VSI輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

來源: 發(fā)布時間:2022-05-02

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用:晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測,檢測相應的輪廓尺寸。

白光輪廓儀的典型應用:對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導入SPC。VSI輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

VSI輪廓儀研發(fā)生產(chǎn),輪廓儀

一、從根源保障物件成品的準確性:通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),積大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,蕞終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。二、提高效率:智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,積大提高加工效率。二維輪廓儀自動化測量輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。

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NanoX-系列輪廓儀代表性客戶?集成電路相關產(chǎn)業(yè)–集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯半導體,華潤安盛等?MEMS相關產(chǎn)業(yè)–中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等?高效太陽能電池相關產(chǎn)業(yè)–常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等?微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)–三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等具備Globalalignment&Unitalignment自動聚焦范圍:±0.3mmXY運動速度**快如果有什么問題,請聯(lián)系我們。

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)幾何特征(關鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標配的10×,還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應的鏡頭哦。NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準確度<1% ;重復性<0.1% (1σ,10um臺階高)。

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輪廓儀的培訓一、培訓承諾系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓和技術資詢;培訓地點可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場;系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng);1.1.培訓對象系統(tǒng)操作及管理人員(培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或?qū)嶋H值班操作人員);其他業(yè)主指定的相關人員。1.2.培訓內(nèi)容系統(tǒng)操作使用說明書。培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容如下:*系統(tǒng)文檔解讀;*系統(tǒng)的技術特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式;*系統(tǒng)一般故障排除。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,大達提高加工效率。國產(chǎn)輪廓儀用途

配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息。VSI輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

我們應該如何正確使用輪廓儀?一、準備工作1.測量前準備。2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。3.擦凈工件被測表面。二、測量1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設置所需的測量條件。4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,標出結(jié)果,并保存、打印。VSI輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

岱美儀器技術服務(上海)有限公司一直專注于磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務 ,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己獨立的技術體系。公司目前擁有專業(yè)的技術員工,為員工提供廣闊的發(fā)展平臺與成長空間,為客戶提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務,深受員工與客戶好評。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,也是我們做人的基本準則。公司致力于打造高品質(zhì)的半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀。一直以來公司堅持以客戶為中心、半導體工藝設備,半導體測量設備,光刻機 鍵合機,膜厚測量儀市場為導向,重信譽,保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。