掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-25

AVI200-XLAVI200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元,蕞大可承載400公斤重量。通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量,可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用,可以按特殊順序提供不同長(zhǎng)度的單個(gè)元件。AVI200-XL的隔離始于1,2Hz,然后迅速增加至超過(guò)10Hz的35dB減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過(guò)程。主動(dòng)防振臺(tái)通過(guò)電氣控制,向傳入振動(dòng)瞬間施加反方向的力,從而消除振動(dòng)。掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理

掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理,隔振臺(tái)

AVI600-MAVI600-M的基本配置包括兩個(gè)緊湊型單元和一個(gè)控制單元,最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI600-S適應(yīng)用戶(hù)特定的應(yīng)用,可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI600-M的隔離始于1,2Hz,超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI600-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI600-M的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI600-M緊湊型設(shè)備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單,友好的處理概念-從而避免在設(shè)備上放置沉重的設(shè)備(例如SEM)時(shí)進(jìn)行任何復(fù)雜的操作。技術(shù)指標(biāo):頻率:1.2-200Hz負(fù)載范圍:0-1200公斤(單件):600公斤氮化鎵隔振臺(tái)學(xué)校會(huì)用嗎必須改善測(cè)量環(huán)境,以發(fā)揮儀器的極大效能,達(dá)到蕞佳成果。

掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理,隔振臺(tái)

TS-140TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且對(duì)用戶(hù)友好的設(shè)計(jì)這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。在公制(M6x25mm)或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。TS-140結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)特點(diǎn)與優(yōu)雅且用戶(hù)友好的設(shè)計(jì)TS-140的隔離始于0.7Hz,超過(guò)10Hz時(shí)迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性TS140的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在蕞佳工作水平遙控器允許在外部將隔離開(kāi)關(guān)“打開(kāi)”和“關(guān)閉”用戶(hù)友好,實(shí)用的操作優(yōu)勢(shì)是創(chuàng)新建筑理念的結(jié)果TS-140的高度瑾為84毫米TS140的重量瑾為28.5千克

該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無(wú)源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現(xiàn)為幾乎沒(méi)有低頻共振,這種共振困擾著所有無(wú)源隔離系統(tǒng)。該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)即使在低至2-3Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開(kāi)始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40dB。所有控制電路都內(nèi)置在該單元鐘。功耗小于2.5W。該設(shè)備具有通用輸入,可以連接到100至240VAC的任何交流電源。優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)對(duì)諸如掃描探針顯微鏡(AFM,STM),干涉儀和其他高分辨率儀器,從而使這些儀器能夠達(dá)到蕞終的性能。事實(shí)證明,該表在支持靈敏實(shí)驗(yàn)(例如膜片鉗,顯微注射或用于測(cè)量Langmuir-Blodgett膜的液體的槽)方面非常成功。在納米技術(shù)的時(shí)代,極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響,必須改善測(cè)量環(huán)境。

掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理,隔振臺(tái)

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源,通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要,但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座(診斷插座)連接到傳感器設(shè)置并將電源連接到傳感器后,系統(tǒng)即可使用。按下電源上的電源旋鈕,打開(kāi)電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開(kāi)始閃爍,這意味著存在一些振動(dòng)?,F(xiàn)在您可以通過(guò)按下啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了,那意味著系統(tǒng)超載,建筑物內(nèi)的振動(dòng)太嚴(yán)重。AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量和生產(chǎn)環(huán)境。晶圓隔振臺(tái)供應(yīng)商

垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減,在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí),蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理

LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度,直到頻率約為0.2Hz。

該傳感器直接放置在地板上,并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中,以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。

LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定,并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。

系統(tǒng)符合EEC指令89/336(電磁兼容性)每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。

LFS的實(shí)際位置并不重要,但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座(診斷插座)連接到傳感器。 掩模對(duì)準(zhǔn)隔振臺(tái)技術(shù)原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專(zhuān)注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣(mài)除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù) ,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己**的技術(shù)體系。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)。誠(chéng)實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x。一直以來(lái)公司堅(jiān)持以客戶(hù)為中心、半導(dǎo)體工藝設(shè)備,半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備,光刻機(jī) 鍵合機(jī),膜厚測(cè)量?jī)x市場(chǎng)為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶(hù)之所想,急用戶(hù)之所急,全力以赴滿足客戶(hù)的一切需要。