白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡:干涉面成像,多層垂直掃描蕞好高度測量精度:<1nm高度精度不受物鏡影響性價比好激光共聚焦3D顯微鏡:點掃描合成面成像,多層垂直掃描Keyence(日本)蕞好高度測量精度:~10nm高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍90萬-130萬三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。(來自網(wǎng)絡)輪廓儀可用于:微結構均勻性 缺 陷,表面粗糙度。三維輪廓儀免稅價格
NanoX-80003D輪廓測量主要技術參數(shù)3D測量主要技術指標(1):測量模式:PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍:大行程PZT掃描(300um標配/500um選配)10mm精密電機拓展掃描CCD相機:1920x1200高速相機(標配)干涉物鏡:2.5X,5X,10X(標配),20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換:5孔電動鼻切換FOV:1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦:高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng):高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換(綠色/藍色)傾斜調節(jié):±5°電動調節(jié)橫向分辨率:≥0.35μm(與所配物鏡有關)3D測量主要技術指標(2):垂直掃描速度:PSI:<10s,VSI/CSI:<38um/s高度測量范圍:0.1nm–10mm表面反射率:>0.5%測量精度:PSI:垂直分辨率<0.1nm準確度<1nmRMS重復性<0.01nm(1σ)臺階高重復性:0.15nm(1σ)VSI/CSI:垂直分辨率<0.5nm準確度<1%重復性<0.1%(1σ,10um臺階高)微納米結構和加工儀器輪廓儀技術服務產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)。
強大的輪廓儀光電一體軟件美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換光機電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,結果實時更新縮放、定位、平移、旋轉等三維圖像處理自主設定測量閾值,三維處理自動標注測量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀個性化軟件應用支持可進行軟件在線升級和遠程支持服務10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BDMedicalInstrument)光學測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務。
輪廓儀的性能測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺:150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素:標配:1280×960視場范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng):同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦(可選電動聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復性*0.005nm,1σ臺階測量**準確度≤0.75%;重復性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD輪廓儀可用于Oled 特征結構測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。
輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量?;裘窢栞喞獌x推薦產(chǎn)品
輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術,微流控器件。三維輪廓儀免稅價格
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應用測試案例測量種類?基板ASoldMask3D形貌、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運動速度蕞**維輪廓儀免稅價格
岱美儀器技術服務(上海)有限公司是一家有著雄厚實力背景、信譽可靠、勵精圖治、展望未來、有夢想有目標,有組織有體系的公司,堅持于帶領員工在未來的道路上大放光明,攜手共畫藍圖,在上海市等地區(qū)的儀器儀表行業(yè)中積累了大批忠誠的客戶粉絲源,也收獲了良好的用戶口碑,為公司的發(fā)展奠定的良好的行業(yè)基礎,也希望未來公司能成為*****,努力為行業(yè)領域的發(fā)展奉獻出自己的一份力量,我們相信精益求精的工作態(tài)度和不斷的完善創(chuàng)新理念以及自強不息,斗志昂揚的的企業(yè)精神將**岱美儀器技術服務供應和您一起攜手步入輝煌,共創(chuàng)佳績,一直以來,公司貫徹執(zhí)行科學管理、創(chuàng)新發(fā)展、誠實守信的方針,員工精誠努力,協(xié)同奮取,以品質、服務來贏得市場,我們一直在路上!