EVG®805解鍵合系統(tǒng)用途:薄晶圓解鍵合。EVG805是半自動系統(tǒng),用于剝離臨時鍵合和加工過的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機械剝離。可以將薄晶圓卸載到單個基板載體上,以在工具之間安全可靠地運輸。特征:開放式膠粘劑平臺解鍵合選項:熱滑解鍵合解鍵合機械解鍵合程序控制系統(tǒng)實時監(jiān)控和記錄所有相關過程參數薄晶圓處理的獨特功能多種卡盤設計,可支撐ZUI大300mm的晶圓/基板和載體高形貌的晶圓處理技術數據晶圓直徑(基板尺寸)晶片ZUI大300mm高達12英寸的薄膜組態(tài)1個解鍵合模塊選件紫外線輔助解鍵合高形貌的晶圓處理不同基板尺寸的橋接能力在不需重新配置硬件的情況下,EVG鍵合機可以在真空下執(zhí)行SOI/SDB(硅的直接鍵合)預鍵合。奧地利鍵合機研發(fā)生產
晶圓級封裝的實現可以帶來許多經濟利益。它允許晶圓制造,封裝和測試的集成,從而簡化制造過程。縮短的制造周期時間可提高生產量并降低每單位制造成本。晶圓級封裝還可以減小封裝尺寸,從而節(jié)省材料并進一步降低生產成本。然而,更重要的是,減小的封裝尺寸允許組件用于更廣范的高級產品中。晶圓級封裝的主要市場驅動因素之一是需要更小的組件尺寸,尤其是減小封裝高度。岱美儀器提供的EVG的晶圓鍵合機,可以實現晶圓級封裝的功能。河北EVG540鍵合機鍵合機晶圓對準鍵合是晶圓級涂層,晶圓級封裝,工程襯底智造,晶圓級3D集成和晶圓減薄等應用實用的技術。
焊使用工具將導線施加到微芯片上時對其產生壓力。將導線牢固地固定到位后,將超聲波能量施加到表面上,并在多個區(qū)域中建立牢固的結合。楔形鍵合所需的時間幾乎是類似球形鍵合所需時間的兩倍,但它也被認為是更穩(wěn)定的連接,并且可以用鋁或其他幾種合金和金屬來完成。不建議業(yè)余愛好者在未獲得適當指導的情況下嘗試進行球焊或楔焊,因為焊線的敏感性和損壞電路的風險。已開發(fā)的技術使這兩個過程都可以完全自動化,并且?guī)缀醪辉傩枰止ね瓿梢€鍵合。蕞終結果是實現了更加精確的連接,這種連接往往比傳統(tǒng)的手工引線鍵合方法產生的連接要持久。
EVG®320自動化單晶圓清洗系統(tǒng)用途:自動單晶片清洗系統(tǒng),可有效去除顆粒EVG320自動化單晶圓清洗系統(tǒng)可在處理站之間自動處理晶圓和基板。機械手處理系統(tǒng)可確保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自動預對準和裝載晶圓。除了使用去離子水沖洗外,配置選項還包括兆頻,刷子和稀釋的化學藥品清洗。特征多達四個清潔站全自動盒帶間或FOUP到FOUP處理可進行雙面清潔的邊緣處理(可選)使用1MHz的超音速噴嘴或區(qū)域傳感器(可選)進行高/效清潔先進的遠程診斷防止從背面到正面的交叉污染完全由軟件控制的清潔過程EVG鍵合機鍵合工藝可在真空或受控氣體條件下進行。
針對表面帶有微結構硅晶圓的封裝展開研究,以采用 Ti / Au 作為金屬過渡層的硅—硅共晶鍵合為對象,提出一種表面帶有微結構的硅—硅共晶鍵合工藝,以親水濕法表面活化處理降低硅片表面雜質含量,以微裝配平臺與鍵合機控制鍵合環(huán)境及溫度來保證鍵合精度與鍵合強度,使用恒溫爐進行低溫退火,解決鍵合對硅晶圓表面平整度和潔凈度要求極高,環(huán)境要求苛刻的問題。高低溫循環(huán)測試試驗與既定拉力破壞性試驗結果表明: 提出的工藝在保證了封裝組件封裝強度的同時,具有工藝溫度低、容易實現圖形化、應力匹配度高等優(yōu)點。EVG的服務:高真空對準鍵合、集體D2W鍵合、臨時鍵合和熱、混合鍵合、機械或者激光剖離、黏合劑鍵合。當地價格鍵合機美元價
EVG鍵合機使用直接(實時)或間接對準方法,能夠支持大量不同的對準技術。奧地利鍵合機研發(fā)生產
公司技術團隊由一群儀器儀表領域內具有豐富的經驗的工程師組成。業(yè)務范圍覆蓋至半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等。半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀可分為通用型和專業(yè)型,通用型儀表主要包括工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置制造、電工儀器儀表、繪圖、計算及測量儀器、實驗分析儀器、試驗機制造、供應用儀器儀表、其他通用儀器;我國儀器儀表行業(yè)發(fā)展速度較快,但高階產品供給能力依然欠缺,隨時面臨被斷供的風險。系列政策出臺,助力本土企業(yè)突圍。政策助力對推動經濟發(fā)展、促進相關行業(yè)技術升級、打破國外半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀壟斷、提高半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀國產化率及國產替代等方面具有重要戰(zhàn)略意義,近年來我國密集出臺涉及儀器儀表行業(yè)及相關應用領域的產業(yè)政策,在政策支持下,我國本土企業(yè)有望突出重圍。奧地利鍵合機研發(fā)生產
岱美儀器技術服務(上海)有限公司依托可靠的品質,旗下品牌EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi以高質量的服務獲得廣大受眾的青睞。旗下EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi在儀器儀表行業(yè)擁有一定的地位,品牌價值持續(xù)增長,有望成為行業(yè)中的佼佼者。同時,企業(yè)針對用戶,在半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等幾大領域,提供更多、更豐富的儀器儀表產品,進一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的儀器儀表服務。岱美儀器技術服務(上海)有限公司業(yè)務范圍涉及磁記錄、半導體、光通訊生產及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿易、轉口貿易,商務信息咨詢服務 等多個環(huán)節(jié),在國內儀器儀表行業(yè)擁有綜合優(yōu)勢。在半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀等領域完成了眾多可靠項目。