一種成本更為優(yōu)化的方法是使用一個通用的儀器，盡管這類儀器初比的儀器更昂貴，但它初的高費(fèi)用將被個別配置成本的減少抵消。對于通用的柵格，帶引腳元器件的板子和表面貼裝設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)柵格是。此時測試焊盤應(yīng)該大于或等于。對于Imm的柵格，測試焊盤設(shè)計得要大于。假如柵格較小，則測試針小而脆，并且容易損壞。因此，好選用大于的柵格。Crum（b)闡明，將通用測試儀（標(biāo)準(zhǔn)的柵格測試儀）和測試儀聯(lián)合使用，可使高密度電路板的檢測即精確又經(jīng)濟(jì)。他建議的另外一種方法是使用導(dǎo)電橡膠測試儀，這種技術(shù)可以用來檢測偏離柵格的點。然而，采用熱風(fēng)整平處理的焊盤高度不同，將有礙測試點的連接。深圳市美信美科技有限公司于2020年0...

傳感器是一種檢測特定物理參數(shù)并將其轉(zhuǎn)換為電信號的器件或集成電路。輸出信號經(jīng)過處理后被用于提供測量數(shù)據(jù)或觸發(fā)某種動作。例如測量溫度或濕度的環(huán)境傳感器、測量溫度或心率等生理指標(biāo)的生物傳感器。Maxim豐富的溫度傳感器IC支持非常寬范圍的設(shè)計，包括本地和遠(yuǎn)端溫度測量。這些傳感器IC提供高精度、低功耗性能，包括實時保護(hù)、可靠的接口和小尺寸封裝，可用于工業(yè)、汽車、消費(fèi)、數(shù)據(jù)中心和通信應(yīng)用。Maxim不斷增長的生物傳感器系列提供高精度生命體征測量。這些高度集成生物傳感器IC采用小尺寸封裝、提供低功耗操作，可高精度測量生命體征，例如溫度、心臟健康和生物電勢，可用于移動電話、可穿戴設(shè)備和臨床健康貼片。...

我們可以借助ProtelDXP的強(qiáng)大設(shè)計功能完成這一部分的設(shè)計。⑷生成印刷電路板報表印刷電路板設(shè)計完成后，還需生成各種報表，如生成引腳報表、電路板信息報表、網(wǎng)絡(luò)狀態(tài)報表等，后打印出印刷電路圖。⒉電路原理圖的設(shè)計是整個電路設(shè)計的基礎(chǔ)，它的設(shè)計的好壞直接決定后面PCB設(shè)計的效果。一般來說，電路原理圖的設(shè)計過程可分為以下七個步驟：⑴啟動ProtelDXP原理圖編輯器⑵設(shè)置電路原理圖的大小與版面⑶從元件庫取出所需元件放置在工作平面⑷根據(jù)設(shè)計需要連接元器件⑸對布線后的元器件進(jìn)行調(diào)整⑹保存已繪好的原理圖文檔⑺打印輸出圖紙⒊圖紙大小、方向和顏色主要在“DocumentsOptions”對話框中實現(xiàn)，...

再在高溫環(huán)境下進(jìn)行退火，由于高溫環(huán)境下硅原子會發(fā)生遷移，硅原子發(fā)生遷移后硅片內(nèi)部的結(jié)構(gòu)會發(fā)生改變，之前的若干溝槽會相互連通以在硅片內(nèi)部形成一空腔結(jié)構(gòu)。氧化空腔上部的硅片部分可以得到所需的氧化硅薄膜，然后在氧化硅薄膜上淀積測溫材料形成測溫單元，測溫單元用于感測環(huán)境溫度，從而得到溫度傳感器。通過本方案得到的溫度傳感器，其基底包含一空腔以及位于空腔上部的氧化硅薄膜和位于空腔下部的硅，即氧化硅薄膜和硅通過空腔隔開，基底下部的硅不會影響上部氧化硅的隔熱效果，因此無需通過刻蝕工藝將基底下部的硅刻蝕掉，從而縮短產(chǎn)品制備的時間，且節(jié)約了成本。在其中一個實施例中，所述溝槽的寬度范圍為μm～μm，所述溝槽...

