高純氯化氫是集成電路生產(chǎn)中硅片蝕刻,鈍化和外延等工藝的重要材料,也可用于金屬冶煉、光導(dǎo)通訊和科學(xué)研究領(lǐng)域。隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展,對氯化氫純度的要求越來越高,對其中的雜質(zhì)的含量要求越來越苛刻,尤其要求嚴(yán)格限制碳?xì)浠衔锖吞佳趸衔锏暮?,以防止硅片加工過程中C的形成。國內(nèi)需要高純氯化氫的制造方法很多。高純氯化氫的技術(shù)種類:1、解吸法20世紀(jì)70年代以前電子工業(yè)用高純氯化氫的制備一直是將濃硫酸家加到濃鹽酸中,將其中的水分吸收掉。是過飽和的氯化氫氣體析出。20世紀(jì)80年代以后制備方法發(fā)展到用濃硫酸與烘干的氯化鉀反應(yīng),生成高純氯化氫氣體,用壓縮機(jī)壓入鋼瓶中。即曼海姆法硫酸鉀聯(lián)產(chǎn)氯化氫氣體。此種方法的氯化氫氣體純度在(質(zhì)量分?jǐn)?shù))以上。其國內(nèi)工藝流程為:以氯化鉀與98%濃硫酸為原料,按2:1(摩爾比)的比例加入到曼海姆爐中,通過干氣的燃燒間接加熱使?fàn)t內(nèi)物料在500~600的℃高溫下,經(jīng)耙齒不斷攪拌混合使其反應(yīng)充分,生成的硫酸鉀經(jīng)出料口進(jìn)入密閉的冷卻器,少量的游離硫酸用石灰中和后,經(jīng)粉碎、冷卻、篩分、包裝即成成品,反應(yīng)中產(chǎn)生的氯化氫氣體被風(fēng)機(jī)引至吸收工序。氯化氫氣體經(jīng)過空氣冷卻器和冷卻洗滌塔。氯化氫中的游離氯一旦進(jìn)入混合器與乙炔氣接觸,即發(fā)生激烈反應(yīng)生成氯乙炔等化合物。正規(guī)氯化氫價(jià)廉物優(yōu)
硫化氫的危害及預(yù)防: 硫化氫是一種無機(jī)化合物,化學(xué)式為H?S。正常情況下是一種無色、易燃的酸性氣體,濃度低時(shí)帶惡臭,氣味如臭蛋;濃度高時(shí)反而沒有氣味(因?yàn)楦邼舛鹊牧蚧瘹淇梢月楸孕嵊X神經(jīng))。它能溶于水,0 °C時(shí)1摩爾水能溶解2.6摩爾左右的硫化氫。硫化氫的水溶液叫氫硫酸,是一種弱酸,當(dāng)它受熱時(shí),硫化氫又從水里逸出。硫化氫是一種急性劇毒,吸入少量高濃度硫化氫可 于短時(shí)間內(nèi)致命。低濃度的硫化氫對眼、呼吸系統(tǒng)及神經(jīng)中樞都有影響。供應(yīng)氯化氫質(zhì)量保證氯化氫密度大于空氣 ,其水溶液為鹽酸,濃鹽酸具有揮發(fā)性。
氯化氫-操作注意事項(xiàng)密閉操作,注意通風(fēng)。操作盡可能機(jī)械化、自動(dòng)化。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴自吸過濾式防毒面具(全mian罩),穿橡膠耐酸堿服,戴橡膠耐酸堿手套。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止蒸氣泄漏到工作場所空氣中。避免與堿類、胺類、堿金屬接觸。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸,防止包裝及容器損壞。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。倒空的容器可能殘留有害物。儲(chǔ)存注意事項(xiàng)儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。庫溫不超過30℃,相對濕度不超過85%。保持容器密封。應(yīng)與堿類、胺類、堿金屬、易(可)燃物分開存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備和合適的收容材料。
