云南納米壓印當(dāng)?shù)貎r格

來源: 發(fā)布時間:2024-08-11

關(guān)于WaveOpticsWaveOptics是衍射波導(dǎo)的全球lingxian設(shè)計商和制造商,衍射波導(dǎo)是可穿戴AR設(shè)備中的關(guān)鍵光學(xué)組件。諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設(shè)備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實(shí)世界之上的數(shù)字圖像。有兩個關(guān)鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源,以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。WaveOptics的波導(dǎo)技術(shù)可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中。該技術(shù)可產(chǎn)生大的眼框,雙目觀察和高視野。眼圖框(查看窗口)是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖。WaveOptics的波導(dǎo)提供清晰,無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。WaveOptics技術(shù)旨在用于工業(yè),企業(yè)和消費(fèi)者市場的沉浸式AR體驗(yàn)。該公司的目標(biāo)是,憑借其獨(dú)特的技術(shù)和專業(yè)知識,其波導(dǎo)將成為所有AR可穿戴設(shè)備中使用的he心光學(xué)組件,以實(shí)現(xiàn)wuyulunbi的制造可擴(kuò)展性和視覺性能,并為眾多應(yīng)用提供多功能性。EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù)。云南納米壓印當(dāng)?shù)貎r格

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SmartNIL是行業(yè)領(lǐng)仙的NIL技術(shù),可對小于40nm*的極小特征進(jìn)行圖案化,并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,可實(shí)現(xiàn)無人可比的吞吐量,并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本,大批量替代光刻技術(shù)。注:*分辨率取決于過程和模板。如果需要詳細(xì)的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。吉林納米壓印推薦產(chǎn)品EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù),擁有多年技術(shù),掌握了NIL,并已在不斷增長的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量化生產(chǎn)。

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HERCULESNIL300mm提供了市場上蕞先近的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn),包括用于增強(qiáng)/虛擬現(xiàn)實(shí)(AR/VR)頭戴式耳機(jī)的光學(xué)設(shè)備,3D傳感器,生物醫(yī)學(xué)設(shè)備,納米光子學(xué)和等離激元學(xué)。HERCULES®NIL特征:全自動UV-NIL壓印和低力剝離蕞多300毫米的基材完全模塊化的平臺,具有多達(dá)八個可交換過程模塊(壓印和預(yù)處理)200毫米/300毫米橋接工具能力全區(qū)域烙印覆蓋批量生產(chǎn)蕞小40nm或更小的結(jié)構(gòu)支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,包括3D適用于高地形(粗糙)表面*分辨率取決于過程和模板。

NIL系統(tǒng)肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人RuedigerSprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,對于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來領(lǐng)仙AR/MR設(shè)備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來說至關(guān)重要。通過攜手合作,EVG和肖特彰顯了當(dāng)今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈的就緒性。”在此之前,使用光刻/納米壓印技術(shù)對具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案成形瑾限于200-mm基板。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費(fèi)和工業(yè)市場邁出的重要一步。不過,在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的,需要先進(jìn)的自動化和工藝控制能力。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實(shí)驗(yàn),旨在滿足納米圖案成形的需求,經(jīng)過了現(xiàn)場驗(yàn)證,能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴(kuò)展到大面積基板。去年六月,EVG推出了HERCULES®NIL300mm,將SmartNIL引入300-mm制造,滿足各種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求,其中包括AR、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)頭戴顯示設(shè)備的光學(xué)器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備、納米光子學(xué)和等離子電子學(xué)。集成到SmartNIL®UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG®HERCULES®。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)。

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EVG®720特征:體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度專有SmartNIL®技術(shù),多使用聚合物印模技術(shù)集成式壓印,UV固化脫模和工作印模制造盒帶到盒帶自動處理以及半自動研發(fā)模式可選的頂部對準(zhǔn)可選的迷你環(huán)境適用于所有市售壓印材料的開放平臺從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴(kuò)展性系統(tǒng)外殼,可實(shí)現(xiàn)ZUI佳過程穩(wěn)定性和可靠性技術(shù)數(shù)據(jù)晶圓直徑(基板尺寸)75至150毫米解析度:≤40nm(分辨率取決于模板和工藝)支持流程:SmartNIL®曝光源:大功率LED(i線)>400mW/cm2對準(zhǔn):可選的頂部對準(zhǔn)自動分離:支持的迷你環(huán)境和氣候控制:可選的工作印章制作:支持的NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟(jì)、高效的方法。吉林納米壓印推薦產(chǎn)品

在納米生物傳感器中,納米壓印可以用于制備納米級的生物傳感器,用于檢測生物分子的存在和濃度。云南納米壓印當(dāng)?shù)貎r格

IQAligner®:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)■用于光學(xué)元件的微成型應(yīng)用■用于全場納米壓印應(yīng)用■三個獨(dú)力控制的Z軸,用于控制壓印光刻膠的總厚度變化(TTV),并在壓模和基材之間實(shí)現(xiàn)出色的楔形補(bǔ)償■粘合對準(zhǔn)和紫外線粘合功能紫外線壓印_紫外線固化印章防紫外線基材附加印記壓印納米結(jié)構(gòu)分離印記用紫外線可固化的光刻膠旋涂或滴涂基材。隨后,將壓模壓入光刻膠并在仍然接觸的情況下通過UV光交聯(lián)。μ-接觸印刷軟印章基板上的材料領(lǐng)取物料,物料轉(zhuǎn)移,刪除印章云南納米壓印當(dāng)?shù)貎r格