飛秒激光在誘導(dǎo)金屬微結(jié)構(gòu)加工應(yīng)用方面和精細加工方面的其他應(yīng)用如下:金屬納米顆粒加工自1993年HengleinA等人利用激光消融法制備金屬納米顆粒以來,許多研究小組制備出高純度、力度分布均勻的金屬納米顆粒。LinkH等人進一步控制飛秒激光的能流密度和照射時間,將金屬納米棒完全融化為金屬納米點。與其他激光脈沖相比,飛秒激光改變的金屬顆粒尺寸大小和特定形狀,使金屬納米顆粒特別是貴金屬(Au、Hg、Pt、Pd等)在催化、非線性光學(xué)、醫(yī)用材料科學(xué)等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。飛秒激光新技術(shù)應(yīng)用剛剛興起,主要應(yīng)用行業(yè)包括: 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、太陽能產(chǎn)業(yè)(特別是薄膜技術(shù))、平面顯示業(yè)等。北京工業(yè)飛秒激光鏡頭夾持器
由于PDMS膜是一種柔軟、透明、化學(xué)惰性的材料,飛秒激光在其表面進行加工時通常具有以下優(yōu)勢:飛秒激光具有極高的空間分辨率和精細加工能力,可以實現(xiàn)在PDMS膜表面進行微小尺度的加工,如微孔、微通道等。飛秒激光的超短脈沖時間意味著加工過程中產(chǎn)生的熱影響區(qū)域非常小,因此可以比較大限度地減少PDMS膜的熱損傷和變形。飛秒激光加工過程中通常不會產(chǎn)生明顯的熔化或燒焦,因此可以保持PDMS膜的表面質(zhì)量和機械性能。在PDMS膜上,飛秒激光可以進行微加工,如微孔鉆孔、微通道切割、微結(jié)構(gòu)刻蝕等。這些加工可以應(yīng)用于微流體芯片、微型生物醫(yī)學(xué)器械、微流控系統(tǒng)等領(lǐng)域,以實現(xiàn)微型結(jié)構(gòu)的制備和功能實現(xiàn)。北京超精密飛秒激光超細孔飛秒激光加工技術(shù)可對PCD、PCBN、陶瓷、硬質(zhì)合金、不銹鋼、熱處理鋼、鉬等各種材質(zhì)的產(chǎn)品進行細孔加工。
基于能量高度集中、熱影響區(qū)小、無飛濺無熔渣、不需特殊的氣體環(huán)境、無后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度可達0.7um等優(yōu)勢,飛秒激光在誘導(dǎo)金屬微結(jié)構(gòu)加工應(yīng)用方面和精細加工方面都取得了很大的進展。1.孔加工在1mm厚的不銹鋼薄片上,飛秒激光進行了具有深孔邊緣清晰、表面干凈等特點的納米級深孔加工;在金屬薄膜上,鈦寶石飛秒激光加工制備出了微納米級陣列孔,孔徑至小達2.5um,孔直徑在2.5~10um間可調(diào),至小間距可達10um,很容易實現(xiàn)10-50um間距調(diào)整。2.金屬材料表面改性1999年德國漢諾威激光中心Noltes等人報道了結(jié)合鈦寶石飛秒激光三倍頻光(260nm)和SNOM(掃描進場光學(xué)顯微鏡)在金屬鎘層制出了線寬200nm的凹槽。為以后的無孔徑近場掃描光學(xué)顯微鏡(ANSOM)取代SNOM奠定了基礎(chǔ),獲得了高達70nm的空間分辨率,開拓了遠場技術(shù)在納米范圍下的物理化學(xué)特性以及運輸機制的研究。
與傳統(tǒng)的切割方法相比,飛秒激光切割機具有以下優(yōu)勢:1.精度高:飛秒激光切割技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)微米級切割精度,滿足高精度電子設(shè)備的制造要求。2.速度快:飛秒激光切割技術(shù)的切割速度比傳統(tǒng)方法快得多,能夠提高生產(chǎn)效率。3.無接觸:飛秒激光切割技術(shù)無需物理接觸,避免了對材料的損傷和變形。4.無熱影響區(qū):飛秒激光切割技術(shù)產(chǎn)生的熱量極少,不會對材料造成熱影響區(qū),保證了產(chǎn)品的質(zhì)量。5.環(huán)保:飛秒激光切割技術(shù)不需要使用化學(xué)試劑或產(chǎn)生有害物質(zhì),符合環(huán)保要求。飛秒激光器屬于脈沖振蕩激光器, 被定位為脈沖寬度約為 100 fs(飛秒)的激光器。
飛秒激光刻蝕具有以下優(yōu)點:1、精度高:飛秒激光能夠?qū)崿F(xiàn)非常精細的加工,因此可以創(chuàng)造出高度精密的模具。2、不產(chǎn)生熱損傷:由于激光脈沖極短,能量密度高,加工過程中很少產(chǎn)生熱影響區(qū),減少了模具表面的熱損傷。3、避免微裂紋:相比傳統(tǒng)加工方法,飛秒激光刻蝕可以減少或避免在模具表面形成微裂紋,提高了模具的使用壽命和耐久性。4、可加工各種材料:飛秒激光刻蝕技術(shù)適用于各種材料,包括金屬、塑料、陶瓷等,因此具有很大的適用范圍。靈活性:激光加工具有很高的靈活性,可以實現(xiàn)各種復(fù)雜形狀和微細結(jié)構(gòu)的加工。飛秒激光在模具上進行激光刻蝕是一種高精度、低熱影響、適用性廣的先進加工技術(shù),可以實現(xiàn)對模具表面的精細加工,為制造高精度零部件提供了重要的加工手段。飛秒激光微細加工的適配范圍是 0.5-25 微米,除了半導(dǎo)體和光學(xué)產(chǎn)品等工業(yè)應(yīng)用外,生物研究加工方面也有應(yīng)用。北京工業(yè)飛秒激光鏡頭夾持器
在激光切割行業(yè)中,適合于超薄金屬箔材料切割的種類也分為納秒紫外激光切割以及飛秒激光器切割等。北京工業(yè)飛秒激光鏡頭夾持器
激光打孔工藝可分為長脈沖(ms級)和短脈沖(ns、ps、fs級)激光工藝,注意脈沖寬度是個時間單位,不是長度單位,其中ps皮秒激光和fs飛秒激光也被行業(yè)內(nèi)叫做超快激光。兩種工藝相比各有優(yōu)缺點,同樣是氣化材料加工小孔,前者因為其單個脈沖照射時間更長,能提供更多能量快速去除材料,相當(dāng)于大刀闊斧效率高;后者能量細小峰值功率高,可瞬間氣化微量材料,素有冷加工的美譽,相當(dāng)于小刀精啄,幾乎沒有重熔層,表面質(zhì)量更好,專業(yè)一點講就是超快激光由于脈沖持續(xù)時間遠小于材料中受激電子通過轉(zhuǎn)移、轉(zhuǎn)化等形式的能量釋放時間,只需考慮電子吸收入射光子的激發(fā)和儲能過程,加上高達TW(10^12W)級的峰值功率,能量在只有幾個納米厚度內(nèi)迅速聚集,瞬間產(chǎn)生的超高電子溫度值遠超材料汽化溫度,材料直接從固態(tài)轉(zhuǎn)為氣態(tài),在表面形成高密度、超熱、高壓的等離子體狀態(tài),實現(xiàn)非熱熔性加工。北京工業(yè)飛秒激光鏡頭夾持器