北京潔凈工作臺潔凈室檢測標準

3.1.1電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設計應根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質量有害的雜質，同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。3.1.2生產(chǎn)環(huán)境設計應根據(jù)產(chǎn)品品種及生產(chǎn)工藝要求，對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室（區(qū)）內產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置，其制作的材質和清潔方式應按生產(chǎn)工藝要求選擇。。。單向流潔凈室氣流的特征是流線平行，以單一方向流動。北京潔凈工作臺潔凈室檢測標準

C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中，在過濾器的上風向注入氣溶膠，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣。檢漏包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調試時，或現(xiàn)有設施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進行。北京潔凈工作臺潔凈室檢測服務至上潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關規(guī)定。

7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；2應按潔凈室(區(qū))內生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風量應能調節(jié)；5應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。7.4.3層流罩的設置應符合下列要求：1潔凈室(區(qū))內等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；2層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產(chǎn)工藝或設備需要選用；3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4安裝方式不應影響生產(chǎn)操作。

C.3已裝過濾系統(tǒng)氣溶膠光度計掃描檢漏規(guī)程C.3.1進行已裝過濾系統(tǒng)掃描檢漏前，應已完成風速合格性檢測。C.3.2過濾器上風向氣溶膠適當粒徑范圍[質量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm，幾何標準差可高達1.7]；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時檢漏的靈敏度欠佳；高于80mg/m，長時間檢測會過度污染過濾器。注入氣溶膠與送風應均勻混合，上風向氣溶膠濃度隨時間的變化不應超過平均測量值的士15%。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動采樣探頭往復掃描。采樣頭往復掃描速度為15/Wp，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s。注：當使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風速接近過濾器出風面的風速(接近“等動力采樣”)。采樣探頭距過濾器出風面和框架結構約3cm。C.3.5掃描應遍及過濾器的整個出風面、過濾器的周邊、過濾器邊框與安裝構架之間的密封處及安裝構架的結合點。C.3.6驗收限值：當讀數(shù)大于上風向氣溶膠濃度的0.01%時，就認為存在滲漏。供需雙方也可商定其他驗收限值。掃描時任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應停留持續(xù)測量一段時間，光度計獲得比較大讀數(shù)時采樣頭的位置應判定為滲漏位置。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務的，潔凈室設計必須滿足生產(chǎn)工藝的環(huán)境要求，這是理所當然的。

9.4.2凈化空調系統(tǒng)的空氣過濾器隨運行時間的增加，阻力逐漸增大，為保持送風風量，經(jīng)常手動調節(jié)系統(tǒng)中的風閥，以增加風量，調整很麻煩；在空氣調節(jié)系統(tǒng)調試中，系統(tǒng)啟動時為使風機空載啟動，首先將風機出口處風閥關閉，風機啟動后，由于風閥上承受壓力很大，打開十分困難。當采用空氣過濾器前后壓力差的變化控制送風機的變頻調速裝置后，送風量的調節(jié)變得十分容易，送風壓力穩(wěn)定。同時潔凈室凈化空調系統(tǒng)的送風機采用變頻調速后節(jié)能十分***。9.4.3為避免凈化空調系統(tǒng)因風機停轉無風或超溫時，電加熱器繼續(xù)送電加熱會造成設備損壞甚至發(fā)生火災，本條強制性規(guī)定應設置無風、超溫斷電等保護裝置。根據(jù)潔凈室的等級，合理選擇潔凈室的氣流分布流型，在工作區(qū)應避免渦流區(qū)。浙江醫(yī)療凈化車間潔凈室檢測流程

當產(chǎn)品要求潔凈度為100級時，選用層流流型；當產(chǎn)品要求潔凈度為1000~100000級時，選用亂流流型。北京潔凈工作臺潔凈室檢測標準

7.1.1潔凈廠房內各潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。7.1.2氣流流型應根據(jù)各潔凈室(區(qū)）空氣潔凈度等級和電子產(chǎn)品工藝特點的不同要求選用。7.1.3有下列情況之一者，凈化空調系統(tǒng)宜分開設置：1運行班次或使用時間不同；2生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質對其他工序、設備交叉污染，對產(chǎn)品質量或操作人員健康、安全有影響；3對溫、濕度控制要求差別大；4潔凈室(區(qū)）內工藝設備發(fā)熱相差懸殊；5凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)，6系統(tǒng)風量過大的凈化空調系統(tǒng)。北京潔凈工作臺潔凈室檢測標準