MEMS即微機電系統(tǒng)(MicroelectroMechanicalSystems),是MEMS傳感器在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),具有廣闊的應(yīng)用前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。簡單實用的傳感器檢測方法!江蘇傳感器規(guī)格
磁傳感器是把磁場、電流、應(yīng)力應(yīng)變、溫度、光等外界因素引起敏感元件磁性能變化轉(zhuǎn)換成電信號,以這種方式來檢測相應(yīng)物理量的器件。磁性傳感器這一名詞有兩層意思。首先,是檢測具有磁性信號的磁性傳感器。第二,把非磁性的信息變換為磁性信號用的磁性傳感器。另外,從構(gòu)造上來分類磁性傳感器也有兩種類型:首先是功能性的傳感器,它是利用特殊磁性傳感器材料做成的。第二是結(jié)構(gòu)性傳感器,它是用一般磁性材料制成的、其機械結(jié)構(gòu)設(shè)計十分巧妙的傳感器。杭州傳感器售后醫(yī)療器械界的奇兵——達(dá)芬奇手術(shù)機器人有400多個傳感器!
壓磁式傳感器與其它傳感器相比,具有輸出功率大、抗干擾能力強,精度高,線性好、壽命長,維護方便,運行條件要求低(能在一般有灰塵、水和腐蝕性氣體的環(huán)境中長期運行)等優(yōu)點。因此,很適合于重工業(yè)、化學(xué)工業(yè)部門運用,是一種十分有發(fā)展前途的傳感器。目前,這種傳感器已成功地用在冶金、礦山、造紙、印刷、運輸?shù)雀鱾€工業(yè)部門,特別是各種自動化系統(tǒng)中用來測量軋鋼機的軋制力、鋼帶的張力,卷揚機的定量自動提升、紙張的張力、吊車提物的自動稱重、配料斗的稱重、金屬切削過程的切削力以及電梯安全保護等各方面。
視覺傳感器的優(yōu)點是探測范圍廣、獲取信息豐富,實際應(yīng)用中常使用多個視覺傳感器或者與其它傳感器配合使用,通過一定的算法可以得到物體的形狀、距離、速度等諸多信息?;蚴抢靡粋€攝像機的序列圖像來計算目標(biāo)的距離和速度,還可采用SSD算法,根據(jù)一個鏡頭的運動圖像來計算機器人與目標(biāo)的相對位移。但在圖像處理中,邊緣銳化、特征提取等圖像處理方法計算量大,實時性差,對處理機要求高。且視覺測距法檢測不能檢測到玻璃等透明障礙物的存在,另外受視場光線強弱、煙霧的影響很大。磁傳感器是古老的傳感器,指南針是磁傳感器的早的一種應(yīng)用。
線性度或非線性誤差表征的是傳感器在幅域上的偏差,指的是校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線一致的程度,如圖2所示。這個偏差除了取決于校準(zhǔn)曲線,還取決于擬合直線,因此在談到線性度或非線性誤差時,應(yīng)同時說明其所依據(jù)的基準(zhǔn)直線。常用的擬合直線有端基直線、比較好直線、較小二乘線等,端基直線指的是兩端點之間的直線,比較好直線指的是保證傳感器正反行程校準(zhǔn)曲線對它的正負(fù)偏差相等且較小的直線,較小二乘線指的是使傳感器校準(zhǔn)數(shù)據(jù)殘差平方和較小的直線。非線性誤差較常見的表征形式是比較大偏差與滿量程的比值如式1。也有的傳感器用比較大輸出時的偏差或不同幅值下的偏差表征非線性?!皥D書漂流”是知識共享的“傳感器”!杭州傳感器售后
互感器可以滿足傳感器使用條件。江蘇傳感器規(guī)格
磁電式傳感器磁電式傳感器多用于測量速度、加速度、位移、振動、扭矩等參數(shù)。將被測的參數(shù)變換為感應(yīng)電動勢的變換器稱為磁電式傳感器或感應(yīng)傳感器。磁電式傳感器是以導(dǎo)線在磁場中運動產(chǎn)生感應(yīng)電動勢為基礎(chǔ)的。根據(jù)電磁感應(yīng)定律,具有W匝的線圈的感應(yīng)電動勢e與穿過該線圈的磁通Φ的變化速度成正比例,即若機械量直接控制傳感器線圈所交鏈的磁通的變化,則這種傳感器可以不經(jīng)中間轉(zhuǎn)換元件,而將機械運動的速度直接轉(zhuǎn)換為與其成比例的電信號。江蘇傳感器規(guī)格
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