手動探針臺規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺為例):探針臺載物臺平整度:5μm探針臺右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),可抬高顯微鏡,便于更換鏡頭和換待測物探針臺左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺面8mm,并具備鎖定功能探針臺右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,可微...
探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個可調(diào)測試及探卡測試針臺座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,下面就由上海...
由于光線模擬圖像可以輸出是多點(diǎn)的光路模擬圖像,通過不同參數(shù)的選擇,可以得到多點(diǎn)的路徑路徑和其他光學(xué)參數(shù),如圓形光斑矩陣、圖像方向角等。實(shí)際上從實(shí)踐中,從精密設(shè)計所用的dem單片機(jī)出發(fā),還應(yīng)該加裝設(shè)備和驅(qū)動電路,這也是為了精密檢測中如何更精確的檢測不同類型光路設(shè)...
探針臺主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格的芯片,并提供多個可調(diào)測試及探卡測試針臺座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。半導(dǎo)體指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,下面就由上海...
探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針...
全自動探針臺相比手動探針臺和自動探針臺兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識別(自動對準(zhǔn))。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個測試??梢?4小時連續(xù)工作,通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動探針臺價格...
探針臺由哪些部分組成?樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小,并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。光學(xué)元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便精確地將探針尖銳端對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點(diǎn)上。有的采用...
固有頻率,顧名思義,為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數(shù)值上來看,固有頻率等于共振頻率??紤]物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng),固有頻率取決于兩個因素——物塊質(zhì)量,以及充當(dāng)彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數(shù)。質(zhì)量減小或彈性系數(shù)減小可增大固有頻率;質(zhì)量增大或懸臂梁彈性系數(shù)增大可降低固...
晶圓是制作硅半導(dǎo)體積體電路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種,然后慢慢拉出,形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨,拋光,切片后,形成硅晶圓片,也就是晶圓。半導(dǎo)體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準(zhǔn)確,能夠捕捉有效缺陷,...
光學(xué)平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
光學(xué)平臺的很大相對位移值,主要同平臺的結(jié)構(gòu)和材料剛性相關(guān),在同樣測試條件,且光學(xué)平臺的結(jié)構(gòu)和材料相近的情況下,很大相對位移的值相差不大。勤確漢光的光學(xué)平臺臺面,采用三層夾心結(jié)構(gòu),上臺面厚度4~6mm,采用鐵磁不銹鋼材質(zhì),此時測試的很大相對位移,在10-7mm量...
光學(xué)平臺的磨削是有極限的,這個加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個平面度,同大理石平臺的平面度相差甚遠(yuǎn)。大理石平臺根據(jù)平面度指標(biāo)一般分為:000級(平面度≤3μm/m2)、00級(平面度...
熱穩(wěn)定性的關(guān)鍵之處在于各軸方向上都具有對稱、各向均勻的鋼制結(jié)構(gòu)。鋼制部件在熱交換過程中的延伸性和收縮性是相似的,可以在溫度變化過程中保持良好的平整度。鋼制的蜂窩芯結(jié)構(gòu)從頂板延伸到底板,中間并無塑料或鋁質(zhì)泄露管理結(jié)構(gòu),因此不會降低平臺整體的剛度或是引入更高的熱膨...
晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟。在此步驟中,在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用:晶圓終端測試(WFT)...
光學(xué)平臺,又稱光學(xué)面包板、光學(xué)桌面、科學(xué)桌面、實(shí)驗(yàn)平臺,供水平、穩(wěn)定的臺面,一般平臺都需要進(jìn)行隔振等措施,保證其不受外界因素干擾,使科學(xué)實(shí)驗(yàn)正常進(jìn)行。目前來說,有主動與被動兩大類。而被動又有橡膠與氣浮兩大類。光學(xué)平臺追求水平,首先加工的時候整個臺面是極平的。之...
自動化加工系統(tǒng)平臺和面包板的特殊之處是采用自動軌道機(jī)械啞光表面加工,比老舊的平臺產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺經(jīng)過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)內(nèi)可達(dá)±0.1毫米(±0.004英寸),為安裝部件提供了接觸表面,不需要使用磨具對頂面進(jìn)行...
