鄭州單極型集成電路工藝

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-11-27

    深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢(shì)服務(wù),誠(chéng)信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢(shì)的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長(zhǎng)期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場(chǎng)客戶提供優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品服務(wù)。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司經(jīng)營(yíng)范圍包括:一般經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目是:電子產(chǎn)品及其配件的技術(shù)開(kāi)發(fā)與銷售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易等。本公司主營(yíng)推廣銷售AD(亞德諾),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等國(guó)際品牌集成電路。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于:汽車、通信、消費(fèi)電子、工業(yè)控制、醫(yī)療器械、儀器儀表、安防監(jiān)控等領(lǐng)域。本公司一直秉承優(yōu)勢(shì)服務(wù),誠(chéng)信合作的原則,以現(xiàn)代化管理以及優(yōu)勢(shì)的渠道價(jià)格、良好的信譽(yù)與廣大客戶建立了長(zhǎng)期友好的合作關(guān)系,為廣大廠商和市場(chǎng)客戶提供優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品服務(wù)。深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立??孔V集成電路,找深圳美信美科技幫你解決。鄭州單極型集成電路工藝

鄭州單極型集成電路工藝,集成電路

    在互連層a的上表面上方形成多個(gè)底電極通孔。多個(gè)底電極通孔由介電層圍繞。在一些實(shí)施例中,介電層可以沉積在互連層a上方,并且然后選擇性地被圖案化以限定底電極通孔開(kāi)口。然后通過(guò)在底電極通孔開(kāi)口內(nèi)的沉積工藝形成多個(gè)底電極通孔。在各個(gè)實(shí)施例中,介電層可以包括碳化硅、富硅氧化物、teos(正硅酸乙酯)等的一種或多種。在各個(gè)實(shí)施例中,多個(gè)底電極通孔可以包括導(dǎo)電材料,諸如鈦、氮化鈦、鉭等。在多個(gè)底電極通孔上方形成多個(gè)mtj器件、和。多個(gè)mtj器件、和分別包括mtj,mtj具有通過(guò)介電遂穿阻擋層與自由層分隔開(kāi)的固定層。在一些實(shí)施例中,固定層可以形成為接觸底電極通孔。在其它實(shí)施例中。自由層可以形成為接觸底電極通孔。多個(gè)mtj器件、和中的一個(gè)包括被配置為存儲(chǔ)數(shù)據(jù)狀態(tài)的工作mtj器件。多個(gè)mtj器件、和中的一個(gè)或多個(gè)包括設(shè)置在調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件和,調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置被配置為控制(即,調(diào)節(jié))提供給相關(guān)的工作mtj器件的電流。在一些實(shí)施例中,可以同時(shí)形成多個(gè)mtj器件、和。例如,在一些實(shí)施例中,可以通過(guò)在介電層和多個(gè)底電極通孔上方沉積磁固定膜。在磁固定膜上方形成介電阻擋膜,并且在介電阻擋膜上方形成磁自由膜來(lái)形成多個(gè)mtj器件、和。天津通用集成電路企業(yè)穩(wěn)定靠譜的集成電路供應(yīng),認(rèn)準(zhǔn)深圳美信美科技現(xiàn)貨商。

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    在磁固定膜上方形成介電阻擋膜,并且在介電阻擋膜上方形成磁自由膜來(lái)形成多個(gè)mtj器件、和。可以對(duì)磁固定膜、介電阻擋層和磁自由膜實(shí)施一個(gè)或多個(gè)圖案化工藝以限定多個(gè)mtj器件、和。在其它實(shí)施例中,可以在不同時(shí)間形成多個(gè)mtj器件、和。的截面圖所示,在多個(gè)mtj器件、和上方形成多個(gè)頂電極通孔。多個(gè)頂電極通孔由ild層圍繞。在一些實(shí)施例中。可以在多個(gè)mtj器件、和上方沉積ild層,并且然后選擇性地圖案化ild層以限定頂電極通孔開(kāi)口。然后通過(guò)沉積工藝在頂電極通孔開(kāi)口內(nèi)形成多個(gè)頂電極通孔。在各個(gè)實(shí)施例中,ild層可以包括一種或多種介電材料,諸如二氧化硅(sio)、sicoh、氟硅酸鹽玻璃、磷酸鹽玻璃(例如,硼磷硅酸鹽玻璃)等。在各個(gè)實(shí)施例中,多個(gè)頂電極通孔可以包括導(dǎo)電材料,諸如鈦、氮化鈦、鉭等。在多個(gè)mtj器件、和上方的第三ild層內(nèi)形成互連層b。在一些實(shí)施例中,互連層b包括限定存儲(chǔ)單元a,的位線bl和一條或多條字線wl至wl的多個(gè)互連結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中,第三ild層可以包括通過(guò)一個(gè)或多個(gè)沉積工藝(例如,pvd、cvd、pe-cvd等)形成的電介質(zhì)(例如,氧化物、低k電介質(zhì)或k電介質(zhì))。可以通過(guò)選擇性地蝕刻第三ild層以在第三ild層內(nèi)形成開(kāi)口來(lái)形成互連層b。

