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潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。靜電控制檢測(cè)對(duì)于電子制造業(yè)的潔凈室尤為重要。山東潔凈室檢測(cè)
潔凈室、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣,以排替、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為此,測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的潔凈度。因此,其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù)。較高的、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目。非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來(lái)沖淡與稀釋室內(nèi)、區(qū)內(nèi)的污染物以維持其潔凈度。因此,換氣次數(shù)越大,氣流流型合理,稀釋效果越***,潔凈度也相應(yīng)提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區(qū)的送風(fēng)量及相應(yīng)的換氣次數(shù),是主要關(guān)注的氣流測(cè)試項(xiàng)目。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),記錄各測(cè)點(diǎn)風(fēng)速的時(shí)間平均值。換氣次數(shù):根據(jù)潔凈室總風(fēng)量除以法凈室的容積求得山東潔凈室環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、現(xiàn)代技術(shù)密切聯(lián)系在一起。
四、照度標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定:潔凈區(qū)主要操作間照度不得少于300勒克斯,一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。潔凈區(qū)的照度檢查每年不得少于一次,在經(jīng)過(guò)設(shè)備大修、廠房改造、工藝布局調(diào)整等變更的時(shí)候應(yīng)在變更結(jié)束后重新檢測(cè)照度。檢測(cè)要求:室內(nèi)照度測(cè)度必須在室溫已趨穩(wěn)定,光源光輸出趨于穩(wěn)定后進(jìn)行(對(duì)熒光燈必須有100h)。檢測(cè)方法:測(cè)點(diǎn)平面離地面0.85m,按間距1-2m布點(diǎn),測(cè)點(diǎn)距墻面1m。其要求基本與潔凈度的測(cè)定位置要求相同。記錄實(shí)測(cè)照度值并計(jì)算總的平均照度。照度測(cè)量一般*測(cè)定除局部照明之外的一般照明。
潔凈室是空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)入、產(chǎn)生及滯留粒子??臻g內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級(jí)別來(lái)區(qū)分的,而這種級(jí)別又是用操作時(shí)間內(nèi)空氣的計(jì)數(shù)含塵濃度來(lái)表示,也就是把從某一個(gè)低的含塵濃度起到不超過(guò)另一個(gè)高的含塵濃度指這一個(gè)含塵濃度范圍為某一個(gè)空氣潔凈度級(jí)別。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。壓差檢測(cè)有助于確認(rèn)潔凈室與非潔凈區(qū)之間的隔離效果。
-連接氮?dú)?,檢查氮?dú)夤鈮毫?0psig()。,等幾分鐘后,氣溶膠到達(dá)終端過(guò)濾器。?將掃描探頭與上游濃度測(cè)試孔相連接。?按?或?鍵,使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測(cè)”,按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值,調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間,讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測(cè)試孔相連接。?調(diào)整光標(biāo)至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認(rèn)”鍵,調(diào)節(jié)參數(shù)值至測(cè)定的上游濃度值。?掃描過(guò)濾器表面及邊框,距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復(fù)掃描速度Sr約為15/Wp,使用3cm*3cm正方形采樣頭時(shí),Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長(zhǎng)方形采樣頭,Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度,Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測(cè)試管與上游濃度測(cè)試孔相連接。?按?或?鍵,使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測(cè)”,按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時(shí)間變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮?dú)饫^續(xù)通過(guò)氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過(guò)濾器完整性測(cè)試操作步驟局部層流/房間百級(jí)(高效檢漏)非層流潔凈室(高效檢漏)A.拆除層流罩B.額定風(fēng)速確定測(cè)量點(diǎn)距過(guò)濾器出風(fēng)面約150-300mm測(cè)試點(diǎn)數(shù)取測(cè)試面積10倍的平方根,且不少點(diǎn)。潔凈室的氣流組織模式直接影響其潔凈效果,需通過(guò)模擬測(cè)試驗(yàn)證。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
通過(guò)潔凈室檢測(cè),可以有效降低產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。山東潔凈室檢測(cè)
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。山東潔凈室檢測(cè)