潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn)是指對(duì)潔凈室進(jìn)行檢測和評(píng)估時(shí)所遵循的一系列標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范。以下是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn):ISO14644系列標(biāo)準(zhǔn):這是國際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的一系列標(biāo)準(zhǔn),用于評(píng)估潔凈室的空氣潔凈度。其中ISO14644-1是**常用的標(biāo)準(zhǔn),定義了潔凈室中空氣中顆粒物的數(shù)量限制。GMP(GoodManufacturingPractice):這是一種制藥行業(yè)常用的質(zhì)量管理體系,包括對(duì)潔凈室的設(shè)計(jì)、操作和維護(hù)等方面的要求。USP(UnitedStatesPharmacopeia):這是美國藥典,其中包含了對(duì)潔凈室的要求和測試方法。EUGMP(EuropeanUnionGoodManufacturingPractice):這是歐盟制藥行業(yè)的質(zhì)量管理體系,對(duì)潔凈室的要求和測試方法與GMP類似。FDA(FoodandDrugAdministration):這是美國食品藥品監(jiān)督管理局,對(duì)潔凈室的要求和測試方法進(jìn)行監(jiān)管。IEST(InstituteofEnvironmentalSciencesandTechnology):這是一個(gè)專門研究潔凈技術(shù)的組織,制定了一些潔凈室測試和評(píng)估的標(biāo)準(zhǔn)。以上是一些常見的潔凈室檢測標(biāo)準(zhǔn),具體的標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)潔凈室的應(yīng)用領(lǐng)域和要求來確定。潔凈室檢測數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合,綜合分析。江西實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好
潔凈度檢測方法(1)測潔凈度的儀表為常用塵埃粒子計(jì)數(shù)器,粒徑靈敏度為0.3m,測試前必須經(jīng)過標(biāo)定。室內(nèi)測定人員不應(yīng)超過3名,測定時(shí)人員必須站在采樣點(diǎn)的下風(fēng)側(cè)靜止不動(dòng)或微動(dòng)。(2)測量周期設(shè)成2分鐘以上,測點(diǎn)改變時(shí)走動(dòng)要盡量輕緩這是為了盡量減少因測試人員的走動(dòng)或測試儀器的搬動(dòng)引起周邊空氣非正常擾動(dòng)的影響。(3)定潔凈度的比較低采樣點(diǎn)按JGJ71-90附錄6.1規(guī)定,單向?qū)恿髦杆惋L(fēng)面面積,亂流指房間面積每點(diǎn)采樣次數(shù)不少于3次,各點(diǎn)采樣次數(shù)可以不一樣。(4)每次**小采樣量按JGJ71-90附錄6.2所示:0.3m1000級(jí)以下2.83L,100級(jí)5.66L;辨明級(jí)別,設(shè)定測定周期!(5)樣口:單向流應(yīng)對(duì)著氣流方向,亂流潔凈室向上采樣速度均應(yīng)盡量去接近室內(nèi)氣流速度。(6)點(diǎn)布置原則:多于5點(diǎn)可分層布置,但每層需多于5點(diǎn);5點(diǎn)或5點(diǎn)以下布置在離地0.8米高的平面對(duì)角線上,或該平面上的兩個(gè)過濾器之間的地點(diǎn),也可以在認(rèn)為需要的地方。(7)對(duì)于潔凈度高于100級(jí)的單向流(層流)潔凈室,測門開啟狀態(tài)下,離門口0.6m的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。安徽國內(nèi)檢測價(jià)格潔凈室檢測時(shí)需特別注意對(duì)生物安全柜等特殊設(shè)備的檢測。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有門全部關(guān)閉情況下進(jìn)行。(2)在潔凈平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進(jìn)行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關(guān)閉所有的門。(2)用微差壓計(jì)測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數(shù)據(jù)。