⑶每個操作員須掌握一種或數(shù)種CAM軟件的操作方法。⑷對Gerber數(shù)據(jù)文件制定統(tǒng)一的工藝規(guī)范。CAM工序可以相對集中由幾個操作員進(jìn)行處理，以便管理。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則，以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大...

本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則，以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。圖紙方向的設(shè)置通過“DocumentsOptions”對話框中Options部分的Orientation選項設(shè)置，單擊按鈕，選中Landscape，設(shè)置水平圖紙；選中Portr**t，設(shè)置豎直圖紙。圖紙顏色的設(shè)置在圖紙設(shè)置對話框中的Options部分實現(xiàn)，單擊BorderColor色塊，可以設(shè)置圖紙邊框顏色，單擊SheetColor色塊，可以設(shè)置圖紙底色。⒋執(zhí)行Design→Options→ChangeSystemFont命令，彈...

收藏查看我的收藏0有用+1已投票0NTC溫度傳感器編輯鎖定NTC溫度傳感器是一種熱敏電阻、探頭，其原理為：電阻值隨著溫度上升而迅速下降。其通常由2或3種金屬氧化物組成,混合在類似流體的粘土中，并在高溫爐內(nèi)鍛燒成致密的燒結(jié)陶瓷。實際尺寸十分靈活，它們可小至.010英寸或很小的直徑。大尺寸幾乎沒有限制，但通常適用半英寸以下。中文名NTC溫度傳感器定義:熱敏電阻、探頭結(jié)構(gòu)引線,及金屬端子或連端器組成.原理電阻值隨著溫度上升而迅速下降應(yīng)用空調(diào),冰箱等特點:靈敏度高,響應(yīng)速度快目錄1簡介2ntc溫度傳感器的性能介紹3ntc熱敏電阻工作原理4ntc溫度傳感器術(shù)語解釋5ntc溫度傳感器的應(yīng)用NTC溫...

特別是多層、柔性、柔剛結(jié)合和綠色**印刷線路板技術(shù))是我國電子信息產(chǎn)業(yè)未來-年重點發(fā)展的個領(lǐng)域之一。在東莞、深圳成立了許多線路板科技園。下游產(chǎn)業(yè)的持續(xù)快速增長我國信息電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展為印刷電路板行業(yè)的快速發(fā)展提供了良好的市場環(huán)境。電子通訊設(shè)備、電子計算機(jī)、家用電器等電子產(chǎn)品產(chǎn)量的持續(xù)增長為印刷電路板行業(yè)的快速增長提供了強(qiáng)勁動力。此外，G牌照發(fā)放將引發(fā)大規(guī)模電信投資，并帶動對服務(wù)器、存儲、網(wǎng)絡(luò)設(shè)備的大量需求。根據(jù)**信息產(chǎn)業(yè)部的預(yù)測，00和00年**大陸電信固定資產(chǎn)投資規(guī)模增長率將分別達(dá)到、。勞動力成本優(yōu)勢，制造業(yè)向**的轉(zhuǎn)移由于亞洲各國在勞動力資源、市場、投資及稅收政策方面的優(yōu)惠措施...

n型多晶硅可為在多晶硅內(nèi)部摻雜ⅴ族元素形成導(dǎo)電類型為n型的多晶硅，且其內(nèi)部摻雜均勻；p型多晶硅可為在多晶硅內(nèi)部摻雜ⅲ族元素形成導(dǎo)電類型為p型的多晶硅，且其內(nèi)部摻雜均勻。n型多晶硅條和p型多晶硅條形狀相同，在本方案中，n型多晶硅條和p型多晶硅條為長條型，多晶硅條平行設(shè)置，具有相同的間距。在多晶硅層上淀積有第三金屬層，第三金屬層包括金屬結(jié)構(gòu)和第二金屬結(jié)構(gòu)。金屬結(jié)構(gòu)位于相鄰多晶硅條之間，該多晶硅條通過金屬結(jié)構(gòu)連接，金屬結(jié)構(gòu)具體為位于相鄰多晶硅條端部位置，所有n型多晶硅條和p型多晶硅條通過該金屬結(jié)構(gòu)形成一串聯(lián)結(jié)構(gòu)，因此，當(dāng)具有m個多晶硅條時，需要m-個金屬結(jié)構(gòu)使多晶硅條串聯(lián)起來。一個n型多晶硅...