工業(yè)氫氣的生產(chǎn)方法主要有:礦物燃燒轉(zhuǎn)化制氫、水電解制氫、通過半水煤氣法制得氫。水電解制氫方法技術(shù)可靠、操作簡單、維護(hù)方便、不產(chǎn)生污染、制氫純度高,唯其電能消耗大,成本較高,生產(chǎn)發(fā)展受一定制約,主要供應(yīng)氫氣純度要求高且用量不太大的用戶使用。但隨著新技術(shù)的應(yīng)用,促進(jìn)了水電解技術(shù)的改進(jìn),使水電解制氫技術(shù)的成本不斷降低,電耗不斷下降,有望成為“清潔能源”的主要生產(chǎn)方法。目前,正在研究開發(fā)的制氫方法有:電化學(xué)分解水制取氫氣,光催化作用制取氫氣等。高純度氯化氫本身具有強(qiáng)烈的刺激氣味,所以一般誤食的可能性比較小。
氯化氫回收技術(shù)的應(yīng)用實(shí)例:新工藝來自氯化反應(yīng)釜,溫度90℃以下的石蠟蒸氣、氯氣和氯化氫混合氣,經(jīng)過氯氣吸收塔(該塔用新石蠟油循環(huán)洗滌尾氣),吸收尾氣中夾帶的未反應(yīng)氯氣;出氯氣吸收塔的尾氣進(jìn)入蠟油除霧器,用高效纖維床除霧器把尾氣中1μm以上級的蠟油霧100%除去,<1μm去除效果達(dá)99%;出除霧器的氯化氫尾氣進(jìn)入兩級降膜吸收塔,用工業(yè)水和恒沸酸吸收尾氣中的氯化氫制成31%的鹽酸;出二級降膜吸收塔的尾氣進(jìn)入堿洗塔洗滌尾氣后達(dá)標(biāo)排放;31%副產(chǎn)鹽酸先送入鹽酸貯槽,再送至鹽酸解吸塔,與塔釜中的恒沸酸蒸氣進(jìn)行熱量傳遞,在塔頂經(jīng)二級氯化氫氣體冷凝后得到純度99.5%的濕氯化氫氣體,塔釜得到21%的恒沸酸經(jīng)冷卻器冷卻后送回二級降膜吸收塔循環(huán)吸收尾氣中的氯化氫;出解吸塔頂氯化氫氣體冷卻器的濕氯化氫氣體進(jìn)入組合氯化氫硫酸干燥塔,將其含水量下降到210-5以下,同時(shí)反應(yīng)氯化氫氣體中夾帶的微量烷烴,進(jìn)硫酸霧分離器除去硫酸霧后得到99.95%的無水氯化氫。該無水氯化氫可以用作環(huán)氧氯丙烷或氯磺酸等產(chǎn)品的原料氣,從而做到氯化氫資源的再利用。有窒息性的氣味,對上呼吸道有強(qiáng)刺激,對眼、皮膚、黏膜有腐蝕。采購氯化氫
氯乙炔極不穩(wěn)定,受熱易分解為氯化氫和碳黑。正規(guī)氯化氫價(jià)廉物優(yōu)
目前電子級氯化氫應(yīng)用已生產(chǎn)出,氯化氫含量達(dá)到,主要是以石油化工副產(chǎn)氯化氫作為原料來制備高純度氯化氫。石油化工副產(chǎn)氯化氫氣體,水分含量低,對不銹鋼和碳鋼基本無腐蝕,但其中通常含有達(dá)100ppm甚至更多的乙烯和乙炔雜質(zhì)。對于此種氣體的凈化通常采用精餾或吸附的方法,但由于其中乙炔和乙烯雜質(zhì)的沸點(diǎn)與氯化氫沸點(diǎn)相近,很難采取精餾的方法脫除的較干凈,而吸附的方法操作過程繁瑣,需要繁瑣的更換吸附劑,生產(chǎn)成本高。比較好的方法是在氯化氫反應(yīng)催化劑存在的條件下,使乙炔與氯化氫反應(yīng)轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的相對氯化氫沸點(diǎn)較高的易于脫除的鹵代烴,再進(jìn)行分離和脫除反應(yīng)產(chǎn)物。此種方法生產(chǎn)的氯化氫氣體純度在99,998%(質(zhì)量分?jǐn)?shù))以上。反應(yīng)過程:微量乙炔和氯化氫在以Hgcl2為活性組分的催化劑上氣相反應(yīng)生成氯乙烯。正規(guī)氯化氫價(jià)廉物優(yōu)