高精度電容位移傳感器有哪些性能特點?1、高精度電容位移傳感器屬于完全非接觸式位移傳感器,被測物無需任何附加和其他特別的要求,被測物沒有任何損傷。2、高精度電容位移傳感器測量任何導電和接地的部件,無需校驗。3、實時測量靜態(tài)和移動部件,測量的精度不會因為表面的拋光...
薄膜應力分析儀有怎樣的作用呢?重要性大嗎?1.了解薄膜材料的物理性質:薄膜應力分析儀可以測試薄膜材料的內(nèi)部應力、壓應力和剪應力等物理性質,幫助研究人員更好地了解材料的性質和行為。2.優(yōu)化薄膜制備工藝:通過測試薄膜應力分布情況和變化規(guī)律,可以優(yōu)化薄膜制備工藝,提...
影響薄膜應力分析儀價格的因素有哪些?1. 測量范圍和精度:較高的測量范圍和精度通常意味著更高的成本和價格。2. 測量速度:具有更高測量速度的薄膜應力分析儀通常價格更高。3. 設備穩(wěn)定性和可靠性:性能更高、品牌名度更高、售后服務更完善的薄膜應力分析儀通常價格更高...
高精度電容位移傳感器出現(xiàn)故障如何解決?1. 檢查連接:首先,需要檢查傳感器的連接是否正確、接頭是否松動等,排除可能的連接問題。2. 排除電源故障:檢查傳感器的電源是否正常供電,是否存在供電不穩(wěn)定的情況,排除電源故障。3. 檢查傳感器線圈:電容式位移傳感器線圈損...
薄膜應力分析儀是一種用于測試薄膜應力及其它特性的儀器。它利用光學干涉原理,實現(xiàn)對薄膜層的厚度和應力(含切向應力、法向應力)等參數(shù)的測量。薄膜應力測量目前已經(jīng)被普遍應用于光刻膠、有機光電器件、光纖光學元件、磁盤、涂層、半導體器件、晶體等領域。薄膜應力的測量對于保...
高精度電容位移傳感器的參數(shù)特點:測量范圍:±10微米至±1毫米(在某些情況下,可能高達25毫米);測量分辨率:<1納米至50納米;線性度:滿刻度范圍低至0.02%;穩(wěn)定性:系統(tǒng)可用于需要數(shù)周或數(shù)月穩(wěn)定性的應用,每天1納米的范圍是可能的;測量帶寬:標準范圍為10...
高精度電容位移傳感器:Microsense 有著成熟的電渦流使用技術以及紅外技術。Microsense是世界上為數(shù)不多的在線厚度測量、電阻率測量以及PN結檢測的模塊的非接觸的電容傳感器制造商,具有典型5mm直徑的厚度測量區(qū)域,依靠少于60nm-RMS的分辨率,...
選購電阻率測量儀的時候需要注意什么?1. 測量范圍:不同型號的電阻率測量儀有不同的測量范圍,需要根據(jù)實際需要選擇適合的型號。2. 測量精度:電阻率測量儀的測量精度直接影響測試結果的準確性,因此需要選擇精度高的測量儀。3. 使用環(huán)境:不同的電阻率測量儀適合的使用...
晶圓缺陷自動檢測設備是一種專門用于檢測半導體晶圓表面缺陷的設備,它主要通過光學成像技術和圖像處理算法來實現(xiàn)缺陷檢測。具體的功能包括:1、晶圓表面缺陷檢測:對晶圓表面進行成像,并使用圖像處理算法來自動檢測表面的缺陷,例如晶圓上的瑕疵、氧化、挫傷等。2、晶圓芯片成...
薄膜應力分析儀怎么樣?有什么獨特之處?1. 測量方式靈活:薄膜應力分析儀可以使用多種測量方法的技術,包括光學和機械測量方法等。光學方法包括X光衍射、拉曼散射、橢偏光等方法,機械方法包括曲率法、剝離法等方法,可以更加廣闊地分析和測試薄膜的物理性質。2. 非接觸式...