在所述金屬鉑層外側(cè)兩端各淀積一層第二金屬層，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。在其中一個實施例中，在所述氧化硅薄膜上形成測溫單元具體為：在所述氧化硅薄膜上淀積一層多晶硅層，所述多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條；在所述多晶硅上淀積第三金屬層，所述第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu)，所述n型多晶硅條和p型多晶硅條通過所述金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián)，所述第三金屬層還包括位于所述多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu)，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。在其中一個實施例中，所述制備方法還包括：在所述金屬層上形成鈍化層，并在所述鈍化層上對應(yīng)所述溫度傳感器引出輸出端子處設(shè)有通孔。還公開了一...

深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則，以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。本實用新型涉及一種數(shù)字溫度傳感器，具體用于生物質(zhì)智能馬桶的數(shù)字溫度傳感器，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)：eoc智能...

本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語與屬于的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在的說明書中所使用的術(shù)語只是為了描述具體的實施例的目的，不是旨在于限制。本文所使用的術(shù)語“及/或”包括一個或多個相關(guān)的所列項目的任意的和所有的組合。本申請?zhí)峁┮环N溫度傳感器的制備方法，如圖所示，其步驟包括：步驟s：在硅片上形成若干溝槽。結(jié)合圖a所示，獲取一硅晶片，從硅片上方垂直向下開設(shè)若干并列的溝槽形成溝槽陣列。在一實施例中，先在硅片上形成具有陣列圖案的光刻膠層，再以光刻膠作為掩膜版對硅片進(jìn)行刻蝕形成若干溝槽。在本實施例中，刻蝕可為常規(guī)的干法刻蝕，具體為深度離子刻蝕。干法刻蝕具有更高的刻蝕精度和更好的各...

如圖c所示，基底包括硅片和氧化硅薄膜，硅片和氧化硅薄膜之間形成有空腔。測溫單元是溫度傳感器的工作單元，溫度傳感器通過該測溫單元感知溫度后形成電信號并輸出，在本方案中，測溫單元形成于氧化硅薄膜上且位于空腔上方。在一實施例中，測溫單元為一熱電阻傳感結(jié)構(gòu)，包括：金屬層，金屬層為金屬鉑層，金屬鉑層呈連續(xù)弓字形結(jié)構(gòu)；和第二金屬層，位于金屬鉑層外側(cè)兩端，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示，氧化硅薄膜上淀積有一層金屬層，該金屬層為金屬鉑層，即熱電阻傳感結(jié)構(gòu)選用鉑熱電阻。在另一實施例中，也可選用其他電阻溫度系數(shù)較高的材料如鎳、鐵等。為減小溫度傳感器的尺寸，在小尺寸的基底上增大鉑熱電阻的接觸面積...

測溫單元為一熱電偶傳感結(jié)構(gòu)，包括：多晶硅層，包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條；和第三金屬層。第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu)，n型多晶硅和p型多晶硅通過金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián)，第三金屬層還包括位于多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu)，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示，氧化硅薄膜上形成有一層多晶硅層。該多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NX...

本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。通過熱氧化工藝氧化空腔上部的硅片以形成氧化硅薄膜(如圖c所示)。在℃～℃的高溫環(huán)境中，通過外部供給氧氣或者水蒸氣使之與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，可以在空腔上方得到一層熱生長的氧化層。由于當(dāng)氧化層達(dá)到一定厚度時，氧化反應(yīng)幾乎停止，因此當(dāng)難以通過一次氧化工藝將空腔上方的硅全部氧化成氧化硅時，需要通過多次氧化步驟實現(xiàn)將空腔上方的硅全部氧化，具體為，進(jìn)行次熱氧化生成一層氧化硅薄膜后，空腔上方為殘留的未氧化的硅以及在硅...

