輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。一般三坐標精度都在2-3um左右。高靈敏度的實驗設備輪廓儀報價
輪廓儀的性能測量模式移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素標配:1280×960視場范圍560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng)同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦(可選電動聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復性*0.005nm,1σ臺階測量**準確度≤0.75%;重復性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD國產輪廓儀質保期多久白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格會有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。
2)共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多真孔盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多真孔盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過MPD的真孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),但是在共焦圖像中,通過多真孔盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高分辨率。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。物鏡是輪廓儀蕞和新的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。
輪廓儀的性能測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺:150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素:標配:1280×960視場范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng):同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦(可選電動聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復性*0.005nm,1σ臺階測量**準確度≤0.75%;重復性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量。中端輪廓儀推薦型號
輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測。高靈敏度的實驗設備輪廓儀報價
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求來選擇配對應的鏡頭。高靈敏度的實驗設備輪廓儀報價
岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家集研發(fā)、制造、銷售為一體的****,公司位于金高路2216弄35號6幢306-308室,成立于2002-02-07。公司秉承著技術研發(fā)、客戶優(yōu)先的原則,為國內半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀的產品發(fā)展添磚加瓦。在孜孜不倦的奮斗下,公司產品業(yè)務越來越廣。目前主要經營有半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等產品,并多次以儀器儀表行業(yè)標準、客戶需求定制多款多元化的產品。EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi為用戶提供真誠、貼心的售前、售后服務,產品價格實惠。公司秉承為社會做貢獻、為用戶做服務的經營理念,致力向社會和用戶提供滿意的產品和服務。岱美儀器技術服務(上海)有限公司以市場為導向,以創(chuàng)新為動力。不斷提升管理水平及半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀產品質量。本公司以良好的商品品質、誠信的經營理念期待您的到來!