非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測量系統(tǒng)是一種利用氣體動靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動平面度及平順性,特別適用于高精度檢測以及超精加工領(lǐng)域。對射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量?直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量?共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動化測量模式?直觀簡單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,有需要可以聯(lián)系我司哦!江蘇3D 視覺測量傳感器品牌
STIL光學(xué)傳感器為全球各個(gè)行業(yè)提供更好的質(zhì)量控制,我們的產(chǎn)品系列適合于各種應(yīng)用,為更高的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)提供可靠的控制和檢測。1995年推出點(diǎn)光譜共焦傳感器,2005年創(chuàng)新推出線光譜共焦傳感器,2015出現(xiàn)線光譜共焦相機(jī),通過持續(xù)創(chuàng)新,2025年將推出適用于工業(yè)4.0智能解決方案。在嚴(yán)苛的工業(yè)環(huán)境下客戶要求速度、精度、質(zhì)量和安全滿足的同時(shí),也要求減少對環(huán)境的影響和降低成本,這正是STIL傳感器產(chǎn)品系列具有的優(yōu)勢。適用于任何材料同軸共焦原理兼容任何折射,同軸共焦原理,易于工業(yè)集成,大角度測量,符合ISO25178-602標(biāo)準(zhǔn)。光譜共焦的特點(diǎn):1.共焦對環(huán)境光不敏感可過濾雜波;2.彩色光譜在測量范圍內(nèi)形成彩色光譜,各種景深3.光譜儀通過嵌入式光譜儀對反射或漫反射進(jìn)行光譜分析,快速并精確4.同軸同軸光學(xué)設(shè)計(jì),無陰影影響??煽?、精確、超高分辨率的尺寸測量;高速在線解決方案;適用各種材料和環(huán)境;優(yōu)于傳統(tǒng)測量方案的其他特性,如:大角度測量,亞微米級精度,測量多層厚度。福建線光譜共焦傳感器技術(shù)馬波斯測量科技是一家專業(yè)提供光譜共焦傳感器的公司,有需求可以來電咨詢!
什么是光譜共焦干涉儀?非接觸式輪廓測量技術(shù)中的測量精度通常受到機(jī)械振動和微掃描臺位置不準(zhǔn)確性的限制。為了從這些環(huán)境干擾中解放出來,開發(fā)了一種新的對振動不敏感的干涉測量方法。采用這種新型光譜共焦干涉儀系統(tǒng),干涉儀顯微鏡的潛在亞納米級精度是極其有效的。原理:干涉測量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。是光譜共焦傳感器等光學(xué)檢測儀器儀表中必然涉及到的概念。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號,以便測量參比板和樣品之間的氣隙厚度。發(fā)達(dá)系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起,機(jī)械振動不會影響測量結(jié)果。此外,該傳感器可用于測量太薄而不允許使用色彩共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測厚度為0.4μm。
光譜共焦位移傳感器?外形尺寸測量?空氣夾層測量?厚度(透明物體)測量?段差高度(非透明物體)測量?外形輪廓測量?表面型貌測量?表面粗糙度測量?表面微小劃痕測量?三維測量?平面度測量優(yōu)勢??高分辨率,比較高可達(dá)納米級??高精度,比較高可達(dá)16納米??同軸光測量,相比較三角反射測量,無測量盲區(qū)??可以測量幾乎所有材料的表面,不論是漫反射表面,或者是高光亮面,或者是透明物體表面??物體表面的顏色對于測量結(jié)果沒有任何影響,可以解決對于激光難以測量的黑色或者白色物體??可以同時(shí)測量多層玻璃或者膠的厚度光譜共焦傳感器,就選馬波斯測量科技,讓您滿意,歡迎您的來電哦!
注意事項(xiàng):?當(dāng)整理光纖線時(shí)避免將其彎曲成曲率半徑小于20mm的圓弧。?當(dāng)不用光纖連接時(shí),為了避免光纖頭被污染,插口必須被保護(hù)蓋蓋住,否則可能導(dǎo)致傳感器出故障。你知道光譜共焦傳感器為什么采用LED白光嗎?其實(shí)大家知道混色光是由眾多不同波長光線組成的,我們稱之為光譜。下面跟著小編一起來了解下光譜共焦傳感器使用LED白光的原因吧:所有不同波長的可見光重疊在一起,形成白光。人類肉眼可見光的波長范圍從400nm(藍(lán)光)到700nm(紅光)。通過透鏡,不同顏色的光不會聚焦到同一個(gè)點(diǎn)上。這種現(xiàn)象稱為色差透鏡錯誤或者叫色差透鏡偏差。馬波斯測量科技致力于提供專業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎您的來電哦!福建線光譜共焦傳感器技術(shù)
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Zenith采樣頻率:400Hz-5000Hz主要優(yōu)勢穩(wěn)定通過15位編碼增強(qiáng)性能,提供測量值穩(wěn)定性非接觸非接觸式技術(shù)適用于所以不接觸被測產(chǎn)品的情況下進(jìn)行測量。全材料光譜共焦技術(shù)可測量各種能夠反射的材料(例如:金屬、玻璃、塑料、漆膜、液體等)。適配可更換的MARPOSSSTIL光學(xué)筆:CL-MG/OP/Endo/Everest系列同步主從模式的多傳感器測量,編碼器觸發(fā)功能。應(yīng)用汽車玻璃玻璃容器和包裝行業(yè)(PCB)電子工業(yè)、3C、半導(dǎo)體行業(yè)(硅片)、精密儀器行業(yè)、電動車行業(yè)(電池)江蘇3D 視覺測量傳感器品牌