潔凈區(qū)是空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間,建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子,空間內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等要求進行控制??諝鉂崈舳仁侵笣崈舡h(huán)境中空氣含塵微粒量多少的程度含塵濃度高則潔凈度低含塵濃度低則潔凈度高??諝鉂崈舳鹊木唧w高低則是用空氣潔凈度級別來區(qū)分的,而這種級別又是用操作時間內(nèi)空氣的計數(shù)含塵濃度來表示。懸浮粒子是指用于空氣潔凈度分級的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.15μm的固體和液體粒子。一般空調(diào)系統(tǒng)對系統(tǒng)的氣密性滲氣量雖有要求。湖南實驗室檢測誠信推薦
用風(fēng)罩法測量風(fēng)量①用風(fēng)量罩測定各風(fēng)口風(fēng)速時,其相應(yīng)的出風(fēng)風(fēng)速為Vs=As。Vs------各終端過濾器或送風(fēng)散流器的平均送風(fēng)風(fēng)速m/s;Qs------各終端過濾器或送風(fēng)散流器的送風(fēng)量m3/s;As------送風(fēng)口出風(fēng)面積m2。②單向流-層流潔凈室單向流潔凈室采用室截面平均風(fēng)速和截面積乘積的方法確定送風(fēng)量,其中垂直單向流層流潔凈室的測定截面取距地面0.8m的水平截面,水平單向流層流潔凈室取距送風(fēng)面0.5m的垂直截面,截面上測點間距不應(yīng)大于2m,測點數(shù)應(yīng)不少于10個,均勻布置儀器用熱球風(fēng)速儀。③測定風(fēng)管內(nèi)風(fēng)量對于風(fēng)口上風(fēng)側(cè)有較長的支管段,且已經(jīng)或可以打孔時,可以用風(fēng)管法確定風(fēng)量,測定斷面距局部阻力部件距離在局部阻力部件后不少于5倍管徑或5倍大邊長度。對于矩形風(fēng)管,將測定截面分成若干個相等的小截面,每個小截面盡可能接近正方形邊長,不大于200mm測點,設(shè)于小截面中心,但整個截面上的測點數(shù)不宜少于3個。對于圓形風(fēng)管,應(yīng)該按等面積圓環(huán)法劃分測定截面和確定測點數(shù)。具體可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)管法測量風(fēng)量的方法進行。浙江電子廠房環(huán)境檢測安裝驗證的內(nèi)容包括多項檢驗信息和地點、輔助設(shè)施和設(shè)備的安全性能的介紹。
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運轉(zhuǎn)費用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點:A.彈性擴充容易; B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動化生產(chǎn)線為適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
FFU英文全稱為(Fan Filter Unit),中文專業(yè)用語為風(fēng)機過濾機組。 FFU風(fēng)機濾網(wǎng)機組可模塊化連接使用,使用FFU廣泛應(yīng)用于潔凈室、潔凈工作臺、潔凈生產(chǎn)線、組裝式潔凈室和局部百級等應(yīng)用場合。
FFU設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。適用于在各種環(huán)境中獲得高級別的潔凈環(huán)境。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中,即可提高潔凈度級別,降低噪音和振動,也可降低造價,安裝維護方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。 潔凈度高于100級的單向流層流潔凈室在開門狀態(tài)下在出入口處的室內(nèi)側(cè)0.6m處不應(yīng)超過室內(nèi)級別上限的濃度。
空氣凈化方法1、整體凈化:可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側(cè)地以同速流向另一側(cè),使室內(nèi)產(chǎn)生的塵粒或細(xì)菌不會向四周擴散而被平推出室外,而達到好的除菌效果。⑴高效過濾除菌技術(shù):空氣潔凈主要靠高效或超高效過濾設(shè)備,向特定的環(huán)境內(nèi)輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過濾潔凈原理:①網(wǎng)截阻留;②篩孔阻留;③靜電吸引阻留;④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此,過濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結(jié)果。⑵濾材結(jié)構(gòu):生物潔凈室所用濾材級別多數(shù)為高效或超高效濾材,所用濾材有:玻璃棉制濾材、高級紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中0.5μm的顆粒的阻留率能達到90%~99%,超高效濾材可阻留0.3μm的顆粒99.9%以上。傳遞窗主要適用于潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間,或潔凈室與潔凈室之間的小貨物傳遞。實驗室環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
潔凈室(CleanRoom),亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。湖南實驗室檢測誠信推薦
潔凈室里人員的要求
潔凈室工作的人員要定期接受污染控制理論培訓(xùn)。他們通過氣閘,空氣淋浴器和/或更衣室進出潔凈室,他們必須穿專門設(shè)計的衣服,包裹住皮膚和身體自然產(chǎn)生的污染物。
根據(jù)潔凈室的分類或功能,工作人員的著裝可能只需實驗服和頭套簡單防護,也可能完全包裹的不暴露任何皮膚的全身防護。
潔凈服是用來防止顆粒和或微生物從穿著者的身體釋放和污染環(huán)境。潔凈服本身不得釋放顆粒或纖維,以防止污染環(huán)境。這種類型的人員污染可以降低半導(dǎo)體和制藥工業(yè)中的產(chǎn)品性能,并且它可以導(dǎo)致例如醫(yī)療保健行業(yè)中的醫(yī)務(wù)人員和患者之間的交叉污染。
潔凈防護裝備包括防護服、靴子,鞋子,圍裙,胡須套,圓帽,口罩,工裝/實驗服,長袍,手套和指套,袖套和鞋、靴套。所用潔凈服的類型應(yīng)反映潔凈室和產(chǎn)品類別。低級別的潔凈室可能需要特殊的鞋,鞋底完全光滑,不會站上灰塵或污垢。但是考慮到安全原因,鞋底又不能造成滑倒的危險。進入潔凈室通常都需要穿潔凈服。10,000級潔凈室可以使用簡單的實驗服,頭套和鞋套。對于100級潔凈室,需要全身包裹,帶拉鏈的防護服、護目鏡、口罩、手套和靴套。
此外還要控制潔凈室內(nèi)人員的數(shù)量,平均4~6m2/人,操作要輕緩,避免大幅度和快速移動。 湖南實驗室檢測誠信推薦
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