅(qū)動機制可采用靜電、壓電、電滲、氣動和磁力等[16]。關(guān)鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝，使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成，構(gòu)建片上型系統(tǒng)[17]。免維護，使用壽命相對較長，無油活塞真空泵不需要這樣的維護，可...