    例如,邏輯“”)。調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置分別具有通過(guò)其可以控制提供給相關(guān)的工作mtj器件的電流的電阻。例如,調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置a,被配置為控制提供給工作mtj器件a,的電流,調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置b,被配置為控制提供給工作mtj器件b,的電流等。調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置被配置為通過(guò)控制提供給工作mtj器件的電流來(lái)選擇性地對(duì)存儲(chǔ)器陣列內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)工作mtj器件提供訪問(wèn)。在一些實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置可以包括一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件,一個(gè)或多個(gè)調(diào)節(jié)mtj器件分別包括mtj,mtj具有通過(guò)介電遂穿阻擋層b與自由層b分隔開(kāi)的固定層b。例如,在一些實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置可以包括與相關(guān)的工作mtj器件連接的并聯(lián)連接的調(diào)節(jié)mtj器件和調(diào)節(jié)mtj器件。在一些實(shí)施例中。調(diào)節(jié)mtj器件、調(diào)節(jié)mtj器件和工作mtj器件分別包括mtj,mtj具有通過(guò)介電遂穿阻擋層與自由層分隔開(kāi)的固定層。在一些實(shí)施例中,固定層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)、鎳(ni)、釕(ru)、銥(ir)、鉑(pt)等。在一些實(shí)施例中,介電遂穿阻擋層可以包括氧化鎂(mgo)、氧化鋁(alo)等。在一些實(shí)施例中,自由層可以包括鈷(co)、鐵(fe)、硼(b)等。在其它實(shí)施例中,調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置可以包括一個(gè)或多個(gè)電阻器(例如,包括氮化鉭、鉭、氮化鈦、鈦、鎢等的薄膜電阻器)。例如。深圳美信美集成電路價(jià)格好。

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    字線解碼器和偏置電路可以包括相同的電路元件(即,字線解碼器可以將信號(hào)施加至偏置電壓線bvly)。在操作期間,為了訪問(wèn)工作mtj器件,偏置電路和字線解碼器可以將電壓施加至偏置電壓線bvly和字線wlx,以設(shè)置存儲(chǔ)器陣列的行內(nèi)的調(diào)節(jié)mtj器件的值。隨后,位線解碼器可以施加位線電壓,該位線電壓允許訪問(wèn)多個(gè)存儲(chǔ)單元a,至c,中的選擇的存儲(chǔ)單元,而不訪問(wèn)多個(gè)存儲(chǔ)單元a,至c,中的未選擇的存儲(chǔ)單元。例如,為了將數(shù)據(jù)寫入存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件,可以將組偏置電壓施加至字線wl和偏置電壓線bvl。組偏置電壓賦予行內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置低電阻。可以將組偏置電壓施加至其它行中的偏置電壓線bvl和字線wl,以賦予其它行內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置高電阻。然后將位線電壓施加至位線bl。存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置的低電阻使得大電流(例如,大于切換電流)流過(guò)存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件,同時(shí)存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置的高電阻使得小電流(例如,小于切換電流)流過(guò)存儲(chǔ)單元a,內(nèi)的工作mtj器件。圖b示出了對(duì)應(yīng)于圖a的存儲(chǔ)器電路的集成電路的一些實(shí)施例的截面圖。圖a至圖b示出了包括存儲(chǔ)器電路的集成芯片的一些額外實(shí)施例,該存儲(chǔ)器電路具有被配置為選擇性地對(duì)工作mtj器件提供訪問(wèn)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置。未來(lái)的人工智能、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、5G等行業(yè)都可以為集成電路行業(yè)提供新的發(fā)展空間。重慶集成電路報(bào)價(jià)

靠譜集成電路供應(yīng)商,美信美科技就是牛。鄭州單極型集成電路工藝

    調(diào)節(jié)mtj器件的尺寸賦予調(diào)節(jié)mtj器件更大的切換電流,這可以允許更大的電流。在一些實(shí)施例中,工作mtj器件具有與尺寸和尺寸不同的第三尺寸(例如,第三寬度w)。圖a至圖b示出了包括存儲(chǔ)器電路的集成芯片的一些額外實(shí)施例,存儲(chǔ)器電路具有被配置為選擇性地對(duì)工作mtj器件提供訪問(wèn)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置。圖a示出了具有以行和列布置的多個(gè)存儲(chǔ)單元a,至c,的存儲(chǔ)器電路的示意圖。多個(gè)存儲(chǔ)單元a,至c,分別包括被配置為存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的工作mtj器件和被配置為選擇性地對(duì)工作mtj器件提供訪問(wèn)的調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置。調(diào)節(jié)訪問(wèn)裝置包括連接在字線wlx(x=,,)和偏置電壓線bvly(y=,。)之間的調(diào)節(jié)mtj器件。工作mtj器件連接在偏置電壓線bvly(y=,,)和位線blz(z=,,)之間。多個(gè)存儲(chǔ)單元a,至c,連接至控制電路??刂齐娐钒ū慌渲脼檫x擇性地將信號(hào)施加至一條或多條位線blz的位線解碼器、被配置為選擇性地將信號(hào)施加至一條或多條字線wlx的字線解碼器以及被配置為選擇性地將信號(hào)施加至一條或多條偏置電壓線bvly的偏置電路。在一些實(shí)施例中。字線解碼器和偏置電路可以包括相同的電路元件(即,字線解碼器可以將信號(hào)施加至偏置電壓線bvly)。在操作期間,為了訪問(wèn)工作mtj器件。鄭州單極型集成電路工藝

標(biāo)簽: 集成電路 溫度傳感器