在科技飛速發(fā)展的現(xiàn)在,很多科學(xué)儀器與設(shè)備都需要在一定的真空環(huán)境下工作,真空腔體為敏感的元器件提供真空環(huán)境,保證其正常工作,因此,真空腔體的設(shè)計(jì)成為了整個真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)非常重要的部分?,F(xiàn)有的高真空度真空腔體設(shè)計(jì)形狀多種多樣,材料以不銹鋼、鋁合金、鈦合金為主。鋁合金重量輕、加工成本低,但由于其質(zhì)地較軟無法使用刀口密封方式,只能使用橡膠圈密封的方式;鋁合金材質(zhì)的真空腔體優(yōu)點(diǎn)是拆裝方便,不足之處是只能使用橡膠圈密封,密封方式單一,鋁合金材質(zhì)和橡膠圈都有很大的放氣率,溫度適應(yīng)性差,無法使用熔融焊工藝,因此適用范圍窄。鈦合金重量輕但加工成本高,焊接難度大、焊接方式受限,無法用于方形真空腔體加工。不銹鋼材料出氣率低、機(jī)械性能好,并且熔融焊接性能好,加工成本低,在高真空度真空腔體設(shè)計(jì)中被普遍應(yīng)用。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。鍍膜機(jī)腔體
真空腔體的制作工藝介紹:為了減小腔體內(nèi)壁的表面積,通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。超高真空系統(tǒng)的腔體,更多的是利用電解拋光來進(jìn)行表面處理。
焊接是真空腔體制作中重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量,通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護(hù)氣體氬氣,以防止熔化后的高溫金屬發(fā)生氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接,原則上必須采用內(nèi)焊,即焊接面是在真空一側(cè),以免存在死角而發(fā)生虛漏。 江蘇真空腔體報(bào)價(jià)真空技術(shù)在化學(xué)工業(yè)領(lǐng)域中也具有重要的應(yīng)用。
真空腔體釜體、釜蓋的安裝及密封:釜體和釜蓋采用墊片或錐面與圓弧面的線接觸,通過擰緊主螺母使它們相互壓緊,達(dá)到良好的密封效果。擰緊螺母時,須對角對稱,多次逐步加力擰緊,用力均勻,不允許釜蓋向一邊傾斜,以達(dá)到良好的密封效果。在擰緊主螺母時,不得大于規(guī)定的擰緊力矩40~120N.M范圍,以免密封面擠壞或過負(fù)荷磨損。對密封面應(yīng)加以愛護(hù),每次安裝之前用比較柔軟的紙或布將上下密封面擦拭干凈,注意不要將釜體、釜蓋密封面碰出痕跡。若合理操作,可使用上萬次以上。密封面破壞后,需重新加工維修可達(dá)到良好的密封性能。拆卸真空腔體釜蓋時應(yīng)將釜蓋上下緩慢抬起,避免釜體與釜蓋之間的密封面相互碰撞。如果密封是采用墊片(四氟、鋁墊、銅墊、石棉墊等)密封,通過擰緊主螺母便能達(dá)到良好的密封效果。閥門、壓力表的安裝通過擰緊正反螺母,即達(dá)到密封的效果,聯(lián)接兩頭的圓弧密封面不得相對旋轉(zhuǎn),對螺絲聯(lián)接件在裝配時,均須涂抹潤滑劑或油料調(diào)和的石墨。閥門的使用:針形閥系線密封,需輕輕轉(zhuǎn)動閥針,壓緊密封面即能達(dá)到良好的密封性能,禁止用力過大,以免損壞密封面。
