光刻機隔振臺可以試用嗎

來源: 發(fā)布時間:2024-04-14

LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應(yīng)于AVI元件的開關(guān)輸出,這些AVI元件以任意4個矩形方向(即平行或直角)放置,不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將弟一個AVI元件連接到后面板上的12個D-Sub15插座中的任何一個。使用筆在位置A和D之間滑動開關(guān)。傳感器的位置:傳感器可以移動到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部,但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后,傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此,LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅硬,以便在附近移動時不會明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和,隔離將失效。傳感器可以移動到任何所需位置。光刻機隔振臺可以試用嗎

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AVI-400系列(負(fù)載:蕞多800kg)型號:AVI-400SLP,AVI-400MLP,AVI-400XLP系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上確認(rèn)防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接,前面的8個LED指示防振狀態(tài)尺寸:190×396×190×720×220×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重*800kg單位重量:約13kg;約19公斤,聯(lián)絡(luò)我們電源電壓:95-240VAC,50-60赫茲耗電量:通常為18W工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。AVI-600XLP隔振臺實際價格控制中心有超載指示燈。

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主動式隔震臺工作機理主動防振臺通過電氣控制,向傳入振動瞬間施加反方向的力,從而消除振動。測振傳感器不斷監(jiān)測振動,制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力,以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。(1)實際測量的振動結(jié)果:AVI主動隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。(2)不同負(fù)載下的振動傳遞率:AVI的隔振性能在負(fù)載低于30Hz以下時是一個重要的參照。高頻率范圍內(nèi),隨著隔振負(fù)載增加,隔震效果稍有提升。

桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元繞其長水平軸相對旋轉(zhuǎn)。蜂窩狀墊板或30mm厚的鋁板效果蕞好,但可以使用石板甚至實木板。有關(guān)連接孔的位置,將電纜連接至隔離裝置的兩側(cè)。附加裝置通常與弟一個裝置平行放置,但這并非決對必要。但是,必須特別注意桌面的正確連接,如下所述。注意,也可以將隔離裝置直接連接到所支持的設(shè)備上。在這種情況下,剛性安裝是決對必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝方法的建議。如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。示波器上顯示的多路復(fù)用信號顯示有無隔離的振動水平-瑾用于診斷目的。

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支撐面測試在系統(tǒng)運行時,推動支撐表面。燈不亮,除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點亮,則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對水平或垂直力施加更大的作用,并嘗試適當(dāng)?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請注意,該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行,但會產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元相對旋轉(zhuǎn)他們的長橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產(chǎn)生蕞好的結(jié)果,但是可以使用石板甚至是實心木板。對于的位置固定孔,請參閱本文檔末尾的鉆孔計劃。注意,也可以將隔離單元直接連接到支持的設(shè)備上。在這堅固的安裝是絕隊必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝建議方法。手次使用AVI系統(tǒng)時,將前面板隔離開關(guān)設(shè)置為關(guān)閉(黑色旋鈕熄滅)。干涉測量隔振臺技術(shù)服務(wù)

垂直方向上的振動傳遞衰減,在承重時10hz的頻率以上時,蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。光刻機隔振臺可以試用嗎

HerzLowFrequencySensor(LFS-3)低頻感應(yīng)器LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz.感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。LFS-3性能使用測振儀的V檔并有50公斤的重量下測試的。LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計、微檢測設(shè)備等提供極好的隔振效果。光刻機隔振臺可以試用嗎