真空閥可以根據(jù)其工作原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、應(yīng)用領(lǐng)域等多種方式分類(lèi)。以下是一些常見(jiàn)的分類(lèi)方法:1.按工作原理分類(lèi):o機(jī)械式真空閥:通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)來(lái)控制真空環(huán)境的開(kāi)關(guān)。o電磁式真空閥:利用電磁力來(lái)驅(qū)動(dòng)閥門(mén)的開(kāi)啟和關(guān)閉。o氣動(dòng)式真空閥:使用壓縮空氣或氣體作為動(dòng)力源來(lái)控制閥門(mén)動(dòng)作。o熱導(dǎo)式真空閥:利用熱導(dǎo)原理,通過(guò)加熱或冷卻來(lái)控制真空度。2.按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類(lèi):o直通式真空閥:流體通道為直線型,適用于高真空系統(tǒng)。o角式真空閥:流體通道呈90度彎曲,常用于空間受限的場(chǎng)合。o三通式真空閥:具有三個(gè)接口,可以實(shí)現(xiàn)流體的分流或合流。o多通路真空閥:具有多個(gè)通道,適用于復(fù)雜的真空系統(tǒng)。3.按應(yīng)用領(lǐng)域分類(lèi):o半導(dǎo)體行業(yè)真空閥:用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的真空環(huán)境控制。o化工行業(yè)真空閥:適用于化工生產(chǎn)中的真空過(guò)濾、蒸餾等過(guò)程。o真空鍍膜用真空閥:在真空鍍膜設(shè)備中用于控制真空度。o實(shí)驗(yàn)室真空閥:用于實(shí)驗(yàn)室真空環(huán)境的搭建和維持。4.按控制方式分類(lèi):o手動(dòng)真空閥:通過(guò)手動(dòng)操作來(lái)控制閥門(mén)的開(kāi)關(guān)。微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén)??刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。UHV閘閥角控制閥
閘閥工作原理:閘閥是只能做全開(kāi)或者全關(guān)的,不能作為調(diào)節(jié)流量的閥門(mén)使用。它的工作原理就是閘板隨閥桿一起作上升和下降做直線運(yùn)動(dòng),閥桿上有梯形螺紋,通過(guò)閥門(mén)頂端的螺母以及閥體上的導(dǎo)槽,來(lái)實(shí)現(xiàn)閥桿的上下運(yùn)動(dòng),閥桿帶動(dòng)閘板運(yùn)動(dòng)。閘板的運(yùn)動(dòng)方向與管道流體介質(zhì)方向是垂直的。閘閥的開(kāi)啟:閘閥的完全開(kāi)啟的狀態(tài)在運(yùn)行時(shí),是無(wú)法查看的,尤其是對(duì)于暗桿閘閥來(lái)說(shuō)。明桿閘閥的開(kāi)啟狀態(tài)可以觀察外露出來(lái)的閥桿位置來(lái)判斷,暗桿閘閥一般則以開(kāi)不動(dòng)為止作為完全開(kāi)啟的標(biāo)志。但考慮到可能因?yàn)闇囟茸兓霈F(xiàn)鎖死,一般閘閥開(kāi)到頭,即開(kāi)不動(dòng)位置時(shí),再回轉(zhuǎn)大概1/2圈,作為閘閥全開(kāi)的位置。閘閥的關(guān)閉:閘閥在關(guān)閉后,可以有自密封和強(qiáng)制密封兩種形式,自密封就是說(shuō)密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來(lái)密封。但大部分閘閥的閘閥還是使用強(qiáng)制密封的,就是說(shuō)閘閥的閘板關(guān)閉時(shí),要依靠外力將閘板強(qiáng)行壓向閥座,來(lái)保證密封面的密封性能。通常閘閥的密封性能是好于蝶閥的。真空閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體金屬閥體襯里高壓閥門(mén)主要有襯膠閥門(mén)、襯氟閥門(mén)、襯鉛閥門(mén)、襯塑閥門(mén)、襯搪瓷閥門(mén)。
性能區(qū)別截止閥既可以做截?cái)嗍褂茫梢宰隽髁空{(diào)節(jié)使用。截止閥的流體阻力比較大,啟閉時(shí)比較費(fèi)力,但因?yàn)殚y板距離密封面距離短,所以啟閉行程短。閘閥因?yàn)橹荒苋_(kāi)和全關(guān),它在完全打開(kāi)時(shí),閥體通道內(nèi)的介質(zhì)流動(dòng)阻力幾乎為0,所以閘閥的啟閉會(huì)非常省力,但閘板距離密封面距離遠(yuǎn),啟閉時(shí)間長(zhǎng)。安裝和流向閘閥流向兩個(gè)方向效果都一樣,安裝沒(méi)有進(jìn)出口方向的要求,介質(zhì)可以雙向流通。截止閥則需要嚴(yán)格按照閥體箭頭標(biāo)識(shí)的方向進(jìn)行安裝,關(guān)于截止閥進(jìn)出口方向還有個(gè)明文規(guī)定,我國(guó)閥門(mén)“三化給”規(guī)定截止閥的流向一律采用自上而下。截止閥是低進(jìn)高出,從外觀看有明顯的管道不在一相水平線上。閘閥流道在一個(gè)水平線上。閘閥的行程比截止閥的要大。