鋁合金真空腔體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),尤其是等離子清洗急和蝕刻機(jī)。等離子清洗機(jī)腔體已在行業(yè)內(nèi)應(yīng)用頗多,等離子清洗機(jī)較多應(yīng)用于LCD貼片、LED封裝、集成電路元器件封裝、IC封裝、工程塑料和特種硬質(zhì)材料表面處理等工藝。
上海暢橋真空系統(tǒng)制造有限公司成立于2011年,是專業(yè)生產(chǎn)鋁合金真空腔體的廠家,性價(jià)比良好,產(chǎn)品外觀、可靠性和泄漏率等性能優(yōu)于傳統(tǒng)方式,獲得客戶一致認(rèn)可。針對客戶要求的定制的等離子清洗機(jī)腔體,我們已通過ISO9001質(zhì)量管理體系的認(rèn)證,將一如既往地發(fā)揮我們的技術(shù)和市場優(yōu)勢,努力打造優(yōu)良的專業(yè)團(tuán)隊(duì),實(shí)現(xiàn)合作共贏。 噴丸:噴丸即是用丸粒轟擊工件表面并植入殘余壓應(yīng)力,提升工件疲勞強(qiáng)度的冷加工工藝。
真空腔體幾種表面處理方法:
超聲波拋光:將工件放入磨料懸浮液中并一起置于超聲波場中,依靠超聲波的振蕩作用,使磨料在工件表面磨削拋光。超聲波加工宏觀力小,不會引起工件變形,但工裝制作和安裝較困難。超聲波加工可以與化學(xué)或電化學(xué)方法結(jié)合。在溶液腐蝕、電解的基礎(chǔ)上,再施加超聲波振動攪拌溶液,使工件表面溶解產(chǎn)物脫離,表面附近的腐蝕或電解質(zhì)均勻;超聲波在液體中的空化作用還能夠抑制腐蝕過程,利于表面光亮化。
流體拋光:流體拋光是依靠高速流動的液體及其攜帶的磨粒沖刷工件表面達(dá)到拋光的目的。常用方法有:磨料噴射加工、液體噴射加工、流體動力研磨等。流體動力研磨是由液壓驅(qū)動,使攜帶磨粒的液體介質(zhì)高速往復(fù)流過工件表面。 加熱系統(tǒng):通常由電加熱器或加熱管組成,用于將內(nèi)部的物質(zhì)加熱至所需溫度。昆明半導(dǎo)體真空腔體銷售
真空腔體普遍應(yīng)用丁各種實(shí)驗(yàn)和加工中,如材料熱處理、電子器件制造、光學(xué)薄脫沉積、半導(dǎo)體制造等。鍍膜機(jī)腔體
腔體的基本組成及密封方式:腔體即有物理或化學(xué)反應(yīng)的容器,通過對容器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與參數(shù)配置,實(shí)現(xiàn)工藝要求的加熱、蒸發(fā)、冷卻及低高速的混配功能。普遍應(yīng)用于石油、化工、橡膠、農(nóng)藥、染料、醫(yī)藥和食品等領(lǐng)域,是用來完成硫化、硝化、氫化、烴化、聚合、縮合等工藝過程的壓力容器。腔體由腔體、釜蓋、夾套、攪拌器、傳動裝置、軸封裝置、支承等組成。攪拌裝置在高徑比較大時,可用多層攪拌槳葉,也可根據(jù)用戶的要求任意選配。釜壁外設(shè)置夾套,或在器內(nèi)設(shè)置換熱面,也可通過外循環(huán)進(jìn)行換熱。支承座有支承式或耳式支座等。轉(zhuǎn)速大于160轉(zhuǎn)以上宜使用齒輪減速機(jī)。
開孔數(shù)量、規(guī)格或其它要求可根據(jù)用戶要求設(shè)計(jì)、制作。
1、通常在常壓或低壓條件下采用填料密封,一般使用壓力小于2公斤。
2、在一般中等壓力或抽真空情況會采用機(jī)械密封,一般壓力為負(fù)壓或4公斤。
3、腔體在高壓或介質(zhì)揮發(fā)性高得情況下會采用磁力密封,一般壓力大于14公斤以上。除了磁力密封均采用水降溫外,其他密封形式在大于120度以上會增加冷卻水套。 鍍膜機(jī)腔體
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