被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭接收并由接收光纖選擇性的傳輸?shù)焦庾V儀，光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)光譜波峰反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)利用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程；因此本方案中的光譜共焦位移傳感器通過(guò)光譜共焦工作原理，避免使用激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測(cè)量精度。新品光譜共焦位移傳感器定...

如圖1至圖3所示,為本實(shí)用新型光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖2、光譜共焦透鏡組3、共焦小孔6和光譜儀5組成,鹵素?zé)艄庠?連接Y型光纖2,鹵素?zé)艄庠?的光譜波段范圍為360nm~2500nm,光譜儀5通過(guò)共焦小孔6連接Y型光纖2-端,型光纖2另一端連接光譜共焦透鏡組3,光譜共焦透鏡組3包括盒蓋、盒體7、兩個(gè)雙凸球面鏡9、套筒12和一個(gè)彎月透鏡11,盒體7內(nèi)設(shè)置有光路通道8、限位槽13和透光孔10,光路通道8位于限位槽13和透光孔10之間,光路通道8上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的一號(hào)卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡9分別限位在兩個(gè)一號(hào)卡槽內(nèi),兩個(gè)雙凸球面鏡9的凸面...

此外,物鏡使在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)所反射的可見(jiàn)光會(huì)聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測(cè)量點(diǎn)上且被測(cè)量點(diǎn)反射的可見(jiàn)光由物鏡會(huì)聚至的共焦位置處。通過(guò)使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個(gè)可見(jiàn)光束中的在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)反射的可見(jiàn)光作為測(cè)量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測(cè)物體0反射的RGB這三個(gè)顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測(cè)量點(diǎn)。因此,使被測(cè)量點(diǎn)反射的綠色光G會(huì)聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測(cè)量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測(cè)量光的波長(zhǎng)和光軸上的測(cè)量點(diǎn)的位置處于一對(duì)一關(guān)系。傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制。常用光譜共焦位移傳感...

這樣，通過(guò)棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過(guò)聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過(guò)感光元件與控制電路電性連接，從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出，即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)波光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失。光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響，提高測(cè)量精度。鹽城高速光譜共焦位移傳感器1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在...

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長(zhǎng)不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過(guò)色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長(zhǎng)共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對(duì)稱(chēng)，而且沒(méi)有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸式位移傳感器。長(zhǎng)春光譜共焦位移傳感器經(jīng)銷(xiāo)批發(fā)光譜共焦位移傳...

通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。因此,可以容易地將各測(cè)量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱(chēng)的位置處。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處。通過(guò)將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。該傳感器可以用于微納加工、生物醫(yī)學(xué)、半...

本實(shí)用新型公開(kāi)了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過(guò)共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實(shí)用新型采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強(qiáng)的實(shí)用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測(cè)量。該...

Preferencyly，在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè)，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響，發(fā)光件左右對(duì)稱(chēng)布置在光源耦合器中，通過(guò)卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè)，分別通過(guò)插槽3400與發(fā)光件連接，兩個(gè)導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對(duì)稱(chēng)設(shè)置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過(guò)導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo)，從各個(gè)方向射出，使用者能從各個(gè)角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)光譜共焦技術(shù)消除了光學(xué)像差和色差的影響，提高了測(cè)量精度。泰州光譜共焦位移傳感器制造廠家激光位移傳感器利用光學(xué)三角法原理，通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面，利用漫反射效應(yīng)接收反射光...

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測(cè)量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束;多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束:以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置它的精度可以達(dá)到納米級(jí)別，適用于各種需要高精度位移測(cè)量的領(lǐng)域。南通本地...

在能夠以這種方式執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器中,需要能夠減少必要組件的數(shù)量的技術(shù)。有鑒于如上所述的情形,本發(fā)明旨在提供能夠利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量的光譜共焦傳感器以及使用該光譜共焦傳感器的測(cè)量方法。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的光譜共焦傳感器包括光源部、多個(gè)光學(xué)頭、分光器和位置計(jì)算部。光源部射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。多個(gè)光學(xué)頭將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處，并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，對(duì)于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。紹興光譜共焦位移傳感器歡迎選購(gòu)準(zhǔn)直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設(shè)置，且準(zhǔn)...

通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的情況下的光軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以將從多個(gè)光入射口入射的測(cè)量光分別射出至線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以被設(shè)置成從 多個(gè)光入射口入射的 多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與 預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。因此,可以容易地將各測(cè)量光束射出至多個(gè)受光區(qū)域。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱(chēng)的位置處。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。 多個(gè)光入射口可以設(shè)置在相對(duì)于 虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處。通過(guò)將多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于作為基準(zhǔn)軸的起點(diǎn)的虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處,可以容易地設(shè)計(jì)分光器。該傳感器利用光路中的光譜信息實(shí)現(xiàn)對(duì)位移...

