中國香港納米壓印有誰在用

來源: 發(fā)布時間:2021-09-21

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世。根據(jù)客戶的專門需求,公司對這些聚合物作出調(diào)整,使其具備其它特征。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件。此外,DELO紫外線LED固化設備與點膠閥的可靠度十分杰出。關于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商,總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國、中國、新加坡及日本均設有子公司。2019財政年,公司的780名員工創(chuàng)造了。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應用于汽車、消費類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品。幾乎每一部智能手機與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品。DELO的客戶包括博世、戴姆勒、華為、歐司朗、西門子以及索尼等。關于EVGroup(EVG)EV集團(EVG)是為生產(chǎn)半導體、微機電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導體、功率器件以及納米技術器件制造提供設備與工藝解決方案的**供應商。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓處理、光刻/納米壓印光刻技術(NIL)與計量設備,,以及涂膠機、清洗機與檢測系統(tǒng)。EV集團創(chuàng)辦于1980年,可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務與支持。NIL已被證明是在大面積上實現(xiàn)納米級圖案的相當有成本效益的方法。中國香港納米壓印有誰在用

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EVG ® 770特征:

微透鏡用于晶片級光學器件的高 效率制造主下降到納米結構為SmartNIL ®

簡單實施不同種類的大師

可變抗蝕劑分配模式

分配,壓印和脫模過程中的實時圖像

用于壓印和脫模的原位力控制

可選的光學楔形誤差補償

可選的自動盒帶間處理


EVG ® 770技術數(shù)據(jù):

晶圓直徑(基板尺寸):100至300毫米

解析度:≤50 nm(分辨率取決于模板和工藝)

支持流程:柔軟的UV-NIL

曝光源:大功率LED(i線)> 100 mW /cm2

對準:頂側顯微鏡,用于實時重疊校準≤±500 nm和精細校準≤±300 nm

較早印刷模具到模具的放置精度:≤1微米

有效印記區(qū)域:長達50 x 50毫米

自動分離:支持的


前處理:涂層:液滴分配(可選)


光學鏡頭納米壓印優(yōu)惠價格EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,能夠輕松地適應各種材料組合,以用于工作印模和微透鏡材料。

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UV納米壓印光刻

EV Group提供完整的UV納米壓印光刻(UV-NIL)產(chǎn)品線,包括不同的***積壓印系統(tǒng),大面積壓印機,微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術。高 效,強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,高度均勻的圖案層和**少的殘留層,并具有易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。EVG的SmartNI技術達到了納米壓印的長期預期,即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結構的高性能,低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術。


對于壓印工藝,EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,還可以包括用于印章的釋放機構。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力,以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,該卡盤支持軟性和硬性印模。


EVG610特征:

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術

**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權限,不同的用戶界面語言)

敏捷處理和光刻工藝之間的轉換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版


附加功能:

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻 

μ接觸印刷


EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

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EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術,具有非常高的復制精度,可用于**小50 nm的特征尺寸。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。

NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)

NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器。


歡迎各位客戶來樣制作,驗證EVG的納米壓印設備的性能。


SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術。全域納米壓印推薦型號

EV Group能夠提供混合和單片微透鏡成型工藝。中國香港納米壓印有誰在用

SmartNIL是一項關鍵的啟用技術,可用于顯示器,生物技術和光子應用中的許多新創(chuàng)新。例如,SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標準。SmartNIL還非常適合對具有復雜納米結構的微流控芯片進行高精度圖案化,以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學診斷設備的生產(chǎn)。此外,SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結構提供了更多的自由度,這對于實現(xiàn)衍射光學元件(DOE)至關重要。


特征:

體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度

專有SmartNIL ®技術,多使用聚合物印模技術

經(jīng)過生產(chǎn)驗證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對準能力

室溫過程

開放式材料平臺 中國香港納米壓印有誰在用