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因此，即使外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20在氣路上相互連通，但外腔體10中的污染物也很難進(jìn)入到內(nèi)反應(yīng)腔20中，從而可以保證內(nèi)反應(yīng)腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此，外腔體10與所述內(nèi)反應(yīng)腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間應(yīng)屬于相互連通的氣路環(huán)境，因此，當(dāng)對(duì)外腔體10進(jìn)行抽真空處理時(shí)，內(nèi)反應(yīng)腔20也同時(shí)進(jìn)行抽真空處理。本實(shí)施方式中，自動(dòng)門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上，所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13，所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動(dòng)門23傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。自動(dòng)門控制器控制自動(dòng)門的啟閉。抽真空完成后，自動(dòng)門控制器檢測(cè)傳送裝置上是否有工件存在，經(jīng)檢測(cè)若有工件存在，則控制自動(dòng)門打開(kāi)，工件在傳送裝置的作用下進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中;然后自動(dòng)門控制器再控制自動(dòng)門關(guān)閉。可以理解的是，傳送裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的傳送帶，以及驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，例如電機(jī)。其中，傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應(yīng)腔中的工件反應(yīng)載臺(tái)相對(duì)應(yīng)。繼續(xù)參照?qǐng)D2，為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應(yīng)腔20的環(huán)境溫度恒溫可控，第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對(duì)所述內(nèi)反應(yīng)腔20進(jìn)行控溫的溫控裝置，以使內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi)。寶來(lái)利真空鍍膜機(jī)性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，DLC涂層，有需要可以咨詢！江蘇靶材真空鍍膜機(jī)制造商

然后將基板2推入兩個(gè)限位板10之間的限位槽內(nèi)，并關(guān)閉密封門5，打開(kāi)抽風(fēng)機(jī)21，將腔體1內(nèi)的空氣抽出，通過(guò)控制面板使加熱器工作通過(guò)加熱板14加熱坩堝3進(jìn)行鍍膜，鍍膜完成后，使寶來(lái)利真空伸縮桿10工作，帶動(dòng)活動(dòng)板9運(yùn)動(dòng)，使坩堝3運(yùn)動(dòng)至防護(hù)框7內(nèi)，然后第二伸縮桿11工作，推動(dòng)寶來(lái)利真空密封蓋12和第二密封該13發(fā)生運(yùn)動(dòng)，使防護(hù)框7密封，然后即可打開(kāi)密封門5將基板取出或換面繼續(xù)覆膜。需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如寶來(lái)利真空和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)寶來(lái)利寶來(lái)利用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不寶來(lái)利包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。江蘇1800真空鍍膜機(jī)哪家強(qiáng)品質(zhì)新材料真空鍍膜機(jī)，請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司，有需要可以來(lái)咨詢考察！

對(duì)膜層質(zhì)量及均勻性的改善均有很大的幫助。需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如“寶來(lái)利真空”和“第二”等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)真空鍍膜設(shè)備真空鍍膜設(shè)備用來(lái)將一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不真空鍍膜設(shè)備包括那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。以上所述真空鍍膜設(shè)備是本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式，使本領(lǐng)域技術(shù)人員能夠理解或?qū)崿F(xiàn)本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所實(shí)用新型的原理和新穎特點(diǎn)相一致的真空鍍膜設(shè)備寬的范圍。

進(jìn)一步地，所述第二底板內(nèi)和所述第二側(cè)壁內(nèi)均設(shè)有用于穿設(shè)溫控管的通道，所述溫控管埋設(shè)于所述通道內(nèi)。一種真空鍍膜設(shè)備，包括機(jī)械模塊部件、工藝模塊部件和本實(shí)用新型所述的真空反應(yīng)腔室，所述工藝模塊部件位于所述內(nèi)反應(yīng)腔內(nèi)，部分所述機(jī)械模塊部件位于所述外腔體內(nèi)。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下***：本實(shí)用新型提供的真空反應(yīng)腔室，包括用于提供真空環(huán)境的外腔體，以及位于所述外腔體內(nèi)的用于進(jìn)行工藝反應(yīng)的內(nèi)反應(yīng)腔；并且，內(nèi)反應(yīng)腔的側(cè)壁上設(shè)有自動(dòng)門，工件自外腔體經(jīng)自動(dòng)門進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。其中，外腔室和內(nèi)反應(yīng)腔為嵌套結(jié)構(gòu)，其內(nèi)反應(yīng)腔位于外腔室內(nèi)。該結(jié)構(gòu)中，相當(dāng)于設(shè)置了兩個(gè)腔室，其中外腔體用于提供真空環(huán)境，而工藝反應(yīng)則在內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行。由于采用雙腔室結(jié)構(gòu)，可以將工藝模塊部件設(shè)置于內(nèi)反應(yīng)腔中，而與工藝反應(yīng)無(wú)直接關(guān)系的機(jī)械模塊部件則被設(shè)置于外腔室中。經(jīng)抽真空處理后，位于外腔體中的工件再經(jīng)自動(dòng)門進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中進(jìn)行工藝反應(yīng)，可以有效避免設(shè)備雜質(zhì)和工件雜質(zhì)進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中。該結(jié)構(gòu)可以避免工藝環(huán)境外的污染源進(jìn)入工藝反應(yīng)區(qū)域，避免工藝污染，提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室，作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔相對(duì)較小。品質(zhì)刀具模具真空鍍膜機(jī)，請(qǐng)選丹陽(yáng)市寶來(lái)利真空機(jī)電有限公司，有需要可以來(lái)咨詢考察！

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電磁鐵122頂出磁片223，頂蓋22離開(kāi)出氣管11口，空氣及粉塵從出氣管11排出，當(dāng)頂蓋22的動(dòng)觸點(diǎn)224與靜觸點(diǎn)123接觸時(shí)，氣缸53通電，伸出伸縮軸，利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出，粉塵遇水沉降落入沉降管51底部，鍍膜機(jī)1內(nèi)達(dá)到相應(yīng)的真空度時(shí)，反方向按下開(kāi)關(guān)13，電磁鐵122在換向器的作用下電流改變，磁極改變，產(chǎn)生與磁片223相反的磁極，電磁鐵122與磁片223相吸，此時(shí)真空泵4斷電，動(dòng)、靜觸點(diǎn)斷開(kāi)，氣缸53斷電，頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上。上述實(shí)施例中，開(kāi)關(guān)13為雙向開(kāi)關(guān)，往一方向按下時(shí)，真空泵4與電磁鐵122均通電，往另一方向按下時(shí)，真空泵4斷電，電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發(fā)生改變，產(chǎn)生相反的磁極。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，結(jié)合圖2可得，寶來(lái)利真空連接套12遠(yuǎn)離鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有寶來(lái)利真空安裝位121；寶來(lái)利真空安裝位121位于出氣管11兩側(cè)；寶來(lái)利真空安裝位121內(nèi)固定有電磁鐵122；頂蓋22靠近鍍膜機(jī)1一側(cè)設(shè)有第二安裝位222；第二安裝位222與寶來(lái)利真空安裝位121位置相對(duì)應(yīng)；第二安裝位222內(nèi)固定有磁片223；電磁鐵122與磁片223分別通過(guò)膠水固定在寶來(lái)利真空安裝位121以及第二安裝位222中；利用磁鐵“同極相斥、異極相吸”的原理，控制頂蓋22的關(guān)閉和打開(kāi)。江蘇靶材真空鍍膜機(jī)制造商