晶圓片隔振臺技術支持

主動式隔震臺工作機理主動防振臺通過電氣控制，向傳入振動瞬間施加反方向的力，從而消除振動。測振傳感器不斷監(jiān)測振動，制動器根據(jù)這些信號產(chǎn)生反向力，以保持蕞佳的隔振狀態(tài)。主動式防震臺專門研究10Hz以下低頻范圍的防震。（1）實際測量的振動結果：AVI主動隔振頻率范圍在1.0Hz到200Hz之間。完美的隔振系統(tǒng)可控制很大范圍的頻率。（2）不同負載下的振動傳遞率：AVI的隔振性能在負載低于30Hz以下時是一個重要的參照。高頻率范圍內(nèi)，隨著隔振負載增加，隔震效果稍有提升。TS-C系列具有通用輸入，可以連接到100至240 VAC 的任何交流電源。晶圓片隔振臺技術支持

AVI400-MAVI400-M的基本配置包括兩個緊湊型隔振模塊和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI400-M適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI400-M的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI400-M緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設備（例如SEM）時，避免了任何復雜的過程。技術指標：頻率：1.2-200Hz負載范圍：0-800公斤（單件）：400公斤安徽晶圓隔振臺TableStable通過主動控制沒有共振點，可以防止低頻范圍的振動。

   傳感器位置傳感器可以移動到任何期望的位置。它可能位于負載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。制作后連接時，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支撐面的剛性支撐表面的剛性很重要。水平傳感器無法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅硬，以使其不會明顯傾斜當人們在附近移動時。傾斜會導致傳感器輸出飽和并失去隔離。運作方式設置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開電源。綠色LED將點亮。紅色LED開始閃爍，這意味著存在一些振動。現(xiàn)在，您可以通過按啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色LED不應點亮了。如果它們點亮，則表示系統(tǒng)過載且振動建筑物中存在的物體太嚴重。請注意，如果未啟用LFS，則它將無效。敏感的傳感器單元，請勿撞擊，敲打或跌落！

把手輕輕地放在桌面上?？赡軙幸粋€或多個LED亮起，表示過載。了解在不造成過載的情況下可以施加多少力。如果您現(xiàn)在對桌面施加很大的力，所有過載指示燈都將亮起，隔離指示燈將閃爍幾秒鐘，表示系統(tǒng)在過載解除（待機模式）之前暫時不再隔離。卸下過載后，隔離燈應再次亮起，系統(tǒng)開始隔離。一些過載LED可能會亮起并持續(xù)幾秒鐘。即使在這個階段，系統(tǒng)也在隔離，但增益降低。嚴重過載后，系統(tǒng)可能需要半分鐘才能完全隔離，但通常只需要幾秒鐘。TS-140隔振臺結合了久經(jīng)考驗的技術卓悅性與優(yōu)雅且對用戶友好的設計。

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元，最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應用戶特定的應用，可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-S的隔離始于1,2Hz，超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-S緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單，友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備（例如SEM）時進行任何復雜的操作。技術指標：頻率：1.2-200Hz負載范圍：0-1200公斤（單個）：600公斤傳感器可以移動到任何所需位置。安徽晶圓隔振臺

LFS-3傳感器在三個軸上測量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。晶圓片隔振臺技術支持

使用AVI系統(tǒng)時，系統(tǒng)只能插入單獨接地的插座。無論是在插座處，還是使用未接地的延長電纜，都不要斷開此接地。如果您懷疑系統(tǒng)以任何方式不安全，請拔下插頭并防止任何可能的意外使用。聯(lián)系蕞近的服務中心。在打開此設備之前，請確保它連接到正確的電源電壓。不要取下任何蓋子或讓任何金屬物體進入通風槽。在取下任何蓋子之前，斷開電源。請向合格人員咨詢服務。不要在可能報炸的環(huán)境中使用。保險絲位于控制單元后側的電源插座中。未先拔下電源線，不要試圖更換保險絲。只能更換類型正確的保險絲。不要試圖繞過保險絲。確保控制單元中的通風縫沒有被覆蓋，并且空氣可以自由循環(huán)。堵塞狹縫可能導致過熱，從而引發(fā)火災。對于控制單元和隔離元件之間的連接，瑾使用提供的D-Sub 15電纜（m/f）。晶圓片隔振臺技術支持