臺面上布滿成正方形排列的工程螺紋孔,用這些孔和相應(yīng)的螺絲可以固定光學(xué)元件。當(dāng)你完成光學(xué)設(shè)備的搭建,系統(tǒng)基本不會受外來擾動而產(chǎn)生變化。即使按動臺面,它也會因?yàn)闅饽叶詣踊貜?fù)水平。這里介紹一下我們常用的光學(xué)平臺的主要構(gòu)成,標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)平臺基本組件包括:1、頂板;2、底...
光學(xué)平臺精密隔振系統(tǒng)設(shè)計需要考慮的環(huán)境微振動干擾是復(fù)雜的,包括:大型建筑物本身的擺動、地面或樓層間傳來的振動、電動儀器和設(shè)備的振動、各類機(jī)械振動、聲音引起的振動、外界街道交通引起的振動,甚至包括人員走動所引起的振動等。精密的光學(xué)實(shí)驗(yàn)依賴于可靠的定位穩(wěn)定性,工作...
光學(xué)平臺中的重復(fù)定位精度同精密位移臺中概念不同,光學(xué)平臺的重復(fù)定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負(fù)載并去除負(fù)載,光學(xué)平臺穩(wěn)定后的高度差。這個指標(biāo)同負(fù)載的大小、加載的位置、加載時的速度、加速度、卸載時的速度、加速度等等指標(biāo)有很大的關(guān)系,對于充氣式平臺,還有一...
自動化加工系統(tǒng)平臺和面包板的特殊之處是采用自動軌道機(jī)械啞光表面加工,比老舊的平臺產(chǎn)品更加平滑、平整。這些平臺經(jīng)過改善的表面拋光處理后,表面平整度在1平方米(11平方英尺)內(nèi)可達(dá)±0.1毫米(±0.004英寸),為安裝部件提供了接觸表面,不需要使用磨具對頂面進(jìn)行...
光學(xué)平臺很主要的一個目標(biāo)是消除平臺上任意兩個以上部件之間的相對位移。大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗(yàn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導(dǎo)致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性,所以光學(xué)平臺顯得十分重要。光學(xué)平臺隔振原理:振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振...
磁場探針臺主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測試,能夠提供磁場或變溫環(huán)境,并進(jìn)行高精度的直流/射頻測量。我們生產(chǎn)各類磁場探針臺,穩(wěn)定性強(qiáng)、功能多樣、可升級擴(kuò)展,適用于各大高校、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)驗(yàn)研究和生產(chǎn)。...
探針臺是用于檢測每片晶圓上各個芯片電信號,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測設(shè)備。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?,而不是封裝以后的,雖然可以去嵌,但還是會引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r我們需要進(jìn)行自動化...
從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(T...
簡單的光學(xué)平臺保養(yǎng)說明書:如果光學(xué)平臺環(huán)境溫度過高,溫差過大,出現(xiàn)玻璃收縮,也可以立即用油封然后用砂紙輕輕磨平不說了,想要光學(xué)顯微鏡繼續(xù)吊打大家,首先要把離鏡頭越近的光學(xué)玻璃考慮在內(nèi),切勿安裝在鏡頭上,可以安裝在玻璃的側(cè)面,再做檢查。光學(xué)玻璃的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度不允許受...
x-y工作臺的維護(hù)與保養(yǎng):無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其很重心的部分。有數(shù)據(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成的,所以對工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要。現(xiàn)在...
光學(xué)平臺從功能上分為固定式和可調(diào)式;被動或主動式。光學(xué)平臺普遍應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動隔離的關(guān)鍵裝置中。主要構(gòu)成:標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)平臺基本組件包括:1、頂板;2、底板;3...
光學(xué)平臺從功能上分為固定式和可調(diào)式;被動或主動式。光學(xué)平臺普遍應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和無損檢測等領(lǐng)域,以及其他機(jī)械行業(yè)的精密試驗(yàn)儀器、設(shè)備振動隔離的關(guān)鍵裝置中。主要構(gòu)成:標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)平臺基本組件包括:1、頂板;2、底板;3...
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動。從功能上來區(qū)分有:高溫探針臺,低溫探針臺,RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺??v觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點(diǎn)...
手動探針臺:普遍應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測試階段,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測試測半導(dǎo)體參數(shù)測試儀、示波器、網(wǎng)分等測試源表,量測半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動態(tài)...