白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向,此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長(zhǎng)光譜的測(cè)量。通過(guò)分析被測(cè)物體的光譜特性,就能夠得到相應(yīng)的長(zhǎng)度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù),它不需要大量的掃描過(guò)程,因此提高了測(cè)量效率,而且也減小了...
表面粗糙度測(cè)量方法具體流程如下 :(1)待測(cè)工件定位。將待測(cè)工件平穩(wěn)置于坐標(biāo)測(cè)量機(jī)測(cè)量平臺(tái)上,調(diào)用標(biāo)準(zhǔn)紅寶石測(cè)針測(cè)量其空間位置和姿態(tài),為按測(cè)量工藝要求確定測(cè)量位置提供數(shù)據(jù)。(2)輪廓掃描。測(cè)量機(jī)測(cè)量臂更換掛載光譜共焦傳感器的光學(xué)探頭,驅(qū)動(dòng)探頭運(yùn)動(dòng)至工件測(cè)量位置...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內(nèi)空間NA和0.991的線性相關(guān)系數(shù)R2,其構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求并顯示出了良好的光學(xué)性能。實(shí)現(xiàn)線性散射需要考慮一些關(guān)鍵條件 ,并可以采用不同的優(yōu)化方法來(lái)改進(jìn)設(shè)計(jì)。首先,線性散射的...
對(duì)同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,通過(guò)控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上的移動(dòng),從而測(cè)量到光線穿過(guò)靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,顯然,當(dāng)一束平行光穿過(guò)靶丸后,偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光...
譜共焦位移傳感器,作為一種高度精密的光學(xué)測(cè)量?jī)x器 ,擔(dān)負(fù)著重要的測(cè)量任務(wù)。其主要應(yīng)用領(lǐng)域包括工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等,其中對(duì)金屬內(nèi)壁輪廓的準(zhǔn)確測(cè)量至關(guān)重要。在工業(yè)制造中,特別是汽車行業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度直接關(guān)系到發(fā)動(dòng)機(jī)性能和可靠性。因此,采...
激光位移傳感器在手機(jī)組裝行業(yè)中也有著廣泛的應(yīng)用。在手機(jī)制造過(guò)程中,需要對(duì)各個(gè)組件進(jìn)行精確的測(cè)量,以確保其質(zhì)量和可靠性。其中,激光位移傳感器可以應(yīng)用于段差測(cè)量。通過(guò)將激光發(fā)射光束投射到被測(cè)組件表面,利用漫反射效應(yīng)接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測(cè)量物體表面形貌的先進(jìn)技術(shù)。在工業(yè)生產(chǎn)中,玻璃瓶是一種常見(jiàn)的包裝容器,其厚度對(duì)于產(chǎn)品的質(zhì)量和安全性至關(guān)重要。因此,精確測(cè)量玻璃瓶厚度的方法對(duì)于生產(chǎn)過(guò)程至關(guān)重要。本文將介紹一種利用光譜共焦位移傳感器測(cè)量玻璃瓶厚度的具體方法。首先,我們...
在工業(yè)領(lǐng)域 ,光譜共焦傳感器的應(yīng)用可以幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)更高精度的加工,提高產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。首先,高精度光譜共焦傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)加工表面形貌的j精確測(cè)量。在精加工過(guò)程中,產(chǎn)品的表面形貌對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量有著至關(guān)重要的影響。傳統(tǒng)的測(cè)量方法往往需要接觸式測(cè)量,不僅測(cè)量精...
靶丸殼層折射率 、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變(ICF)物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù),精密測(cè)量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對(duì)ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考?jí))、結(jié)構(gòu)特殊(球形結(jié)構(gòu))、測(cè)量精度要求高,如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率...
安裝過(guò)程中需要注意保護(hù)傳感器光學(xué)部件。激光位移傳感器的測(cè)量原理是通過(guò)激光束對(duì)測(cè)量目標(biāo)進(jìn)行照射,并通過(guò)接收反射光信號(hào)來(lái)計(jì)算位移。因此,在安裝過(guò)程中,應(yīng)特別注意保護(hù)傳感器的光學(xué)部件,避免碰撞和污染。在安裝完成后,還應(yīng)定期清潔光學(xué)部件,以確保傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性...
光譜共焦傳感器專為需要高精度的測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì),通常是研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量外 ,這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫射材料,以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間隔距離(...
白光干涉的相干原理早在1975年就被提出,并在1976年實(shí)現(xiàn)了在光纖通信領(lǐng)域中的應(yīng)用。1983年,Brian Culshaw的研究小組報(bào)道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年,報(bào)道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。這項(xiàng)研究成果證明了白光...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光,通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去,這些反射回...
光譜共焦測(cè)量原理是使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面上。透鏡的排列方式是通過(guò)控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個(gè)波長(zhǎng)都有一定的偏差(特定距離)進(jìn)行工廠校準(zhǔn)。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長(zhǎng)才能用于測(cè)量。通過(guò)共焦孔徑反射到目標(biāo)表面的光會(huì)被光譜儀檢...
