河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

  (1)潔凈隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。

  潔凈隧道另有二項優(yōu)點：A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

  (2)潔凈管道(Clean Tube)：將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。

  (3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

安裝驗證的內(nèi)容包括多項檢驗信息和地點、輔助設(shè)施和設(shè)備的安全性能的介紹。河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》(GB50472-2008)。本標準“附錄D潔凈室(區(qū))性能測試和認證”的要點:1)風速和風量的檢測。對于單向流潔凈室，檢測平面應取離高效過濾器300mm垂直于氣流的截面。2)靜壓差的檢測。檢測靜壓差的時候應該關(guān)閉全部門窗。檢測儀器的靈敏度應小于1.0Pa。有多個潔凈室時，應由里向外按順序檢測。3)空氣過濾器安裝后的檢漏。光學粒子計數(shù)器的采樣量應大于1L/min。應在過濾器的上風側(cè)引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子，其濃度應大于3.5x10pc/m。微粒儀距離濾器表面20~30mm處等速采樣，并以5~20mm/s速度移動。4)潔凈度的檢測。少采樣點和每次少采樣量與ISO14644基本相同。5)溫度和濕度的檢測。檢測點的覆蓋面積不大于100m2。每個房間不少于2個檢測點。檢測點應設(shè)在潔凈室工作高度，且距吊頂、墻和地面不少于300mm。6)噪聲的檢測。每100m2設(shè)1個檢測點。檢測點距地面1.1~1.5m，距墻大于3m。7)照度的檢測。檢測點應設(shè)在潔凈室工作高度，宜距地面0.85m,每25m2設(shè)1個檢測點。安徽實驗室環(huán)境檢測方便客戶蔚亞科技提供科學、公正、具有法律效力的檢測數(shù)據(jù)和報告。

潔凈室（CleanRoom），亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。是指一個具有低污染水平的環(huán)境，這里所指的污染來源有灰塵，空氣傳播的微生物，懸浮顆粒，和化學揮發(fā)性氣體。更準確地講，一個凈室具有一個受控的污染級別，污染級別可用每立方米的顆粒數(shù)，或者用比較大顆粒大小來厘定的。低級別的凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的（如沒有受控的微生物），更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。凈室被應用在對環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)，例如半導體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等，其中以半導體業(yè)其對室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內(nèi)，才不會對制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施，凈室可以占據(jù)廠房很多位置。

通過測量特定光路下氣溶膠引起的散射光強就能達到檢測氣溶膠濃度的目的。與粒子計數(shù)器不同，氣溶膠光度計并不是根據(jù)顆粒引起的光學脈沖數(shù)量計算顆粒的數(shù)量，而是根據(jù)氣溶膠的光散射強度來直接計算氣溶膠濃度。因此，氣溶膠光度計可以直接檢測氣溶膠濃度較大的環(huán)境，而塵埃粒子計數(shù)器在檢測該環(huán)境時則需要串聯(lián)稀釋器對粒子計數(shù)器進行保護。由于在氣溶膠濃度很低的空氣中氣溶膠光度計的相對誤差會增加，因此在進行高效過濾器泄漏檢測時，光度計法適用于較高的氣溶膠濃度環(huán)境！空氣潔凈度的具體高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的，而這種級別又是用操作時間空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。

溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態(tài)或動態(tài)的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進行。進行這項檢測時，空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運轉(zhuǎn)，各項狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩(wěn)定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩(wěn)定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。抽樣對有設(shè)計要求的區(qū)域進行檢測。河北消毒液凈化車間環(huán)境檢測規(guī)范性強

按潔凈度級別劃分為1級、2級、3級、4級、5級、6級、7級、8級、9級。9級為低等級別。河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

潔凈室正壓值是指門窗全部關(guān)閉狀態(tài)下，室內(nèi)靜壓大于室外靜壓的數(shù)值。它是通過凈化系統(tǒng)送風量大于回風量和排風量的方法來達到。為了保證潔凈室正壓值，送風、回風和排風機比較好聯(lián)鎖，系統(tǒng)開啟時先啟動送風機，再啟動回風機和排風機；系統(tǒng)關(guān)閉時先關(guān)排風機，再關(guān)回風機和送風機，以防止?jié)崈羰以谙到y(tǒng)開啟和關(guān)閉時受到污染。

維持潔凈室正壓所需的風量主要根據(jù)維護結(jié)構(gòu)密閉性好壞來確定。我國潔凈室建設(shè)初期由于圍護結(jié)構(gòu)密閉性較差，要維持≥5Pa的正壓就要2~6次/h送風量;目前維護結(jié)構(gòu)密閉性已大為提高，維持同樣的正壓只要1~2次/h送風量;維持≥1OPa也只要2~3次/h送風量。 河北潔凈工作臺檢測技術(shù)好

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