本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。通過熱氧化工藝氧化空腔上部的硅片以形成氧化硅薄膜(如圖c所示)。在℃～℃的高溫環(huán)境中，通過外部供給氧氣或者水蒸氣使之與硅發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，可以在空腔上方得到一層熱生長的氧化層。由于當(dāng)氧化層達(dá)到一定厚度時，氧化反應(yīng)幾乎停止，因此當(dāng)難以通過一次氧化工藝將空腔上方的硅全部氧化成氧化硅時，需要通過多次氧化步驟實現(xiàn)將空腔上方的硅全部氧化，具體為，進(jìn)行次熱氧化生成一層氧化硅薄膜后，空腔上方為殘留的未氧化的硅以及在硅...

其具體形成過程為：步驟s：在所述氧化硅薄膜上淀積一層多晶硅層，所述多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。如圖和圖所示，在氧化硅薄膜上淀積一層多晶硅層，該多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。n型多晶硅可為在多晶硅內(nèi)部摻雜ⅴ族元素形成導(dǎo)電類型為n型的多晶硅，且其內(nèi)部摻雜均勻。p型多晶硅可為在多晶硅內(nèi)部摻雜ⅲ族元素形成導(dǎo)電類型為p型的多晶硅，且其內(nèi)部摻雜均勻。n型多晶硅條和p型多晶硅條形狀相同，在本方案中。n型多晶硅條和p型多晶硅條為長條型，多晶硅條平行設(shè)置，具有相同的間距。步驟s：在多晶硅層上淀積第三金屬層，第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu)...

在一實施例中。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則。以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)?？梢詫囟葌鞲衅鲀奢敵龆俗幼鳛槔涠饲冶３掷涠藴囟群愣ǎ瑢⒋?lián)的多晶硅層作為熱端感測實際環(huán)境溫度，當(dāng)環(huán)...

在所述金屬鉑層外側(cè)兩端各淀積一層第二金屬層，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。在其中一個實施例中，在所述氧化硅薄膜上形成測溫單元具體為：在所述氧化硅薄膜上淀積一層多晶硅層，所述多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條；在所述多晶硅上淀積第三金屬層，所述第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu)，所述n型多晶硅條和p型多晶硅條通過所述金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián)，所述第三金屬層還包括位于所述多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu)，用于引出所述溫度傳感器的輸出端子。在其中一個實施例中，所述制備方法還包括：在所述金屬層上形成鈍化層，并在所述鈍化層上對應(yīng)所述溫度傳感器引出輸出端子處設(shè)有通孔。本發(fā)明還公...

需要在對應(yīng)溫度傳感器引出端子處開設(shè)通孔，通過通孔可引出輸出端子。在本實施例中，是在外側(cè)多晶硅端部的金屬鋁上方的鈍化層開設(shè)通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層，也可為疊設(shè)的氧化硅層和氮化硅層。上述溫度傳感器制備方法，可以得到氧化硅薄膜，且氧化硅薄膜與硅通過空腔隔離，空腔下方的硅不會影響上方氧化硅薄膜的隔離效果，因此無需通過深槽刻蝕工藝將多余的硅刻蝕掉。簡化了制備過程。節(jié)約制備時間，節(jié)省了制備成本。由于氧化硅薄膜導(dǎo)熱率低，將測溫單元制備在氧化硅薄膜上，具有較好的測溫效果。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；...

用于從金屬鋁處引出該溫度傳感器的輸出端子，即溫度傳感器的輸出導(dǎo)線與鋁層連接以通過鋁層與金屬鉑層連接。上述鉑熱電阻傳感器，利用金屬鉑在溫度變化時自身電阻值也會隨著溫度改變的特性來測量溫度，溫度傳感器的輸出端子與顯示儀表連接，顯示儀表會顯示受溫度影響得到的鉑電阻對應(yīng)的溫度值。在一實施例中，因上述熱電阻傳感器中上層有金屬結(jié)構(gòu)如金屬鋁和金屬鉑，對于直接暴露在空氣中時容易氧化的金屬層，其上還形成有一層鈍化層，可對金屬層進(jìn)行保護(hù)。同時，需要在對應(yīng)溫度傳感器引出端子處開設(shè)有通孔，通過通孔可引出輸出端子。在本實施例中，是在兩端的金屬鋁上方的鈍化層開設(shè)有通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層，也可為疊設(shè)的氧...

凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則，以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。半導(dǎo)體兩端的溫差不同時，所產(chǎn)生的電動勢不同。在本方案中。采用n型半導(dǎo)體和p型半導(dǎo)體構(gòu)成塞貝克結(jié)構(gòu)且多個塞貝克結(jié)構(gòu)串聯(lián)，可以增強(qiáng)溫度傳感器的靈敏度。在一實施例中，可以將溫度傳感器兩輸出端子作為冷端且保持冷端溫度恒定，將串聯(lián)的多晶硅層作為熱端感測實際環(huán)境溫度，當(dāng)環(huán)境溫度發(fā)生變化時，冷端和熱端的溫差發(fā)...

本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則，以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。溫度傳感器通過該測溫單元感知溫度后形成電信號并輸出。在一實施例中，測溫單元為一熱電阻傳感結(jié)構(gòu)，其具體形成過程為：步驟s：在氧化硅薄膜上淀積一層金屬層，金屬層為金屬鉑層，金屬鉑層呈連續(xù)弓字形結(jié)構(gòu)。參考圖所示，在氧化硅薄膜上淀積一層金屬層，該金屬層可為金屬鉑層，即熱電阻傳感結(jié)構(gòu)選用鉑熱電阻。在另一實施例中，也可選用其他電阻溫度系數(shù)較高的材料如鎳、鐵等。為減小溫度傳感器的尺寸，在小尺寸的基底上增大鉑熱電阻的接觸面積，將鉑熱電阻做成連續(xù)弓...

可以將溫度傳感器兩輸出端子作為冷端且保持冷端溫度恒定，將串聯(lián)的多晶硅層作為熱端感測實際環(huán)境溫度，當(dāng)環(huán)境溫度發(fā)生變化時，冷端和熱端的溫差發(fā)生變化，因此冷端的電勢會發(fā)生變化，與顯示儀表連接后，顯示儀表會顯示熱電偶受當(dāng)前環(huán)境溫度影響得到的電勢所對應(yīng)的熱端溫度，即當(dāng)前環(huán)境溫度。通常，形成測溫單元還包括鈍化步驟，即，步驟s：在金屬層上形成鈍化層，并在鈍化層上對應(yīng)溫度傳感器引出輸出端子處設(shè)有通孔。因上述熱電偶傳感器中上層有金屬結(jié)構(gòu)如金屬鋁層，對于直接暴露在空氣中時容易氧化的金屬層，其上還形成一層鈍化層，可對金屬結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù)。同時，需要在對應(yīng)溫度傳感器引出端子處開設(shè)通孔，通過通孔可引出輸出端子。在本...

深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際有名品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本發(fā)明涉及溫度傳感器領(lǐng)域，特別是涉及一種溫度傳感器制備方法及溫度傳感器。背景技術(shù)：溫度傳感器包括測溫單元和承載該測溫單元的基底。溫度傳感器通常以導(dǎo)熱率低的材料做基底，如在二氧化硅上淀積測溫材料形成溫度傳感器。在工藝制程中，通過氧化硅片以在硅片表面生產(chǎn)一層二氧化硅，其中...

用于從金屬鋁處引出該溫度傳感器的輸出端子，即溫度傳感器的輸出導(dǎo)線與鋁層連接以通過鋁層與金屬鉑層連接。上述鉑熱電阻傳感器，利用金屬鉑在溫度變化時自身電阻值也會隨著溫度改變的特性來測量溫度，溫度傳感器的輸出端子與顯示儀表連接，顯示儀表會顯示受溫度影響得到的鉑電阻對應(yīng)的溫度值。在一實施例中，因上述熱電阻傳感器中上層有金屬結(jié)構(gòu)如金屬鋁和金屬鉑，對于直接暴露在空氣中時容易氧化的金屬層，其上還形成有一層鈍化層，可對金屬層進(jìn)行保護(hù)。同時，需要在對應(yīng)溫度傳感器引出端子處開設(shè)有通孔，通過通孔可引出輸出端子。在本實施例中，是在兩端的金屬鋁上方的鈍化層開設(shè)有通孔。鈍化層可為氧化硅層或氮化硅層，也可為疊設(shè)的氧...