Preferencyly，在本實(shí)施例中發(fā)光件設(shè)置有2個(gè)，在保證良好提示效果的前提下，采用更少的發(fā)光件以減少發(fā)熱對(duì)探頭的影響，發(fā)光件左右對(duì)稱(chēng)布置在光源耦合器中，通過(guò)卡扣和螺紋連接固定在光源耦合器中，導(dǎo)光光纖也設(shè)置有2個(gè)，分別通過(guò)插槽3400與發(fā)光件連接，兩個(gè)導(dǎo)光光纖的出光端在探頭殼體上呈左右對(duì)稱(chēng)設(shè)置，發(fā)光件發(fā)出的指示光能通過(guò)導(dǎo)光光纖的傳導(dǎo)，從各個(gè)方向射出，使用者能從各個(gè)角度觀察到探頭工作情況。創(chuàng)視智能技術(shù)創(chuàng)視智能技術(shù)該傳感器可應(yīng)用于微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量。嘉興直銷(xiāo)光譜共焦位移傳感器將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開(kāi)設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過(guò)導(dǎo)光...

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置。換句話說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測(cè)量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測(cè)量傳感器。廣州直銷(xiāo)光譜...

本實(shí)用新型公開(kāi)了光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖，光譜儀通過(guò)共焦小孔連接Y型光纖一端,Y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組，光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套筒和一個(gè)彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔，光路通道上從左往右依次設(shè)置有較早卡槽和第二卡槽,兩個(gè)雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)較早卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi)。本實(shí)用新型采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組，具有較強(qiáng)的實(shí)用性,減小傳感器探頭的體積,光源發(fā)射和接收同光路,適用于具有高深寬比、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測(cè)量。光...

這樣，通過(guò)棱鏡組對(duì)接收光纖的出光端發(fā)出的多色光進(jìn)行色散，色散后的光通過(guò)聚焦透鏡組進(jìn)行聚焦，使焦點(diǎn)位于感光元件上，通過(guò)感光元件與控制電路電性連接，從而實(shí)現(xiàn)電信號(hào)輸出，即對(duì)反射光進(jìn)行量化處理，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系；光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析，通過(guò)波光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移，實(shí)現(xiàn)使用光譜共焦原理測(cè)量位移的過(guò)程。本實(shí)施例采用棱鏡組進(jìn)行色散，具有較小的光能量損失。它可以應(yīng)用于材料的力學(xué)性能測(cè)試、微納加工、光學(xué)元件的制造等多個(gè)領(lǐng)域。浦東新區(qū)光譜共焦位移傳感器誠(chéng)信企業(yè)推薦分光器包括線...

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述機(jī)殼設(shè)置有兩層，所述聚焦透鏡組位于所述機(jī)殼的上層，所述感光元件位于所述機(jī)殼的下層，所述聚焦透鏡組與所述感光元件的光路之間設(shè)置有用于轉(zhuǎn)變光線傳播方向的光線轉(zhuǎn)向鏡組，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組包括有上反光鏡，設(shè)置在所述上反光鏡下方位置的下反光鏡，所述光線轉(zhuǎn)向鏡組用于將上層的聚焦透鏡組射出的光線聚焦到下層的感光元件上。根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜共焦位移傳感器，其特征在于，所述光譜共焦位移傳感探頭還設(shè)置有提示組件，所述提示組件包括有：發(fā)光件，所述發(fā)光件設(shè)置在光源耦合器中；導(dǎo)光光纖，所述導(dǎo)光光纖的一端連接在所述光源耦合器中且另一端延伸連接在探頭殼體的側(cè)壁上...

通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。應(yīng)當(dāng)...

光學(xué)頭內(nèi)部的結(jié)構(gòu)不受限制,并且可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。例如,可以使用諸如孔和準(zhǔn)直透鏡等的其它透鏡。在本實(shí)施例中,可以通過(guò)No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭來(lái)測(cè)量待測(cè)物體上的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置。換句話說(shuō),可以同時(shí)對(duì)作為No.1 光學(xué)頭和第二光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的兩個(gè)測(cè)量點(diǎn)和進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量。當(dāng)然,本發(fā)明不限于在同一待測(cè)物體0上進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量的情況,并且可以同時(shí)測(cè)量?jī)蓚€(gè)不同的待測(cè)物體。將從No.1光學(xué)頭和第二光學(xué)頭射出的測(cè)量光和經(jīng)由光纖和引導(dǎo)至控制器。射出綠色光作為測(cè)量光和。當(dāng)然,本發(fā)明不限于射出同一波長(zhǎng)光的情況,并且可以射出分別與測(cè)量點(diǎn)和的位置相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)光。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。溫州光...

