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沉降菌測(cè)定法:沉降菌指落在地面或物體表面的灰塵中攜帶的細(xì)菌。在無(wú)菌操作臺(tái)開(kāi)啟的狀態(tài)下,取內(nèi)徑90毫米的無(wú)菌培養(yǎng)皿若干,無(wú)菌操作分別注入融化并冷卻至45℃的營(yíng)養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基越15毫升,倒置于30~35℃培養(yǎng)箱培養(yǎng)48小時(shí),證明無(wú)菌后備用。將已鋪有營(yíng)養(yǎng)瓊脂培養(yǎng)基的培養(yǎng)皿放在指定區(qū)域距地面約1米的規(guī)定處(一般每10平方米放置一個(gè)平皿),在空氣中暴露30分鐘,采集沉降菌,蓋好平皿蓋兒,置30-35℃培養(yǎng)箱內(nèi)培養(yǎng)48小時(shí),取出計(jì)數(shù),車間內(nèi)應(yīng)為操作狀態(tài)。檢測(cè)沉降菌數(shù)量,每碟小于或等于10個(gè),便能達(dá)到10萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)。凈室被習(xí)慣 地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè)。電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好
《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50472-2008)。本標(biāo)準(zhǔn)“附錄D潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證”的要點(diǎn):1)風(fēng)速和風(fēng)量的檢測(cè)。對(duì)于單向流潔凈室,檢測(cè)平面應(yīng)取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面。2)靜壓差的檢測(cè)。檢測(cè)靜壓差的時(shí)候應(yīng)該關(guān)閉全部門窗。檢測(cè)儀器的靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。有多個(gè)潔凈室時(shí),應(yīng)由里向外按順序檢測(cè)。3)空氣過(guò)濾器安裝后的檢漏。光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器的采樣量應(yīng)大于1L/min。應(yīng)在過(guò)濾器的上風(fēng)側(cè)引人不小于0.1um(0.5μm)的粒子,其濃度應(yīng)大于3.5x10pc/m。微粒儀距離濾器表面20~30mm處等速采樣,并以5~20mm/s速度移動(dòng)。4)潔凈度的檢測(cè)。少采樣點(diǎn)和每次少采樣量與ISO14644基本相同。5)溫度和濕度的檢測(cè)。檢測(cè)點(diǎn)的覆蓋面積不大于100m2。每個(gè)房間不少于2個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度,且距吊頂、墻和地面不少于300mm。6)噪聲的檢測(cè)。每100m2設(shè)1個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。檢測(cè)點(diǎn)距地面1.1~1.5m,距墻大于3m。7)照度的檢測(cè)。檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在潔凈室工作高度,宜距地面0.85m,每25m2設(shè)1個(gè)檢測(cè)點(diǎn)。上海電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好動(dòng)態(tài)設(shè)施處于按規(guī)定方式運(yùn)行的狀態(tài)并有規(guī)定的人員在場(chǎng)以規(guī)定的方式工作。
潔凈室(Clean Room),亦稱無(wú)塵車間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒(méi)有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),一些凈化工程公司,在通行標(biāo)準(zhǔn)之外,還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國(guó)際化通行標(biāo)準(zhǔn)的凈化指標(biāo),凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠(yuǎn)超國(guó)際品牌。
(三)潔凈室控管之項(xiàng)目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
3. 溫度和濕度之控制。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
5. 有害氣體之排除。
6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
7. 靜電之防制。
8. 電磁干擾預(yù)防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。
(四)潔凈室之分類
1.亂流式
空氣由空調(diào)箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內(nèi)之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
優(yōu)點(diǎn):構(gòu)造簡(jiǎn)單、系統(tǒng)建造成本,潔凈室之?dāng)U充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺(tái),提高潔凈室等級(jí)。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再運(yùn)行,欲達(dá)需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當(dāng)長(zhǎng)一段時(shí)間。
按氣流組織分類,潔凈室可分為三類:?jiǎn)蜗蛄?、層流、潔凈室?/p>
潔凈室(CleanRoom),亦稱無(wú)塵車間、無(wú)塵室或清凈室。是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來(lái)源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用比較大顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)消毒的(如沒(méi)有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。凈室被應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。生物潔凈室它與工業(yè)潔凈室一樣所不同的是控制參數(shù)中增加了控制室內(nèi)細(xì)菌的濃度。北京電子廠房環(huán)境檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格
風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元(FFU)是一種空氣自凈裝置,可室內(nèi)吊頂安裝或放置在支架上,使局部級(jí)別達(dá)到百級(jí)。電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好
溫濕度潔凈室或潔凈設(shè)施溫、濕度測(cè)定,通常分為兩個(gè)檔次:一般測(cè)試和綜合測(cè)試。較早檔次適用于處于空態(tài)的交竣驗(yàn)收測(cè)試,第二個(gè)檔次適用于靜態(tài)或動(dòng)態(tài)的綜合性能測(cè)試。這類測(cè)試適用于對(duì)溫度、濕度性能要求比較嚴(yán)格的場(chǎng)合。本檢測(cè)在氣流均勻性檢測(cè)之后和空調(diào)系統(tǒng)調(diào)整之后進(jìn)行。進(jìn)行這項(xiàng)檢測(cè)時(shí),空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)充分運(yùn)轉(zhuǎn),各項(xiàng)狀況已經(jīng)穩(wěn)定。每個(gè)濕度控制區(qū)至少設(shè)置一個(gè)濕度傳感器,并且給傳感器充分的穩(wěn)定時(shí)間。所做測(cè)量應(yīng)適合實(shí)際使用的目的,待傳感器穩(wěn)定之后才開(kāi)始測(cè)量,測(cè)量時(shí)間不少于5分鐘。電子廠房環(huán)境檢測(cè)技術(shù)好
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