高精度電容式位移傳感器性能:1)測量距離--±5um到±2mm內(nèi)非接觸式位移測量和尺寸測量的理想選擇;2)高測量帶寬(高頻率響應)--標準范圍為10Hz到100kHz;3)適用于任何接地,導電的目標--材料或表面光潔度對精度沒有影響;4)高分辨率--可實現(xiàn)亞納...
薄膜應力分析儀其原理是通過激光掃描樣品表面,再通過斯托尼方程換算得到應力分析結果的。一般薄膜應力分析儀具有什么優(yōu)勢特點?1.非接觸測量:薄膜應力分析儀是一種非接觸式測量設備,可以在不破壞樣品表面的情況下,對薄膜應力進行測量。2.高精度測量:薄膜應力分析儀可以測...
薄膜應力分析儀其原理是通過激光掃描樣品表面,再通過斯托尼方程換算得到應力分析結果的。一般薄膜應力分析儀具有什么優(yōu)勢特點?1.非接觸測量:薄膜應力分析儀是一種非接觸式測量設備,可以在不破壞樣品表面的情況下,對薄膜應力進行測量。2.高精度測量:薄膜應力分析儀可以測...
晶圓缺陷檢測設備該怎么使用?1、準備設備:確保設備電源、氣源、冷卻水等都已連接好,并檢查設備的各個部件是否正常。2、準備晶圓:將要檢測的晶圓放置在晶圓臺上,并調整臺面高度,使晶圓與探測器之間的距離適當。3、啟動設備:按照設備說明書上的步驟啟動設備,并進行初始化...
晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)可以通過以下方式保證檢測結果的準確性:1、高分辨率成像:光學系統(tǒng)需要具備高分辨率成像能力,能夠清晰地顯示晶圓表面的缺陷和細節(jié),以便進行準確的分析和判斷。2、多角度檢測:光學系統(tǒng)可以通過多個角度和光源來檢測晶圓表面的缺陷,從而提高檢測的準確性...
薄膜應力分析儀怎么樣?有什么獨特之處?1. 測量方式靈活:薄膜應力分析儀可以使用多種測量方法的技術,包括光學和機械測量方法等。光學方法包括X光衍射、拉曼散射、橢偏光等方法,機械方法包括曲率法、剝離法等方法,可以更加廣闊地分析和測試薄膜的物理性質。2. 非接觸式...
薄膜應力分析儀是一種非破壞性測試技術。測試過程無需對被測試物質進行破壞性改變,因此有很大的優(yōu)勢。它能夠保持樣品完整性,在后續(xù)實驗中可以繼續(xù)使用,同時也避免了物質浪費。薄膜應力分析儀使用激光干涉儀技術,其測試精度高達納米級別。這種高精度的測試方法可以幫助研究人員...
薄膜應力分析儀維護保養(yǎng):1、避免撞擊和振動:薄膜應力分析儀在使用過程中避免撞擊和振動,以免對儀器產(chǎn)生損壞。2、 適當?shù)募訜幔涸谙鄬Τ睗竦沫h(huán)境下測試時,需要對儀器和樣品進行適當加熱,以減少水氣對測量結果的影響。3、使用原配件:更換部件時,應使用原配件,以免影響儀...
電阻率測量儀是一種用來測量物質電阻率的儀器。簡單來說,電阻率是一個物質所具有的抵抗電流流動的能力,是電阻與導電性的綜合表現(xiàn),對于材料的導電性能及電器性能的表現(xiàn)都有著重要的影響。因此,測量物質的電阻率是普遍應用于材料研究、電子工業(yè)、半導體等領域中。電阻率測量儀需...
電阻率測量儀是如何處理數(shù)據(jù)的? 1. 數(shù)據(jù)采集:電阻率測量儀通過內(nèi)置的傳感器或電極測量樣品的電阻,將測量結果轉換成數(shù)字信號,以便后續(xù)處理。2. 數(shù)據(jù)處理:電阻率測量儀上的計算機可以進行各種處理,包括均值化、平滑化、計算、圖像處理、濾波等,以消除噪音、減小誤差,...
