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單向流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?,國外的一些?biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如,英國標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號(hào)中表示。原聯(lián)邦德國標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時(shí)使用的成語中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可以稱為平行流動(dòng)或單向流動(dòng)。1977年,我國在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”。氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測哪家好
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點(diǎn),將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù),工作區(qū)測點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右,送風(fēng)口測點(diǎn)位置離開送風(fēng)面30cm左右,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測點(diǎn),每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次。上海檢測哪家好潔凈室(區(qū))的日常運(yùn)行和維護(hù)管理是保障其受控狀態(tài)持續(xù)的重要條件。
(1)將所有的門關(guān)閉,將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠(yuǎn)處,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動(dòng)**小。(2)靜壓差的測定應(yīng)從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級(jí)別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定,直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對于潔凈度高于5級(jí)的單向流層流潔凈室,還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響蔚亞科技專注于潔凈室檢測、潔凈室3Q驗(yàn)證、壓縮空氣檢測、潔凈設(shè)備檢測。
①靜態(tài)測試時(shí)室內(nèi)的測試人員不得多于2人測試報(bào)告中應(yīng)標(biāo)明測試時(shí)所采用的狀態(tài);②對于單向流測試應(yīng)在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間不少于10min后開始非單向流要不少于30min后開始;③必須按照儀器的檢定周期定期對儀器作檢定。視儀器本身特點(diǎn)、使用頻率、使用環(huán)境等決定;④每個(gè)采樣點(diǎn)可按所計(jì)算確定的**小采樣量采樣空氣。但一般根據(jù)所使用的粒子計(jì)數(shù)器的采樣量及時(shí)間設(shè)定通常實(shí)際采樣都可能高于**小采樣量。⑤測定時(shí),進(jìn)入潔凈室的人員要穿潔凈服有風(fēng)淋室要經(jīng)過風(fēng)淋室,在室內(nèi)盡量處于下風(fēng)處并靜止少動(dòng)。潔凈室檢測過程中,應(yīng)注重節(jié)能降耗,實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)。湖北電子廠房環(huán)境檢測規(guī)范性強(qiáng)
潔凈室地面、墻面及天花板的清潔度也是檢測內(nèi)容之一。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測哪家好
-連接氮?dú)猓瑱z查氮?dú)夤鈮毫?0psig()。,等幾分鐘后,氣溶膠到達(dá)終端過濾器。?將掃描探頭與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵,使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測”,按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值,調(diào)節(jié)讀數(shù)在20-80之間,讀數(shù)穩(wěn)定后記錄下讀數(shù)。?將掃描探頭與下游濃度測試孔相連接。?調(diào)整光標(biāo)至“使用內(nèi)部參考值”?按“確認(rèn)”鍵,調(diào)節(jié)參數(shù)值至測定的上游濃度值。?掃描過濾器表面及邊框,距濾器表面距離約3cm。?采樣頭的往復(fù)掃描速度Sr約為15/Wp,使用3cm*3cm正方形采樣頭時(shí),Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的長方形采樣頭,Sr=3cm/s。(Sr為掃描速度,Wp為垂直于掃描方向的采樣頭寬度)。?將上游濃度測試管與上游濃度測試孔相連接。?按?或?鍵,使光標(biāo)停留在“上游80%濃度檢測”,按“確認(rèn)”;觀察上游濃度數(shù)值。上游濃度隨時(shí)間變化不應(yīng)超過平均測量值的±15%。?關(guān)閉氣溶膠按鈕。?氮?dú)饫^續(xù)通過氣溶膠發(fā)生器約30秒。?關(guān)閉N2。?關(guān)閉電源。表1高效過濾器完整性測試操作步驟局部層流/房間百級(jí)(高效檢漏)非層流潔凈室(高效檢漏)A.拆除層流罩B.額定風(fēng)速確定測量點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150-300mm測試點(diǎn)數(shù)取測試面積10倍的平方根,且不少點(diǎn)。江西實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測哪家好