凌特）以及TI、MAXIM、NXP等國際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于：汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢服務(wù)，誠信合作的原則，以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢的渠道價格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長期友好的合作關(guān)系，為廣大廠商和市場客戶提供優(yōu)勢的產(chǎn)品服務(wù)。半導(dǎo)體兩端的溫差不同時，所產(chǎn)生的電動勢不同。在本方案中。采用n型半導(dǎo)體和p型半導(dǎo)體構(gòu)成塞貝克結(jié)構(gòu)且多個塞貝克結(jié)構(gòu)串聯(lián)，可以增強(qiáng)溫度傳感器的靈敏度。在一實施例中，可以將溫度傳感器兩輸出端子作為冷端且保持冷端溫度恒定，將串聯(lián)的多晶硅層作為熱端感測實際環(huán)境溫度，當(dāng)環(huán)境溫度發(fā)生變化時，冷端和熱端的溫差發(fā)...

即氧化硅薄膜和硅通過空腔隔開，基底下部的硅不會影響上部氧化硅的隔熱效果，因此無需通過刻蝕工藝將基底下部的硅刻蝕掉，從而縮短產(chǎn)品制備的時間，且節(jié)約了成本。在其中一個實施例中，所述溝槽的寬度范圍為μm～μm，所述溝槽的深度范圍為μm～μm，所述相鄰溝槽之間的間隔范圍為μm～μm。在其中一個實施例中，所述熱退火具體為在氫氣環(huán)境中熱退火，所述熱退火的溫度為℃。在其中一個實施例中，在得到所述氧化硅薄膜后還包括在所述氧化硅薄膜上形成氮化硅薄膜或者聚酰亞胺薄膜。在其中一個實施例中，在所述氧化硅薄膜上形成測溫單元具體為：在所述氧化硅薄膜上淀積一層金屬層，所述金屬層為金屬鉑層，所述金屬鉑層呈連續(xù)弓字形結(jié)...

測溫單元為一熱電偶傳感結(jié)構(gòu)，包括：多晶硅層，包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條；和第三金屬層。第三金屬層包括位于相鄰多晶硅條之間的金屬結(jié)構(gòu)，n型多晶硅和p型多晶硅通過金屬結(jié)構(gòu)串聯(lián)，第三金屬層還包括位于多晶硅層外側(cè)兩端的第二金屬結(jié)構(gòu)，用于引出溫度傳感器的輸出端子。如圖和圖所示，氧化硅薄膜上形成有一層多晶硅層。該多晶硅層包括并排且間隔設(shè)置的n型多晶硅條和p型多晶硅條。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營范圍包括：一般經(jīng)營項目是：電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開發(fā)與銷售；國內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營推廣銷售AD（亞德諾）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NX...

本申請?zhí)峁┮环N溫度傳感器的制備方法，如圖所示，其步驟包括：步驟s：在硅片上形成若干溝槽。結(jié)合圖a所示，獲取一硅晶片，從硅片上方垂直向下開設(shè)若干并列的溝槽形成溝槽陣列。在一實施例中，先在硅片上形成具有陣列圖案的光刻膠層，再以光刻膠作為掩膜版對硅片進(jìn)行刻蝕形成若干溝槽。在本實施例中，刻蝕可為常規(guī)的干法刻蝕，具體為深度離子刻蝕。干法刻蝕具有更高的刻蝕精度和更好的各向異性性能，其精度可達(dá)亞微米級別，通過干法刻蝕，可以得到形態(tài)較好的溝槽，尤其是溝槽尺寸較小時利用干法刻蝕效果更佳?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)掩膜板圖案和控制刻蝕參數(shù)得到不同形態(tài)的溝槽，其中，溝槽的寬度可為～μm，溝槽的深度可為～μm，相鄰溝槽之間的...