閥門(mén)是在流體系統(tǒng)中,用來(lái)控制流體的方向、壓力、流量的裝置,是使配管和設(shè)備內(nèi)的介質(zhì)(液體、氣體、粉末)流動(dòng)或停止并能控制其流量的裝置。 閥門(mén)是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件,用來(lái)改變通路斷面和介質(zhì)流動(dòng)方向,具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。用于流體控制的閥門(mén),從簡(jiǎn)單的截止閥到極為復(fù)雜的自控系統(tǒng)中所用的各種閥門(mén),其品種和規(guī)格繁多, 閥門(mén)的公稱(chēng)通徑從極微小的儀表閥大至通徑達(dá)10m的工業(yè)管路用閥??捎糜诳刂扑⒄羝?、油品、氣體、泥漿、各種腐蝕性介質(zhì)、 液態(tài)金屬和放射性流體等各種類(lèi)型流體地流動(dòng) ,閥門(mén)的工作壓力可以從0.0013MPa到1000MPa 的超高壓,工作溫度可以c-270℃到1430℃的高溫。控制系統(tǒng)閘閥??刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,以滑動(dòng)方式操作,可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。
真空閘閥的工作原理真空閘閥的工作原理是通過(guò)旋轉(zhuǎn)閥桿來(lái)驅(qū)動(dòng)閥瓣的開(kāi)啟和關(guān)閉,從而控制流體介質(zhì)的流通。在關(guān)閉狀態(tài)下,閥瓣緊密貼合閥座,形成真空密封,防止氣體泄漏。在開(kāi)啟狀態(tài)下,閥瓣離開(kāi)閥座,流體介質(zhì)得以通過(guò)。真空閘閥的開(kāi)關(guān)動(dòng)作通常通過(guò)手動(dòng)、電動(dòng)或氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn),以滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的需求。真空閘閥的應(yīng)用領(lǐng)域真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過(guò)程中,如半導(dǎo)體生產(chǎn)、電子設(shè)備制造、科研實(shí)驗(yàn)、航空航天等領(lǐng)域。在這些領(lǐng)域中,真空閘閥發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,能夠確保真空系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性,提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。這些真空閥可以手動(dòng)、氣動(dòng)或電子方式驅(qū)動(dòng),從而可以根據(jù)具體應(yīng)用進(jìn)行多功能控制。UHV閘閥HV GATE VALVE
高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式、內(nèi)螺紋式、法蘭、焊接等。按介質(zhì)的流向分,有直通式、直流式和角式。UHV閘閥角控制閥
閘閥的優(yōu)點(diǎn)(1)流體阻力小因?yàn)殚l閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,介質(zhì)流經(jīng)閘閥時(shí)不改變其流動(dòng)方向,所以流體阻力小。(2)啟閉力矩小,開(kāi)閉較省力因?yàn)殚l閥啟閉時(shí)閘板運(yùn)動(dòng)方向與介質(zhì)流動(dòng)方向相垂直、與截止閥相比,閘閥的啟閉較省力。(3)介質(zhì)流動(dòng)方向不受限制,不擾流、不降低壓力介質(zhì)可從閘閥兩側(cè)任意方向流過(guò)、均能達(dá)到使用的目的。更適用于介質(zhì)的流動(dòng)方向可能改變的管路中。(4)結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度較短因?yàn)殚l閥的閘板是垂直置于閥體內(nèi)的,而截止閥閥瓣是水平置于閥體內(nèi)的,因而結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度比截止閥短。(5)密封性能好全開(kāi)時(shí)密封面受沖蝕較小。(6)全開(kāi)時(shí),密封面受工作介質(zhì)的沖蝕比截止閥小。(7)體形比較簡(jiǎn)單,鑄造工藝性較好,適用范圍廣。UHV閘閥角控制閥