復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易; B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)提高為10~1000級(jí)以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
亂流非單向流潔凈室凡不符合單向流定義的氣流的潔凈室?;旌狭鳚崈羰遥?jiǎn)蜗蛄骱头菃蜗虻臍饬鞯臐崈羰?。安徽排風(fēng)柜檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
空氣潔凈度等級(jí)1、儀器設(shè)備及環(huán)境測(cè)量?jī)x器塵埃粒子計(jì)數(shù)器。環(huán)境溫度潔凈室區(qū)的溫度和相對(duì)濕度應(yīng)與其生產(chǎn)及工藝要求相適應(yīng)。2、采樣點(diǎn)的位置及數(shù)量a.測(cè)定潔凈度的每次**小采樣量;b.每個(gè)潔凈區(qū)**少采樣次數(shù)為3次,當(dāng)潔凈區(qū)*有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí),則在該點(diǎn)至少采樣3次;d.對(duì)預(yù)期空氣潔凈度等級(jí)達(dá)到4級(jí)或更潔凈的環(huán)境采樣量很大可采用ISO14644-1附錄F規(guī)定的順序采樣法。3、技術(shù)要求①每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子濃度Ci應(yīng)小于或等于潔凈度等級(jí)規(guī)定的限值;②全部采樣點(diǎn)的平均粒子濃度N的95%置信上限值應(yīng)小于或等于潔凈等級(jí)規(guī)定的限值。4、操作過(guò)程及判定①儀器開機(jī)后預(yù)熱至穩(wěn)定后,方可按照使用說(shuō)明書的規(guī)定對(duì)儀器進(jìn)行校正,自檢、自校、零計(jì)數(shù);②采樣管口置采樣點(diǎn)采樣時(shí)在確認(rèn)計(jì)數(shù)穩(wěn)定后方可開始連續(xù)讀數(shù);③計(jì)數(shù)器采樣口和儀器的工作位置應(yīng)處在同一氣壓和溫度下,以免產(chǎn)生測(cè)量誤差;④對(duì)于單向流潔凈室采樣口應(yīng)對(duì)著氣流方向?qū)τ趤y流潔凈室采樣口宜向上采樣速度均應(yīng)盡可能接近室內(nèi)氣流速度;⑤記錄數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)。山東潔凈工作臺(tái)檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。
如何維持良好的壓差穩(wěn)定性1、定期更換新風(fēng)濾網(wǎng),以減少新風(fēng)濾網(wǎng)堵塞造成的壓差降低。2、定期更換初效、中效過(guò)濾器,以減少送風(fēng)量的波動(dòng)帶來(lái)的壓差混亂。3、不要頻繁地開門、關(guān)門,以免自控系統(tǒng)反復(fù)調(diào)節(jié)出現(xiàn)失靈和壓差紊亂。4、減少每次開、關(guān)門時(shí)間,以免出現(xiàn)風(fēng)量泄漏、壓差降低超過(guò)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)圍。5、關(guān)門必須關(guān)嚴(yán),否則漏風(fēng)量過(guò)大,會(huì)造成壓差混亂。6、使用自動(dòng)門,可以設(shè)定開門時(shí)間、保持時(shí)間、關(guān)門時(shí)間,保證壓差不受到很大的波動(dòng)影響。7、定期檢查每一個(gè)門的密封性。8、定期檢查現(xiàn)場(chǎng)的壓差裝置及顯示數(shù)據(jù)。9、隨時(shí)監(jiān)控在線壓差顯示系統(tǒng)的數(shù)據(jù),隨時(shí)了解現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生的狀況,并及時(shí)提醒操作人員注意壓差的穩(wěn)定保持。
①換氣次數(shù)
換氣次數(shù)的作用是保證有足夠進(jìn)行稀釋的干凈氣流。
換氣次數(shù)的多少應(yīng)根據(jù)計(jì)算和經(jīng)驗(yàn)確定。
②氣流組織
氣流組織的作用是保證能均勻地送風(fēng)和回風(fēng),充分發(fā)揮干凈氣流的稀釋作用。因此要求單個(gè)風(fēng)口有足夠的擴(kuò)散作用,全室回風(fēng)布置均勻,數(shù)量多一些好,要盡量減少渦流和氣流回旋。
③自凈時(shí)間
自凈時(shí)間是潔凈室從污染狀態(tài)回復(fù)到穩(wěn)定狀態(tài)的能力的體現(xiàn),越短越好。也可以指定為從某污染狀態(tài)降低到某潔凈狀態(tài)的時(shí)間。
③下限風(fēng)速
這是為了保證潔凈室能控制以下四種污染的小風(fēng)速:
a.當(dāng)污染氣流多方位散布時(shí),送風(fēng)氣流要能有效控制污染的范圍;
b.當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流同向時(shí),送風(fēng)氣流要能有效控制污染氣流到達(dá)下游的擴(kuò)散范圍;
c.當(dāng)污染氣流與送風(fēng)氣流逆向時(shí),送風(fēng)氣流能把污染氣流在必要的距離之內(nèi);
d.在全室被污染的情況下,足以在合適的時(shí)間迅速使室內(nèi)空氣自凈。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除。
潔凈車間也叫無(wú)塵車間、潔凈室、無(wú)塵室,是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
什么是十萬(wàn)級(jí)潔凈車間呢?簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō),就是車間每立方米空氣中直徑≥0.5μm粒子數(shù)不大于352萬(wàn)個(gè),空氣中粒子數(shù)越少,就意味著灰塵和微生物數(shù)量越少,空氣越潔凈。十萬(wàn)級(jí)潔凈車間還要求車間每小時(shí)換氣需達(dá)到15-19次,完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。 相鄰不同級(jí)別潔凈室之間和潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)不小于5Pa。潔凈室環(huán)境檢測(cè)哪家好
靜態(tài)已全部建成的設(shè)施齊備的潔凈室中安裝完生產(chǎn)設(shè)備并按業(yè)主供應(yīng)商商定的方式試遠(yuǎn)轉(zhuǎn),但場(chǎng)內(nèi)無(wú)生產(chǎn)人員。安徽排風(fēng)柜檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
沉降菌測(cè)定法:沉降菌指落在地面或物體表面的灰塵中攜帶的細(xì)菌。在無(wú)菌操作臺(tái)開啟的狀態(tài)下,取內(nèi)徑90毫米的無(wú)菌培養(yǎng)皿若干,無(wú)菌操作分別注入融化并冷卻至45℃的營(yíng)養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基越15毫升,倒置于30~35℃培養(yǎng)箱培養(yǎng)48小時(shí),證明無(wú)菌后備用。將已鋪有營(yíng)養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿放在指定區(qū)域距地面約1米的規(guī)定處(一般每10平方米放置一個(gè)平皿),在空氣中暴露30分鐘,采集沉降菌,蓋好平皿蓋兒,置30-35℃培養(yǎng)箱內(nèi)培養(yǎng)48小時(shí),取出計(jì)數(shù),車間內(nèi)應(yīng)為操作狀態(tài)。檢測(cè)沉降菌數(shù)量,每碟小于或等于10個(gè),便能達(dá)到10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)。安徽排風(fēng)柜檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
上海蔚亞科技發(fā)展有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中,一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取,不斷制造創(chuàng)新的市場(chǎng)高度,多年以來(lái)致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn),在上海市等地區(qū)的安全、防護(hù)中始終保持良好的商業(yè)口碑,成績(jī)讓我們喜悅,但不會(huì)讓我們止步,殘酷的市場(chǎng)磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營(yíng)養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,勇于進(jìn)取的無(wú)限潛力,蔚亞供攜手大家一起走向共同輝煌的未來(lái),回首過(guò)去,我們不會(huì)因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績(jī)而沾沾自喜,相反的是面對(duì)競(jìng)爭(zhēng)越來(lái)越激烈的市場(chǎng)氛圍,我們更要明確自己的不足,做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備,要不畏困難,激流勇進(jìn),以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家,共同走向輝煌回來(lái)!