西安半導(dǎo)體真空腔體設(shè)計

真空腔體操作前的準(zhǔn)備工作：

1、檢查水沖泵（前級泵）水箱液位是否達(dá)水箱的3/4以上，若不足則補(bǔ)足。2、檢查水箱內(nèi)所使用的水是否清潔，不允許用含有泥沙的污水，以免堵塞管路，真空腔體增加水泵葉輪磨損、增加電機(jī)負(fù)荷造成故障，影響水沖泵使用壽命。3、檢查中間泵及主泵泵體內(nèi)的潤滑油油面高，須達(dá)油窗的3/4以上，同時檢查潤滑油的顏色，出現(xiàn)乳白色或黑色雜質(zhì)較多則通知機(jī)修替換潤滑油。4、真空腔體檢查中間泵及主泵循環(huán)冷卻水水路是否完好，打開循環(huán)冷卻水進(jìn)出口閥門，檢查循環(huán)冷卻進(jìn)出水是否正常。5、檢查中間泵底部緩沖罐排污閥門是否關(guān)閉。6、檢查機(jī)組電路完好及控制柜各項指示等是否正常。7、檢查機(jī)組觸點壓力表中級泵、主泵啟動壓力是否正常（中級泵啟動入口壓力為0.065Mpa以上，主泵啟動入口壓力為0.085Mpa以上）。8、待以上事項檢查完畢確認(rèn)無誤后方可啟動真空腔體機(jī)組。 近年來，為了降低真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。西安半導(dǎo)體真空腔體設(shè)計

鋁合金真空腔體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是等離子清洗急和蝕刻機(jī)。等離子清洗機(jī)腔體已在行業(yè)內(nèi)應(yīng)用頗多，等離子清洗機(jī)較多應(yīng)用于LCD貼片、LED封裝、集成電路元器件封裝、IC封裝、工程塑料和特種硬質(zhì)材料表面處理等工藝。上海暢橋真空系統(tǒng)制造有限公司成立于2011年，是專業(yè)生產(chǎn)鋁合金真空腔體的廠家，性價比良好，產(chǎn)品外觀、可靠性和泄漏率等性能優(yōu)于傳統(tǒng)方式，獲得客戶一致認(rèn)可。針對客戶要求的定制的等離子清洗機(jī)腔體，我們已通過ISO9001質(zhì)量管理體系的認(rèn)證，將一如既往地發(fā)揮我們的技術(shù)和市場優(yōu)勢，努力打造優(yōu)良的專業(yè)團(tuán)隊，實現(xiàn)合作共贏。昆明不銹鋼真空腔體生產(chǎn)廠家真空腔體的放料閥、壓控閥內(nèi)有雜物。解決辦法：清洗。

真空腔體是保持內(nèi)部為真空狀態(tài)的容器，真空腔體的制作要考慮容積、材質(zhì)和形狀。不銹鋼是目前超高真空系統(tǒng)的主要結(jié)構(gòu)材料。其中300系列不銹鋼(表1)是含Cr10%——20%的低碳鋼，具有優(yōu)良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低、能夠在-270——900℃工作等優(yōu)點，在高真空和超高真空系統(tǒng)中，應(yīng)用普遍。近年來，為了降低真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。另外，采用鈦合金來制作特殊用途真空腔體的例子也不少。為了減小腔體內(nèi)壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體，更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護(hù)氣體氬氣，以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上必須采用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，以免存在死角而發(fā)生虛漏。

真空腔體幾種表面處理方法：

噴丸：噴丸即使用丸粒轟擊工件表面并植入殘余壓應(yīng)力，提升工件疲勞強(qiáng)度的冷加工工藝。噴砂：噴砂是利用高速砂流的沖擊作用清理和粗化基體表面的過程，即采用壓縮空氣為動力，以形成高速噴射束將噴料（銅礦砂、石英砂、金剛砂、鐵砂、海南砂）高速噴射到需要處理的工件表面，使工件表面的外表面的外表或形狀發(fā)生變化。

機(jī)械拋光：機(jī)械拋光是靠切削、材料表面塑性變形去掉被拋光后的凸部而得到平滑面的拋光方法，一般使用油石條、羊毛輪、砂紙等，以手工操作為主，特殊零件如回轉(zhuǎn)體表面，可使用轉(zhuǎn)臺等輔助工具，表面質(zhì)量要求高的可采用超精研拋的方法。超精研拋是采用特制的磨具，在含有磨料的研拋液中，緊壓在工件被加工表面上，作高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。利用該技術(shù)可以達(dá)到表面粗糙度Ra0.008μm，是各種拋光方法中比較高的，光學(xué)鏡片模具常采用這種方法。 超高真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內(nèi)焊，即焊接面是在真空一側(cè)，避免存在死角而發(fā)作虛漏。

