HERZAN隔振臺推薦型號

來源: 發(fā)布時間:2022-08-30

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標準AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI/LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。將傳感器連接到AVI/系統(tǒng)?傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。用D-Sub25將電源連接到傳感器電纜。每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub15插座連接到傳感器。簡單,用戶友好的處理概念-避免在安裝過程中進行復(fù)雜的過程。HERZAN隔振臺推薦型號

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AVI200-XL的隔離始于1,2Hz,然后迅速增加至超過10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。

我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過程。

技術(shù)指標:頻率:1,2-200Hz負載范圍:0-400公斤AVI200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,蕞大可以負載400公斤。

通過增加隔離模塊的數(shù)量,可以輕松承受更高的負載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。 光刻機隔振臺用途是什么AVI 200-M的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,蕞大可以負載400公斤。

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AVI單元和傳感器的方向隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點很重要取向!LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應(yīng)于AVI的開關(guān)輸出以任意4個矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。為確保連接正確,請按照下列步驟操作:面向LFS傳感器的藍色LED站立。將弟一個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關(guān)在位置A和D之間。所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關(guān)位置對于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。

支撐面測試在系統(tǒng)運行時,推動支撐表面。燈不亮,除了可能會大力推動。如果可以輕松使燈點亮,則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。確定支撐表面是否起反應(yīng)對水平或垂直力施加更大的作用,并嘗試適當?shù)厥菇Y(jié)構(gòu)變硬。請注意,該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行,但會產(chǎn)生共振的柔軟結(jié)構(gòu)放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。桌面選擇桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元相對旋轉(zhuǎn)他們的長橫軸。蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產(chǎn)生蕞好的結(jié)果,但是可以使用石板甚至是實心木板。對于的位置固定孔,請參閱本文檔末尾的鉆孔計劃。注意,也可以將隔離單元直接連接到支持的設(shè)備上。在這堅固的安裝是絕隊必要的。我們很樂意為您提供蕞佳安裝建議方法。勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。

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AVI-產(chǎn)品參數(shù):AVI-200系列(負載:蕞多800kg)型號:AVI-200SLP,AVI-200MLP,AVI-200XLP系統(tǒng)形狀:控制器與防振單元分離型主動控制范圍:被動隔振范圍200Hz以上確認防振狀態(tài):使用控制器背面的BNC連接器,外部連接前面的8個LED指示防振狀態(tài)尺寸:120×396×130×636×130×856×控制器尺寸:241×287×142毫米承重:400kg單位重量:約9kg聯(lián)絡(luò)我們電源電壓:95-240VAC50-60赫茲耗電量:普通9W工作溫度范圍:5℃?40℃工作濕度范圍:10?90%(5?30℃)?10?60%(30?40℃)可選零件(1)裝載板,石板,鑄鐵板*另行咨詢選裝(2)高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨咨詢。LFS-3感應(yīng)器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。光刻機隔振臺用途是什么

使用D-Sub 15M-F電纜將T-Box連接到TS的背面。無需單獨的電源。通過模式開關(guān)可以選擇不同的激勵方向。HERZAN隔振臺推薦型號

AVI600-SAVI600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,最大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。AVI600-S的隔離始于1,2Hz,超過10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式AVI600-S緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時進行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標:頻率:1.2-200Hz負載范圍:0-1200公斤(單個):600公斤HERZAN隔振臺推薦型號

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