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抽樣高效過(guò)濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前,生產(chǎn)廠(chǎng)家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過(guò)濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對(duì)于 7 級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,就可以不進(jìn)行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過(guò)率,對(duì)于高效過(guò)濾器應(yīng)不大于過(guò)濾器出廠(chǎng)合格率的 2 倍,對(duì)于超高效過(guò)濾器應(yīng)不大于出廠(chǎng)合格透過(guò)率的 3 倍。操作過(guò)程及判定過(guò)濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過(guò)濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過(guò)濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過(guò)濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量為 1L/min 的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)是一種空氣自?xún)粞b置,可室內(nèi)吊頂安裝或放置在支架上,使局部級(jí)別達(dá)到百級(jí)。江西電子廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦
單向流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)模瑖?guó)外的一些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如,英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室。層流在括號(hào)中表示。原聯(lián)邦德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間。在當(dāng)時(shí)使用的成語(yǔ)中,“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流,而是湍流的置換流。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可以稱(chēng)為平行流動(dòng)或單向流動(dòng)。1977年,我國(guó)在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞,并指出習(xí)慣上在該詞后稱(chēng)其為“層流”。河北潔凈室檢測(cè)哪家好對(duì)于來(lái)流的潔凈度,對(duì)通過(guò)高效以上過(guò)濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來(lái)說(shuō)是不成問(wèn)題的。
(1)凈化處理原則:能用局部?jī)艋膱?chǎng)合,就盡可能不用凈化;或低級(jí)別的凈化高級(jí)別的局部?jī)艋嘟Y(jié)合。避免把需要凈化的環(huán)境分割成較小的空間,這樣做雖然有利于控制污染,但這也造成平面復(fù)雜化、增加造價(jià)、作業(yè)程序不易改變、人員流動(dòng)不方便,以及小房間造成人們心理上的不快。(2)由于氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性,潔凈室的微粒實(shí)際上是不均勻分布的,較為典型的三區(qū)不均勻分布模型,即分為主流區(qū)、渦流區(qū)和回風(fēng)口區(qū)。主流區(qū)含區(qū)含塵濃度可比室平均濃度低30%到一半。建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)。(3)主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段,上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō),潔凈程度比下風(fēng)段要好表2為某10萬(wàn)級(jí)潔凈車(chē)間內(nèi)沿一條送風(fēng)管走向設(shè)置的六個(gè)測(cè)點(diǎn)檢測(cè)結(jié)果(空態(tài)下),測(cè)點(diǎn)l~6由上風(fēng)段依次向下,可以看出,各點(diǎn)塵粒數(shù)有較大區(qū)別當(dāng)然,其中也有送風(fēng)管上各送風(fēng)口風(fēng)量沒(méi)有較好調(diào)節(jié)的原因,但這種較大區(qū)別的可能還是不可忽視。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō),所謂的無(wú)塵,并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。
(1)檢測(cè)前,被測(cè)潔凈室的運(yùn)行狀態(tài)必須在正常狀態(tài),其溫度、濕度、風(fēng)量、風(fēng)壓及風(fēng)速必須在控制的規(guī)定值內(nèi);被測(cè)試的潔凈室(區(qū))應(yīng)已進(jìn)行過(guò)消毒;同時(shí),潔凈室的測(cè)試狀態(tài)必須符合生產(chǎn)工藝的要求,并在測(cè)試報(bào)告中注明其測(cè)試狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài))。(2)測(cè)試人員必須穿戴潔凈服,而且一般不得超過(guò)兩個(gè)人。(3)凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間對(duì)單向流如5 級(jí)(100 級(jí))潔凈室或?qū)恿鞴ぷ髋_(tái)不得少于10min;對(duì)非單向流如7 級(jí)(10000 級(jí))、8 級(jí)(100000 級(jí))的潔凈室不得少于30min。運(yùn)行確認(rèn)是要證明廠(chǎng)房、設(shè)施和設(shè)備的穩(wěn)定、可靠的運(yùn)行并符合設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)。安徽實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
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(1)亂流潔凈室a.對(duì)于不安裝過(guò)濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試的方法進(jìn)行。b.對(duì)于安有過(guò)濾器的風(fēng)口,根據(jù)風(fēng)口形式可選用輔助風(fēng)管,即用硬質(zhì)板材做成與風(fēng)口內(nèi)截面相同、長(zhǎng)度等于2倍風(fēng)口邊長(zhǎng)的直管段連接于過(guò)濾器風(fēng)口外部在輔助風(fēng)管出口平面上,按**少測(cè)點(diǎn)數(shù)不少于6點(diǎn)均勻布置測(cè)點(diǎn),用熱球風(fēng)速儀測(cè)定各點(diǎn)風(fēng)速,以風(fēng)口截面平均風(fēng)速乘以風(fēng)口凈截面積確定風(fēng)量。c.對(duì)于安有同類(lèi)擴(kuò)散板的風(fēng)口,可以根據(jù)擴(kuò)散板的風(fēng)量阻力曲線(xiàn)和實(shí)測(cè)擴(kuò)散板阻力,查出風(fēng)量測(cè)定時(shí)用微壓計(jì)和畢托管或用細(xì)橡管代替畢托管,但都必須使測(cè)孔平面與氣流方向垂直使測(cè)值正確反映靜壓值。江西電子廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)誠(chéng)信推薦