傳統(tǒng)的探頭中采用的是分光鏡，分光鏡有一定厚度，使光波產(chǎn)生了垂直光軸方向的橫向偏移，而波長(zhǎng)不同，其橫向偏移不相等，導(dǎo)致多色光的光軸發(fā)生分離，經(jīng)過(guò)色散鏡頭后的聚焦點(diǎn)上不在光軸上，其連線也不是一條直線，所以會(huì)產(chǎn)生較大的軸向像差和橫向像差而降低MTF值，使整個(gè)系統(tǒng)產(chǎn)生較大誤差，難以保證整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度。因此，本方案采用的半透半反光學(xué)鏡2300實(shí)現(xiàn)所有多色光的波長(zhǎng)共光軸，不發(fā)生光軸偏移，即發(fā)射光線和接收光線沿光軸完全對(duì)稱(chēng)，而且沒(méi)有垂直光軸方向的偏移，可以更好的消除像差，同時(shí)其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，提高機(jī)械結(jié)構(gòu)的可加工性。光譜共焦位移傳感器是一種高精度非接觸位移測(cè)量傳感器。鎮(zhèn)江銷(xiāo)售光譜共焦位移傳感器光譜儀將波長(zhǎng)、被...

本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種光譜共焦位移傳感器，旨在通過(guò)光譜共焦工作原理，避免通過(guò)激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。本實(shí)用新型解決技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下： 一種光譜共焦位移傳感器，包括底座，其中，還包括有：光源耦合器，所述光源耦合器用于產(chǎn)生多色光； 入射光纖，所述入射光纖的入光端固定連接在所述光源耦合器中并用于接收所述光源耦合器所發(fā)出的多色光；該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。校驗(yàn)光譜共焦位移傳感器產(chǎn)品原理通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量...

通過(guò)配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測(cè)量對(duì)象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。多個(gè)光學(xué)頭可以是2個(gè)光學(xué)頭或者3個(gè)光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來(lái)執(zhí)行2個(gè)或3個(gè)點(diǎn)的同時(shí)測(cè)量。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測(cè)量方法包括射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束。通過(guò)多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光。使從多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)各自的位置。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來(lái)執(zhí)行多點(diǎn)測(cè)量。應(yīng)當(dāng)...

此外,物鏡使在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)所反射的可見(jiàn)光會(huì)聚到光纖處。具體地,殼體部的后端的連接口設(shè)置在聚焦于測(cè)量點(diǎn)上且被測(cè)量點(diǎn)反射的可見(jiàn)光由物鏡會(huì)聚至的共焦位置處。通過(guò)使光纖連接至連接口,可以選擇性地射出多個(gè)可見(jiàn)光束中的在聚焦位置P處被測(cè)量點(diǎn)反射的可見(jiàn)光作為測(cè)量光)。在圖1中,在物鏡和連接口之間示出了被待測(cè)物體0反射的RGB這三個(gè)顏色的光。在圖1所示的示例中,在聚焦位置處存在測(cè)量點(diǎn)。因此,使被測(cè)量點(diǎn)反射的綠色光G會(huì)聚到光纖處。結(jié)果,綠色光G的反射光作為測(cè)量光經(jīng)由光纖射出。這樣射出的測(cè)量光的波長(zhǎng)和光軸上的測(cè)量點(diǎn)的位置處于一對(duì)一關(guān)系。它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的微觀性質(zhì)具有重...

遠(yuǎn)距離測(cè)量：可遠(yuǎn)離被測(cè)物體進(jìn)行掃描測(cè)量。 測(cè)量效率高：不像接觸測(cè)頭那樣需要探測(cè)、返回、移動(dòng)等進(jìn)行逐點(diǎn)測(cè)量，可高速掃描測(cè)量。測(cè)量精度高：光斑可聚焦到很小，進(jìn)而可探測(cè)一般機(jī)械測(cè)頭難以探測(cè)的部位。 其中，光學(xué)測(cè)量以三角測(cè)量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測(cè)量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測(cè)信噪比高的激光光源，但使用激光進(jìn)行三角測(cè)量時(shí)，照射到物體表面的激光會(huì)呈現(xiàn)顆粒狀的散斑，而且被測(cè)物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會(huì)影響的光斑的分布，從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難，導(dǎo)致三角法測(cè)量誤差比較大，在測(cè)量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯，為了更加精細(xì)、更加穩(wěn)定的測(cè)量位移，需要采用...

