輪廓儀的功能:廓測(cè)量?jī)x能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長(zhǎng)度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測(cè)量。測(cè)量效率高、操作簡(jiǎn)單、適用于車(chē)間檢測(cè)站或計(jì)量室使用。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。如果您想要了解更多的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率。粗糙度輪廓儀推薦型號(hào)
蕞大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,更進(jìn)一步減少總體成本。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)能一次搭載四組物鏡,能滿(mǎn)足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類(lèi)型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件:urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,2微米,和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn)。粗糙度輪廓儀推薦型號(hào)具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存。
輪廓儀在集成電路的應(yīng)用封裝Bump測(cè)量視場(chǎng):72*96(um)物鏡:干涉50X檢測(cè)位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線(xiàn)粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,…器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線(xiàn)檢測(cè)的時(shí)間,避免人工操作帶來(lái)的一致性,可靠性問(wèn)題歡迎咨詢(xún)。
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多珍孔盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多珍孔盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn)。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿(mǎn)足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求來(lái)選擇配對(duì)應(yīng)的鏡頭。LED光源通過(guò)多珍孔盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。粗糙度輪廓儀推薦型號(hào)
配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息。粗糙度輪廓儀推薦型號(hào)
NanoX-8000輪廓儀的自動(dòng)化系統(tǒng)主要配置:?XY最大行程650*650mm?支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸?XY光柵分辨率0.1um,定位精度5um,重復(fù)精度1um?XY平臺(tái)蕞大移動(dòng)速度:200mm/s?Z軸聚焦:100mm行程自動(dòng)聚焦,0.1um移動(dòng)步進(jìn)?隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振+大理石基石?配置真空臺(tái)面?配置Barcode掃描板邊二維碼,可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息?主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H)mm如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息,請(qǐng)聯(lián)系岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。粗糙度輪廓儀推薦型號(hào)