EVG?850LT特征利用EVG的LowTemp?等離子基活技術進行SOI和直接晶圓鍵合適用于各種熔融/分子晶圓鍵合應用生產(chǎn)系統(tǒng)可在高通量,高產(chǎn)量環(huán)境中運行盒到盒的自動操作(錯誤加載,SMIF或FOUP)無污染的背面處理超音速和/或刷子清潔機械平整或缺口對準的...
GEMINI自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)集成的模塊化大批量生產(chǎn)系統(tǒng),用于對準晶圓鍵合特色技術數(shù)據(jù)GEMINI自動化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)可實現(xiàn)ZUI高水平的自動化和過程集成。批量生產(chǎn)的晶圓對晶圓對準和ZUI大200毫米(300毫米)的晶圓鍵合工藝都在一個全自動平臺上執(zhí)行。...
EVG?520IS晶圓鍵合系統(tǒng)■擁有EVG?501和EVG?510鍵合機的所有功能■200mm的單個或者雙腔自動化系統(tǒng)■自動晶圓鍵合流程和晶圓替代轉移■集成冷卻站,實現(xiàn)高產(chǎn)量EVG?540自動鍵合系統(tǒng)■300mm單腔鍵合室■自動處理多達4個鍵合卡盤■模塊化鍵合...
EVG?510晶圓鍵合機系統(tǒng):用于研發(fā)或小批量生產(chǎn)的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產(chǎn)設備完全兼容。特色:EVG510是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。...
鍵合機特征 高真空,對準,共價鍵合 在高真空環(huán)境(<5·10-8mbar)中進行處理 原位亞微米面對面對準精度 高真空MEMS和光學器件封裝原位表面和原生氧化物去除 優(yōu)異的表面性能 導電鍵合 室溫過程 多種材料組合,包括金屬(鋁) 無應力鍵合界面 高鍵合強度 ...
根據(jù)型號和加熱器尺寸,EVG500系列鍵合機可以用于碎片和50mm至300mm的晶圓。這些工具的靈活性非常適合中等批量生產(chǎn)、研發(fā),并且可以通過簡單的方法進行大批量生產(chǎn),因為鍵合程序可以轉移到EVGGEMINI大批量生產(chǎn)系統(tǒng)中。鍵合室配有通用鍵合蓋,可快速排空,...
鍵合機特征 高真空,對準,共價鍵合 在高真空環(huán)境(<5·10-8mbar)中進行處理 原位亞微米面對面對準精度 高真空MEMS和光學器件封裝原位表面和原生氧化物去除 優(yōu)異的表面性能 導電鍵合 室溫過程 多種材料組合,包括金屬(鋁) 無應力鍵合界面 高鍵合強度 ...
從表面上看,“引線鍵合”似乎只是焊接的另一個術語,但由于涉及更多的變量,因此該過程實際上要復雜得多。為了將各種組件長久地連接在一起,在電子設備上執(zhí)行引線鍵合過程,但是由于項目的精致性,由于它們的導電性和相對鍵合溫度,通常jin應用金,鋁和銅。通過使用球形鍵合或...
EVG?540自動晶圓鍵合機系統(tǒng)全自動晶圓鍵合系統(tǒng),適用于蕞/大300mm的基板技術數(shù)據(jù)EVG540自動化晶圓鍵合系統(tǒng)是一種自動化的單腔室生產(chǎn)鍵合機,設計用于中試線生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝,3D互連和MEMS應用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。EVG540鍵合機基于模塊化設...
EVG?6200BA自動鍵合對準系統(tǒng) 用于晶圓間對準的自動化鍵合對準系統(tǒng),用于中等和批量生產(chǎn) 特色 技術數(shù)據(jù) EVG鍵合對準系統(tǒng)提供了蕞/高的精度,靈活性和易用性,模塊化升級功能,并且已經(jīng)在眾多高通量生產(chǎn)環(huán)境中進行了認證。EVG鍵對準器的精度可滿足MEMS生產(chǎn)...