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例only用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。本實(shí)用新型提出一種光譜共焦位移傳感器，包括光源耦合器1000，所述光源耦合器1000包括有用于產(chǎn)生多色光的多色光光源1100；多色光光源1100可使用激光熒光系統(tǒng)，也可使用LED燈發(fā)光照射熒光粉產(chǎn)生白光，還可以是LED燈直接產(chǎn)生白光，光源耦合器1000產(chǎn)生的光能可以適當(dāng)調(diào)節(jié)，同時(shí)通過(guò)反饋控制實(shí)現(xiàn)光源耦合器1000產(chǎn)生持續(xù)的、亮度恒定不變的多色光，從而使光能量和測(cè)量更加穩(wěn)定；光源耦合部分設(shè)置有帶通濾光片1200,...

1.光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:所述傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠?、Y型光纖、光譜共焦透鏡組、共焦小孔和光譜儀組成,所述鹵素?zé)艄庠催B接所述Y型光纖,所述光譜儀通過(guò)所述共焦小孔連接所述Y型光纖一端,所述Y型光纖另一端連接所述光譜共焦透鏡組,所述光譜共焦透鏡組包括盒蓋、盒體、兩個(gè)雙凸球面鏡、套簡(jiǎn)和一個(gè)彎月透鏡,所述盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道、限位槽和透光孔,所述光路通道位于所述限位槽和所述透光孔之間,所述光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個(gè)相互平行的number one卡槽和一個(gè)第二卡槽,兩個(gè)所述雙凸球面鏡分別限位在兩個(gè)所述number one卡槽內(nèi),所述彎月透鏡限位在所述第二卡槽內(nèi),所述Y型光纖通過(guò)SMA...

光譜共焦位移傳感探頭，光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端，光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別聚焦，并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖，所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi)，所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光； 光譜儀，所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端，所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。該傳感器的測(cè)量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制。直銷(xiāo)光譜共焦位移傳感器答疑解惑激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投...

線傳感器可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下布置的。在這種情況下,光學(xué)系統(tǒng)可以是在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下配置的,并且光學(xué)系統(tǒng)可以包括多個(gè)測(cè)量光束入射的多個(gè)光入射口,其中 多個(gè)光入射口在使用 預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下設(shè)置在不同位置處。通過(guò)以這種方式在使用預(yù)定基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)的情況下在布置線傳感器的同時(shí)配置光學(xué)系統(tǒng),可以向線傳感器的不同受光區(qū)域射出相應(yīng)的測(cè)量光。特別地,通過(guò)使用該基準(zhǔn)軸作為基準(zhǔn)來(lái)在不同位置處設(shè)置多個(gè)光入射口,可以容易將各測(cè)量光射出至多個(gè)受光區(qū)域。 預(yù)定基準(zhǔn)軸可以與在使 測(cè)量光從 分光器的虛擬光入射口入射至 光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。通過(guò)在使用測(cè)量光從虛擬光入射口入射的...

將光源耦合器與光譜共焦位移傳感探頭分開(kāi)設(shè)置，設(shè)置在光源耦合器中的發(fā)光件實(shí)現(xiàn)發(fā)光，并通過(guò)導(dǎo)光光纖進(jìn)行傳導(dǎo)光后在探頭殼體上顯示，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)生熱量的發(fā)光件與探頭殼體分離，而不影響探頭殼體，從而減少發(fā)光件發(fā)光時(shí)產(chǎn)生的熱量對(duì)光譜共焦位移傳感探頭精度的影響，減少測(cè)量誤差，提高測(cè)量精度；通過(guò)濾光片過(guò)濾紅外線，進(jìn)一步減小發(fā)熱量和傳導(dǎo)的熱量。將探頭殼體設(shè)置成可拆卸的上殼體和下殼體兩部分，產(chǎn)生的少量熱量集中在上殼體而不對(duì)下殼體上的主要光學(xué)部件產(chǎn)生影響，從而減少測(cè)量誤差，提高測(cè)量精度。它利用光譜共焦技術(shù)來(lái)測(cè)量物體的微小位移，具有亞微米級(jí)的高精度。高精度光譜共焦位移傳感器銷(xiāo)售價(jià)格本實(shí)用新型涉及光電精密測(cè)量領(lǐng)域，尤其涉...

光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器。與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會(huì)出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測(cè)目標(biāo)表面過(guò)于光滑而接收不到目標(biāo)反射光的情況,對(duì)被測(cè)物體適應(yīng)性強(qiáng),適用于手機(jī)玻璃的檢測(cè),凹坑、小孔的測(cè)量以及表面形貌的掃描恢復(fù)。 光譜共焦傳感器是一種基于光學(xué)色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長(zhǎng)間的對(duì)應(yīng)關(guān)系。傳統(tǒng)的激光三角法測(cè)量技術(shù)已經(jīng)比較成熟,運(yùn)用也比較widely,但由于CCD相機(jī)接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測(cè)量。光譜共焦位移傳感器由于其運(yùn)用同光路的光纖,只要...

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱(chēng)的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述虛擬光入射口相互對(duì)稱(chēng)的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方...