鋁合金真空腔體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是等離子清洗急和蝕刻機(jī)。等離子清洗機(jī)腔體已在行業(yè)內(nèi)應(yīng)用頗多，等離子清洗機(jī)較多應(yīng)用于LCD貼片、LED封裝、集成電路元器件封裝、IC封裝、工程塑料和特種硬質(zhì)材料表面處理等工藝。

上海暢橋真空系統(tǒng)制造有限公司成立于2011年，是專業(yè)生產(chǎn)鋁合金真空腔體的廠家，性價比良好，產(chǎn)品外觀、可靠性和泄漏率等性能優(yōu)于傳統(tǒng)方式，獲得客戶一致認(rèn)可。針對客戶要求的定制的等離子清洗機(jī)腔體，我們已通過ISO9001質(zhì)量管理體系的認(rèn)證，將一如既往地發(fā)揮我們的技術(shù)和市場優(yōu)勢，努力打造優(yōu)良的專業(yè)團(tuán)隊，實現(xiàn)合作共贏。有全自動數(shù)控加工中心龍門銑等各種設(shè)備，可加工真空腔體連續(xù)線.主要產(chǎn)品:非標(biāo)鋁合金真空腔體，半導(dǎo)體真空腔體，鍍膜機(jī)腔體，不銹鋼真空腔體加工，真空爐體，PVD系列鍍膜機(jī)腔體，腔體配套真空管道等系列真空產(chǎn)品，專業(yè)定做非標(biāo)高真空，超高真空腔體，不銹鋼真空腔體加工，鋁合金真空腔體的品質(zhì)獲得并通過ISO-9001質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)體系認(rèn)證。所有產(chǎn)品均經(jīng)過嚴(yán)格尺寸及氦質(zhì)譜檢漏儀真空檢測出廠，并附完整的檢測報告，產(chǎn)品被用于半導(dǎo)體、科研、核電、鍍膜、真空爐業(yè)、能源、醫(yī)藥、冶金、化工等諸多行業(yè)。 不銹鋼真空腔體具有抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導(dǎo)電率和導(dǎo)熱率低等優(yōu)點。甘肅鍍膜機(jī)腔體供應(yīng)

真空腔體普遍應(yīng)用丁各種實驗和加工中，如材料熱處理、電子器件制造、光學(xué)薄脫沉積、半導(dǎo)體制造等。西安半導(dǎo)體真空腔體設(shè)計

真空腔體安全閥安裝六項要求：

1.額定蒸發(fā)量大于0.5t/h的鍋爐，至少應(yīng)安裝兩個安全閥；額定蒸發(fā)量小于或等于0.5t/h的鍋爐，至少應(yīng)安裝一個安全閥?？煞蛛x式省煤器和蒸汽過熱器的出口必須安裝安全閥。

2.安全閥應(yīng)垂直安裝在汽包和集箱的比較高的位置。在安全閥和汽包或集箱之間，不應(yīng)有取蒸汽的出口管道和閥門。

3.杠桿式安全閥應(yīng)有防止重錘自行移動的裝置和限制杠桿偏移的導(dǎo)向架。彈簧式安全閥應(yīng)有一個提手和一個防止調(diào)節(jié)螺釘被隨意轉(zhuǎn)動的裝置。

4.額定蒸汽壓力小于或等于3.82MPa的鍋爐，安全閥的喉徑不應(yīng)小于25mm額定蒸汽壓力大于3.82MPa的鍋爐，安全閥的喉徑不應(yīng)小于20mm。

5.安全閥與鍋爐之間的連接管的橫截面積不得小于安全閥入口的橫截面積。如果幾個安全閥一起安裝在一個直接連接到汽包的短管上，短管的橫截面積不應(yīng)小于所有安全閥排氣面積的1.25倍。

6.安全閥一般應(yīng)配有排氣管，排氣管應(yīng)直通安全地點，并有足夠的截面積，保證排氣暢通。安全閥的排氣管底部應(yīng)裝有連接到安全地方的排水管，排氣管和排水管上不允許安裝閥門。 西安半導(dǎo)體真空腔體設(shè)計