裝備的精密定位和運(yùn)動(dòng)控制是至關(guān)重要的。為了確保武器裝備的高精度和高可靠性,需要使用高精度的測(cè)量和控制系統(tǒng)。激光位移傳感器作為一種高精度、高靈敏度的傳感器,已經(jīng)成為武器裝備制造和維護(hù)中必不可少的工具。激光位移傳感器可以測(cè)量武器裝備的位置和位移,以及其運(yùn)動(dòng)狀態(tài)、速...
激光位移傳感器在鋰電極片測(cè)厚行業(yè)應(yīng)用 。其采用的激光光點(diǎn)呈橢圓形,長(zhǎng)軸直徑遠(yuǎn)大于正負(fù)極材料顆粒,在測(cè)量時(shí)能起到厚度平均的作用,不會(huì)因?yàn)闃O片表面的顆粒太大導(dǎo)致測(cè)量過(guò)程中出現(xiàn)極小范圍內(nèi)的波峰和波谷 。因此,采用該激光位移傳感器做測(cè)厚儀用于測(cè)量鋰電池正負(fù)極極片厚度是...
譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等領(lǐng)域。特別是在工業(yè)制造中,比如汽車工業(yè)的發(fā)動(dòng)機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度對(duì)發(fā)動(dòng)機(jī)的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量,提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù),...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測(cè)量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求。該方法利用三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)對(duì)零件進(jìn)行輪廓掃描,并記錄測(cè)量掃描位置的空間橫坐標(biāo),然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成...
第三視覺(jué)定位包括分別布置在多自由度鍵合頭 300和貼裝臺(tái)單元401上的激光位移傳感器360、403,它們相互配合并用于對(duì)鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對(duì)于XY平面的傾角進(jìn)行精確測(cè)量及定位;第四視覺(jué)定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機(jī)351和平面鏡352共同...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光,通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組 ,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去,這些反射...
極值法求解過(guò)程計(jì)算簡(jiǎn)單,速度快,同時(shí)能確定薄膜的多個(gè)光學(xué)常數(shù)并解決多值性問(wèn)題,測(cè)試范圍廣,但沒(méi)有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素,因此精度不夠高。此外,由于受曲線擬合精度的限制,該方法對(duì)膜厚的測(cè)量范圍有要求,通常用于測(cè)量薄膜厚度大于200納米且小于10微米的情況...
本章主要介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測(cè)量方法 。該方法利用白光反射光譜測(cè)量靶丸殼層光學(xué)厚度,利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測(cè)量光線通過(guò)靶丸殼層后的光程增量,二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。在實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)處理方面,為解決白光干涉光譜中...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用中,具有非常重要的作用。例如,在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移,從而及時(shí)發(fā)現(xiàn)葉片的形變和振動(dòng)情況 ,保證發(fā)電機(jī)的正常運(yùn)行。此外,在新能源汽車領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于測(cè)量電池、電機(jī)等關(guān)...
液晶玻璃基板品質(zhì)管控要求嚴(yán)格、設(shè)備精度要求高,傳統(tǒng)的接觸式測(cè)厚裝置因其測(cè)量精度差、測(cè)量頻次有限而無(wú)法形成連續(xù)測(cè)量、接觸式測(cè)量裝置損耗快,需頻繁定期更換等不足 ,已無(wú)法滿足當(dāng)前生產(chǎn)要求。激光測(cè)厚裝置的應(yīng)用有效彌補(bǔ)了接觸式測(cè)厚裝置的不足,從效率、精度、準(zhǔn)度、連續(xù)性...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長(zhǎng)不同的單色光,通過(guò)同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組,每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去 ,這些反射...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用范圍廣。在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽(yáng)能電池板進(jìn)行高精度的位移測(cè)量,以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測(cè)量,以確定葉片的形變和振動(dòng)情況,從而提高...
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因?yàn)槠錅y(cè)量精度高,對(duì)于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn),應(yīng)用前景十分大量。文章通過(guò)對(duì)原理的分析,設(shè)計(jì)了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補(bǔ)...
激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧 、測(cè)量速度快、精度高、測(cè)量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn),因此在微位移測(cè)量領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。其測(cè)量原理是利用激光單色和準(zhǔn)直特性,將垂直入射測(cè)距面上的激光點(diǎn)通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)將其縮小的實(shí)像成像在接收光敏面上。激光位移傳感器由激光發(fā)...
在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多...
在對(duì)目前常用的白光干涉測(cè)量方案進(jìn)行比較研究后發(fā)現(xiàn),當(dāng)兩個(gè)干涉光束的光程差非常小導(dǎo)致干涉光譜只有一個(gè)峰時(shí),基于相鄰干涉峰間距的解調(diào)方案不再適用。因此,我們提出了一種基于干涉光譜單峰值波長(zhǎng)移動(dòng)的測(cè)量方案,適用于極小光程差。這種方案利用干涉光譜的峰值波長(zhǎng)會(huì)隨光程差變...