青海精密氣浮光學(xué)平臺(tái)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-12-14

光學(xué)平臺(tái)測(cè)量方法:使用脈沖錘對(duì)平臺(tái)或面包板的表面施加一個(gè)已測(cè)量的外力,并將一個(gè)傳感器貼合在平臺(tái)或面包板表面對(duì)合成振動(dòng)進(jìn)行測(cè)量。探測(cè)器發(fā)出的信號(hào)通過分析儀進(jìn)行讀取,并用于產(chǎn)生頻率響應(yīng)譜(即柔量曲線)。在光學(xué)平臺(tái)的研發(fā)過程中,對(duì)平臺(tái)表面上很多點(diǎn)的柔量曲線進(jìn)行記錄;但是,平臺(tái)四個(gè)角上的柔量往往都是特別大的。因此公司發(fā)布的柔量曲線和數(shù)據(jù)都是通過平傳感器在臺(tái)四個(gè)角上測(cè)得的,因此說明了在很不理想情況下的數(shù)據(jù)結(jié)果。光學(xué)平臺(tái)又稱光學(xué)桌面,供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面,一般平臺(tái)都需要進(jìn)行隔振等措施。青海精密氣浮光學(xué)平臺(tái)

青海精密氣浮光學(xué)平臺(tái),光學(xué)平臺(tái)

光學(xué)平臺(tái)平面度,對(duì)于隔振性能,沒有任何影響,甚至若為了追求高平面度,往往會(huì)去除掉光學(xué)平臺(tái)的隔振性能,原因如下:我們知道,光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面,若為達(dá)到高平面度,通常需要反復(fù)磨削,在加工過程中,多次磨削容易使材料產(chǎn)生形變,為了減少形變,通常要加厚臺(tái)面,但我們通過振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間的說明已經(jīng)知道,臺(tái)面加厚質(zhì)量增加,平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間往往成倍(甚至幾倍)增加,在很多精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)中,這是不可接受的;光學(xué)平臺(tái)的磨削是有極限的,這個(gè)加工的極限一般是在±0.01mm/600mm×600mm左右,換算成平方米大約為:±0.03mm/m2,但這個(gè)平面度,同大理石平臺(tái)的平面度相差甚遠(yuǎn)。北京精密光學(xué)平臺(tái)儀器光學(xué)平臺(tái)的隔振性能取決于臺(tái)面本身和支架的隔振性能。

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振幅在數(shù)值上等于位移的大小。對(duì)于光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng),臺(tái)面受外力作用時(shí),離開平衡位置的距離,同光學(xué)平臺(tái)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)、受力大小、受力的位置、瞬時(shí)加速度、速度、持續(xù)時(shí)間、臺(tái)面的剛性、隔振系統(tǒng)的阻尼比等諸多因素有著非常復(fù)雜的非線性函數(shù)關(guān)系,如果標(biāo)稱振幅的具體指標(biāo),需要注明上述特定的實(shí)驗(yàn)條件,否則振幅的指標(biāo),變得沒有意義。對(duì)于阻尼隔振的光學(xué)平臺(tái),振幅通常在微米量級(jí),而氣浮式隔振平臺(tái),振幅通常為毫米量級(jí)甚至是厘米量級(jí)。勤確及國(guó)外廠商的光學(xué)平臺(tái)并未標(biāo)稱光學(xué)平臺(tái)振幅的指標(biāo)。

優(yōu)良的精密光學(xué)平臺(tái)不僅需要高精度的機(jī)器設(shè)備來加工,更需要有高精度檢測(cè)手段與檢測(cè)儀器來保證,也只有優(yōu)良的光學(xué)平臺(tái)才能保證高精度的科學(xué)實(shí)驗(yàn)、研究的正常進(jìn)行。1、試驗(yàn)?zāi)康模簷z測(cè)氣墊隔振垂直方向和水平固有頻率、振幅、振動(dòng)速度、振動(dòng)效果。2、試驗(yàn)方式:采用三點(diǎn)均布試驗(yàn)。3、試驗(yàn)設(shè)備和試件:氣墊隔振器三只、質(zhì)量載體一件。4、測(cè)試儀器振動(dòng)分析;位移傳感器2只;電腦;采集分析軟件。5、試驗(yàn):采用多點(diǎn)敲擊法瀾可得固有頻率,振幅,振動(dòng)速度,振動(dòng)效果。上海勤確科技有限公司始終以適應(yīng)和促進(jìn)工業(yè)發(fā)展為宗旨。

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固有頻率還分為水平方向和豎直方向,但通常來說豎直方向的固有頻率對(duì)整體隔振性能的影響,起到?jīng)Q定性作用,水平方向的固有頻率指標(biāo)通常用于參考。振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間(Damping Settling Time):也叫衰減周期,是指:某一點(diǎn)上開始振動(dòng)到恢復(fù)到初始狀態(tài)所需要的很短時(shí)間。若要縮短光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間,通常有兩個(gè)辦法:增大彈簧的彈性系數(shù)k。對(duì)于阻尼隔振平臺(tái),可以換用材質(zhì)較硬的阻尼材料;對(duì)于充氣平臺(tái),可以適度增加空氣壓力;控制光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面的質(zhì)量。在不影響剛度的前提下,臺(tái)面質(zhì)量越輕,振動(dòng)恢復(fù)時(shí)間越短,使用效果就越好。勤確的光學(xué)平臺(tái),采用優(yōu)良鐵磁不銹鋼,上臺(tái)面鋼板厚度為4~6mm,在確保系統(tǒng)剛性的前提下,整體重量適中,可充分發(fā)揮出平臺(tái)優(yōu)良的隔振性能。總體上說,光學(xué)平臺(tái)的隔振,通過三個(gè)方面來實(shí)現(xiàn)。Newport光學(xué)平臺(tái)支架

平面度合適的光學(xué)平臺(tái),同低等級(jí)的大理石平臺(tái)相比,平面度還差數(shù)倍甚至一個(gè)數(shù)量級(jí)。青海精密氣浮光學(xué)平臺(tái)

光學(xué)平臺(tái)中的重復(fù)定位精度同精密位移臺(tái)中概念不同,光學(xué)平臺(tái)的重復(fù)定位精度,是指在空載和在一定條件下加上負(fù)載并去除負(fù)載,光學(xué)平臺(tái)穩(wěn)定后的高度差。這個(gè)指標(biāo)同負(fù)載的大小、加載的位置、加載時(shí)的速度、加速度、卸載時(shí)的速度、加速度等等指標(biāo)有很大的關(guān)系,對(duì)于充氣式平臺(tái),還有一個(gè)重要前提,就是加載前后,氣囊中空氣的壓力、溫度和質(zhì)量不發(fā)生變化。勤確漢光的光學(xué)平臺(tái),在上述各種條件符合特定要求時(shí),測(cè)試出阻尼式平臺(tái)的重復(fù)定位精度,為微米量級(jí),而氣浮式平臺(tái)的重復(fù)定位精度一般為亞毫米量級(jí)。青海精密氣浮光學(xué)平臺(tái)