壓差標(biāo)準(zhǔn)要求按照潔凈室設(shè)計(jì)或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負(fù)壓值。(1)不同級(jí)別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應(yīng)不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應(yīng)小于10Pa。(3)對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于5級(jí)(100級(jí))的單向流潔凈室在開門時(shí),門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級(jí)別的含塵濃度限值。(4)若達(dá)不到以上標(biāo)準(zhǔn)的要求,應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量、至合格為止。
潔凈室竣工驗(yàn)收的外觀檢查應(yīng)符合以下要求1、各種管道、自動(dòng)滅火裝置及凈化空調(diào)設(shè)備空調(diào)器、風(fēng)機(jī)、凈化空調(diào)機(jī)組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應(yīng)正確、牢固、嚴(yán)密其偏差應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風(fēng)管與設(shè)備的連接處應(yīng)有可靠密封。3、各類調(diào)節(jié)裝置應(yīng)嚴(yán)密、調(diào)節(jié)靈活、操作方便。4、凈化空調(diào)箱、靜壓箱、風(fēng)管系統(tǒng)及送、回風(fēng)口無灰塵。5、潔凈室的內(nèi)墻面、頂棚表面和地面應(yīng)光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現(xiàn)象。6、送回風(fēng)口及各類末端裝置、各類管道、照明和動(dòng)力線配管以及工藝設(shè)備等穿越潔凈室時(shí)穿越處的密封處理應(yīng)嚴(yán)密可靠。7、潔凈室內(nèi)各類配電盤、柜和進(jìn)入潔凈室的電氣管線、管口應(yīng)密封可靠。8各種刷涂、保溫工作應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定。定期進(jìn)行光照度檢測,確保工作區(qū)域光線充足且均勻。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響。溫濕度控制是維持潔凈室環(huán)境穩(wěn)定的重要因素之一。實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測方便客戶
潔凈室檢測不僅是技術(shù)活動(dòng),也是一項(xiàng)管理活動(dòng)。江西實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好
1.適用范圍此程序適用于高效過濾器完整性測試(俗稱高效過濾器檢漏)。2.高效過濾器檢漏原理通過氣溶膠光度計(jì)測定上下游粒子的濃度,得出泄漏率的大小。3.儀器設(shè)備氣溶膠發(fā)生器氣溶膠光度計(jì)供氣軟管耗材:PAO(EMERY3004)高效過濾器檢漏價(jià)格?高效過濾器檢漏按照高效過濾器數(shù)量進(jìn)行收費(fèi),過濾器分為液槽式過濾器和隔板式過濾器,一般檢測時(shí)采用冷發(fā)收費(fèi)較貴而采用熱發(fā)收費(fèi)較為優(yōu)惠,具體報(bào)價(jià)請聯(lián)系旦霆科技銷售顧問。高效過濾器檢漏周期?高效過濾器檢漏周期一般按照GB規(guī)定每1年進(jìn)行高效過濾器檢漏一次4.高效過濾器完整性測試方法/高效過濾器檢漏方法/高效過濾器DOP檢漏方法操作步驟預(yù)檢查①對(duì)于非層流區(qū)域-關(guān)閉HVAC的風(fēng)機(jī)。-拆除中效過濾器。-將氣溶膠發(fā)生器放置于機(jī)組的負(fù)壓段。②對(duì)于層流單元-發(fā)煙位置靠近回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或?qū)iT的氣溶膠發(fā)煙口。-找到高效過濾器前的測試軟管或測試孔,如果沒有測試孔,可在空調(diào)機(jī)組的壓力表處測試上游濃度。-將光度計(jì)內(nèi)部參數(shù)調(diào)節(jié)至100。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)-掃描HEPA的表面及其邊框。-對(duì)球型結(jié)構(gòu),直接將高效過濾器的軟管或洞與光度計(jì)下游通道相連。高效過濾器完整性測試(高效檢漏)測試程序-接通電源,溫度升至400??C。江西實(shí)驗(yàn)室檢測技術(shù)好